可靠性是氧化物TFT實(shí)用化面臨的最大課題
[導(dǎo)讀]顯示器相關(guān)國(guó)際會(huì)議“20th International Display Workshops（IDW'13）”（2013年12月4～6日，札幌會(huì)議中心）共迎來(lái)了約1150位與會(huì)者。人數(shù)雖然略少于與“Asia Display”在京都聯(lián)合舉辦、為期4天的上屆IDW（2012年）
顯示器相關(guān)國(guó)際會(huì)議“20th International Display Workshops（IDW'13）”（2013年12月4～6日，札幌會(huì)議中心）共迎來(lái)了約1150位與會(huì)者。人數(shù)雖然略少于與“Asia Display”在京都聯(lián)合舉辦、為期4天的上屆IDW（2012年），但考慮到此次的地點(diǎn)設(shè)在北海道，而且會(huì)期僅為3天，本屆會(huì)議可以說(shuō)取得了圓滿成功。
表1：在“AMD（Active Matrix Displays）”會(huì)議上發(fā)表的論文
紅字是與氧化物TFT相關(guān)的論文，綠底色是與提高氧化物TFT可靠性相關(guān)的論文，黃底色框是以應(yīng)用于柔性顯示器為目標(biāo)的論文。另外，IGZO是InGaZnO的縮寫。 （點(diǎn)擊放大）
表1匯總了在“AMD（Active Matrix Displays）”會(huì)議上發(fā)表的論文的概要。雖說(shuō)話題的中心仍是氧化物，但今年還特別設(shè)置了副標(biāo)題為“Special Topics on Interest on Oxide TFT”的四場(chǎng)分會(huì)。七場(chǎng)分會(huì)中，四場(chǎng)的主題都是關(guān)于氧化物TFT的課題，其中兩場(chǎng)與提高可靠性有關(guān)（表中綠框）。也就是說(shuō)，會(huì)議的安排反映出了業(yè)內(nèi)的共識(shí)：確?？煽啃允茄趸颰FT實(shí)用化的首要課題。
按照國(guó)家和地區(qū)來(lái)統(tǒng)計(jì)這30篇論文的第一作者，結(jié)果如下：
·日本11篇
·臺(tái)灣地區(qū)6篇
·韓國(guó)5篇
·中國(guó)大陸地區(qū)3篇
·歐洲地區(qū)3篇
·美國(guó)2篇
其中，韓國(guó)的論文數(shù)量不及從前，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)的論文數(shù)量則有所增加。就在幾年前，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)的論文數(shù)量還比韓國(guó)落后了好幾年。但從2013年的論文數(shù)量來(lái)看，其實(shí)力穩(wěn)步增長(zhǎng)，研發(fā)水平也在不斷攀升。特別是大陸地區(qū)，論文數(shù)量在今后估計(jì)還將持續(xù)增加。
關(guān)于氧化物TFT的論文引人注目
提高氧化物TFT可靠性的分會(huì)上共有8篇論文，韓國(guó)占據(jù)了其中4篇。由此可見，無(wú)論是對(duì)量產(chǎn)猶豫不決的三星，還是已經(jīng)開始少量量產(chǎn)有機(jī)EL電視、但遲遲未能拿出業(yè)務(wù)擴(kuò)大戰(zhàn)略的LG，確保氧化物TFT的可靠性都是首要課題。三星顯示器建議為確?？煽啃允褂肬V退火工藝（論文序號(hào)：AMD4-2）。LG顯示器也認(rèn)為，通過(guò)優(yōu)化退火條件，可以確?？煽啃詽M足要求（論文序號(hào)：AMD5-4L）。
但氧化物TFT的優(yōu)勢(shì)在于“只需部分改造非晶硅（a-Si）TFT的生產(chǎn)線即可投產(chǎn)”，這一點(diǎn)受到了很高的期待，倘若“需要退火工藝”，在成本競(jìng)爭(zhēng)力方面，難免會(huì)大幅落后于a-Si。因此，希望研究人員能實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破、用盡可能簡(jiǎn)單的工藝確保足夠的可靠性。
