Rubicon將在LED韓國展展示大尺寸圖案化襯底
LED半導(dǎo)體照明網(wǎng)訊 Rubicon將在LED韓國展展示去年10月所推出的大尺寸藍(lán)寶石襯底(PSS)以及六寸拋光藍(lán)寶石襯底。
大部分高亮度LED廠商在藍(lán)寶石襯底上蝕刻圖案,以提高外延生長和光萃取,現(xiàn)有小尺寸的圖案化藍(lán)寶石襯底,而Rubicon宣稱這是業(yè)界首次能夠提供高定制化的6”和8” PSS。Rubicon現(xiàn)可提供現(xiàn)成的 4”、6”和8”PSS。
Rubicon的圖案化襯底為定制化亞微米級,尺寸公差小至±0.1μm以內(nèi),邊緣排除區(qū)小至1mm,因而可提供更多可用區(qū)域,以最大化每片晶圓的芯片量,現(xiàn)有角錐形、圓頂形和金字塔形,以及各種排列的襯底圖案。