觸控面板中，最昂貴的材料非「透明導電膜」(TCO)莫屬。工研院機械所今年成功研發(fā)「低溫大氣壓電漿鍍膜技術」，是全球首創(chuàng)第一個完全符合綠色制造標準的制程，碳排放降低3分之一，成本也降低許多，不僅在去年得到華爾街日報的科技創(chuàng)新獎，也于今年得到全球百大科技(R&D 100)金獎。
| 附圖: 「低溫大氣壓電漿鍍膜技術」運用「鋅」每公斤僅1.85美元，和「銦」價差280倍，從材料端省成本。BigPic:346x518 |
有趣的是，發(fā)展這項技術的，是工研院機械所號稱的「18人閃電團隊」，這一群研發(fā)人員，成天在實驗室冒著觸電的危險，不斷地測試、研發(fā)。工研院機械所先進制造核心技術組電漿應用技術部張加強經理表示：「所謂的大氣壓電漿，就是藉由取得大自然中的閃電，運用「鋅」來合成，因此只需要空氣與含金屬離子的水溶液，就可以在短時間內完成透明導電膜鍍膜。」
這樣電漿鍍膜的制程上，能解決過去真空制程的耗電，以及解決有毒材料的環(huán)保問題。張加強說明，現今主流ITO透明導電膜，采用的「銦」材料，掌握在中國手上，不但價格高，且必須在真空鍍膜設備中制造。若是運用一般性材料「鋅」替代「銦」，價格是銦的280分之一，因此從材料端就可以省下成本，設備端也能夠讓臺廠真正自主，解決產業(yè)關鍵瓶頸。
傳統的鍍膜制程需要在真空下運作，且制造采用有機金屬噴涂，且制造環(huán)境相當昂貴，具有毒性。張加強解釋，「透過大氣壓電漿技術生產的『圖案化透明導電膜』采用低溫制程，無毒，且導電性比傳統ITO好，不但可以運用在玻璃基板上，也可以應用在軟性基板上?！鼓壳耙呀浀竭_量產規(guī)模，未來可以應用在薄膜太陽電池產業(yè)以及面板產業(yè)合作。
張加強表示，目前光電產業(yè)中，主要關鍵材料TCO全部由日、美壟斷，包含日東電工(日本)、旭硝子(日)、PPG(美)。因此，開發(fā)出獨創(chuàng)且環(huán)保的TCO玻璃基板設備技術(以GZO取代ITO)，掌握關鍵制程設備，臺廠才能突破光電產業(yè)競爭的瓶頸。
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