深圳市華星光電技術(shù)有限公司使用IGZO TFT試制了32英寸UHD(4K)液晶電視（論文序號(hào)：AMD4-4）。布線使用銅線，一開始便將目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)了高清電視。中國(guó)企業(yè)如今也達(dá)到了能夠試制出這種先進(jìn)面板的水平。
柔性顯示器雖然另行開設(shè)了研討會(huì)，但AMD中也不乏涉及柔性的論文（表中黃底色）?！把趸?柔性”的組合儼然正在成為一種趨勢(shì)。
友達(dá)光電此次的表現(xiàn)十分突出，共發(fā)表了三篇關(guān)于氧化物TFT的論文，分別是使用氧化物TFT背板、通過(guò)分涂蒸鍍方式試制的65英寸有機(jī)EL電視（論文序號(hào)：AMD2-1），220℃下在塑料基板上形成的IGZO TFT（論文序號(hào)：AMD2-3），采用涂布工藝制成的IGZO TFT（論文序號(hào)：AMD5-2）。還有一篇論文是關(guān)于512ppi窄邊框低溫多晶硅（LTPS）TFT液晶面板（論文序號(hào)：6-4L）。
柔性和觸摸相關(guān)研討會(huì)盛況空前
除了AMD，在其他研討會(huì)上，與柔性和觸摸面板相關(guān)的內(nèi)容也比比皆是。村田制作所發(fā)布了使用高透明度壓電薄膜的傳感器器件（論文序號(hào)：INP1-2）。該薄膜能夠檢測(cè)出彎曲和扭曲，通過(guò)結(jié)合已有的靜電容量式傳感器，有望催生出嶄新的應(yīng)用。如果嵌入柔性顯示器中，或許可以實(shí)現(xiàn)許多有趣的操作。比如，安裝在“Wii Fit”（任天堂的游戲軟件）的可穿戴輸入系統(tǒng)中，就能讓全家人玩得盡興，而且，如果能通過(guò)握拍的方式來(lái)區(qū)分抽擊和旋轉(zhuǎn)球，網(wǎng)球游戲或許還能更加真實(shí)。
展板會(huì)議上還有不少關(guān)于三維（3D）顯示器和觸摸面板的論文，令筆者大飽眼福。筆者心中不禁感慨：尚未投入實(shí)用的技術(shù)萌芽竟然如此之多。對(duì)于關(guān)系到用戶接口的技術(shù)，在展板會(huì)議上發(fā)表或許更加簡(jiǎn)明易懂。
在3天的會(huì)期中，每天都有值得一聽的論文和值得一看的展示，令筆者盡興而歸。而且，北海道豐富的美食也讓筆者大快朵頤。2014年，IDW將移師新舄，有機(jī)會(huì)的話，筆者還希望再度親臨現(xiàn)場(chǎng)。（特約撰稿人：松枝 洋二郎，NLT Technologie）
表1：在“AMD（Active Matrix Displays）”會(huì)議上發(fā)表的論文
紅字是與氧化物TFT相關(guān)的論文，綠底色是與提高氧化物TFT可靠性相關(guān)的論文，黃底色框是以應(yīng)用于柔性顯示器為目標(biāo)的論文。另外，IGZO是InGaZnO的縮寫。 （點(diǎn)擊放大）
表1匯總了在“AMD（Active Matrix Displays）”會(huì)議上發(fā)表的論文的概要。雖說(shuō)話題的中心仍是氧化物，但今年還特別設(shè)置了副標(biāo)題為“Special Topics on Interest on Oxide TFT”的四場(chǎng)分會(huì)。七場(chǎng)分會(huì)中，四場(chǎng)的主題都是關(guān)于氧化物TFT的課題，其中兩場(chǎng)與提高可靠性有關(guān)（表中綠框）。也就是說(shuō)，會(huì)議的安排反映出了業(yè)內(nèi)的共識(shí)：確?？煽啃允茄趸颰FT實(shí)用化的首要課題。
按照國(guó)家和地區(qū)來(lái)統(tǒng)計(jì)這30篇論文的第一作者，結(jié)果如下：
·日本11篇
·臺(tái)灣地區(qū)6篇
·韓國(guó)5篇
·中國(guó)大陸地區(qū)3篇
·歐洲地區(qū)3篇
·美國(guó)2篇
其中，韓國(guó)的論文數(shù)量不及從前，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)的論文數(shù)量則有所增加。就在幾年前，中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)的論文數(shù)量還比韓國(guó)落后了好幾年。但從2013年的論文數(shù)量來(lái)看，其實(shí)力穩(wěn)步增長(zhǎng)，研發(fā)水平也在不斷攀升。特別是大陸地區(qū)，論文數(shù)量在今后估計(jì)還將持續(xù)增加。
關(guān)于氧化物TFT的論文引人注目
提高氧化物TFT可靠性的分會(huì)上共有8篇論文，韓國(guó)占據(jù)了其中4篇。由此可見，無(wú)論是對(duì)量產(chǎn)猶豫不決的三星，還是已經(jīng)開始少量量產(chǎn)有機(jī)EL電視、但遲遲未能拿出業(yè)務(wù)擴(kuò)大戰(zhàn)略的LG，確保氧化物TFT的可靠性都是首要課題。三星顯示器建議為確?？煽啃允褂肬V退火工藝（論文序號(hào)：AMD4-2）。LG顯示器也認(rèn)為，通過(guò)優(yōu)化退火條件，可以確?？煽啃詽M足要求（論文序號(hào)：AMD5-4L）。
但氧化物TFT的優(yōu)勢(shì)在于“只需部分改造非晶硅（a-Si）TFT的生產(chǎn)線即可投產(chǎn)”，這一點(diǎn)受到了很高的期待，倘若“需要退火工藝”，在成本競(jìng)爭(zhēng)力方面，難免會(huì)大幅落后于a-Si。因此，希望研究人員能實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破、用盡可能簡(jiǎn)單的工藝確保足夠的可靠性。
深圳市華星光電技術(shù)有限公司使用IGZO TFT試制了32英寸UHD(4K)液晶電視（論文序號(hào)：AMD4-4）。布線使用銅線，一開始便將目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)了高清電視。中國(guó)企業(yè)如今也達(dá)到了能夠試制出這種先進(jìn)面板的水平。
柔性顯示器雖然另行開設(shè)了研討會(huì)，但AMD中也不乏涉及柔性的論文（表中黃底色）?！把趸?柔性”的組合儼然正在成為一種趨勢(shì)。
友達(dá)光電此次的表現(xiàn)十分突出，共發(fā)表了三篇關(guān)于氧化物TFT的論文，分別是使用氧化物TFT背板、通過(guò)分涂蒸鍍方式試制的65英寸有機(jī)EL電視（論文序號(hào)：AMD2-1），220℃下在塑料基板上形成的IGZO TFT（論文序號(hào)：AMD2-3），采用涂布工藝制成的IGZO TFT（論文序號(hào)：AMD5-2）。還有一篇論文是關(guān)于512ppi窄邊框低溫多晶硅（LTPS）TFT液晶面板（論文序號(hào)：6-4L）。
柔性和觸摸相關(guān)研討會(huì)盛況空前
除了AMD，在其他研討會(huì)上，與柔性和觸摸面板相關(guān)的內(nèi)容也比比皆是。村田制作所發(fā)布了使用高透明度壓電薄膜的傳感器器件（論文序號(hào)：INP1-2）。該薄膜能夠檢測(cè)出彎曲和扭曲，通過(guò)結(jié)合已有的靜電容量式傳感器，有望催生出嶄新的應(yīng)用。如果嵌入柔性顯示器中，或許可以實(shí)現(xiàn)許多有趣的操作。比如，安裝在“Wii Fit”（任天堂的游戲軟件）的可穿戴輸入系統(tǒng)中，就能讓全家人玩得盡興，而且，如果能通過(guò)握拍的方式來(lái)區(qū)分抽擊和旋轉(zhuǎn)球，網(wǎng)球游戲或許還能更加真實(shí)。
展板會(huì)議上還有不少關(guān)于三維（3D）顯示器和觸摸面板的論文，令筆者大飽眼福。筆者心中不禁感慨：尚未投入實(shí)用的技術(shù)萌芽竟然如此之多。對(duì)于關(guān)系到用戶接口的技術(shù)，在展板會(huì)議上發(fā)表或許更加簡(jiǎn)明易懂。
在3天的會(huì)期中，每天都有值得一聽的論文和值得一看的展示，令筆者盡興而歸。而且，北海道豐富的美食也讓筆者大快朵頤。2014年，IDW將移師新舄，有機(jī)會(huì)的話，筆者還希望再度親臨現(xiàn)場(chǎng)。（特約撰稿人：松枝 洋二郎，NLT Technologie）
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