韓臺企業(yè)氧化物半導(dǎo)體TFT開發(fā)日漸活躍
[導(dǎo)讀]韓國與臺灣的面板廠商加快了氧化物半導(dǎo)體TFT的開發(fā)速度。其目的是掌握有助于提升顯示器性能的基礎(chǔ)技術(shù)，促進(jìn)液晶面板實現(xiàn)高精細(xì)化和大型化以及有機EL面板的大型化和提高可靠性。在“FPD International 2009”現(xiàn)場，各
韓國與臺灣的面板廠商加快了氧化物半導(dǎo)體TFT的開發(fā)速度。其目的是掌握有助于提升顯示器性能的基礎(chǔ)技術(shù)，促進(jìn)液晶面板實現(xiàn)高精細(xì)化和大型化以及有機EL面板的大型化和提高可靠性。在“FPD International 2009”現(xiàn)場，各公司紛紛展出了使用液晶面板和有機EL面板的試制品。
其中包括韓國三星電子（Samsung Electronics）的17英寸液晶面板、韓國LG顯示器（LG Display）的6.4英寸液晶面板、韓國三星移動顯示器（Samsung Mobile Display）的19英寸有機EL面板、臺灣友達(dá)光電（AU Optronics）的2.4英寸有機EL面板。各公司展出的都是試制品，并不意是為量產(chǎn)而設(shè)計的。也不是具備高精細(xì)化、大型化等氧化物TFT特點的面板。但卻邁出了確立量產(chǎn)基礎(chǔ)——制造工藝和設(shè)計技術(shù)的第一步。其中，三星集團(tuán)技術(shù)開發(fā)的進(jìn)展之快引人注目。
各公司都沒有透露使用的氧化物半導(dǎo)體的種類，以及TFT的詳細(xì)構(gòu)造。只有三星電子公布了少量信息：遷移率為7cm2/Vs。開關(guān)電流比為7位數(shù)以上，半導(dǎo)體層的厚度為100nm以下，TFT采用Etch Stopper結(jié)構(gòu)。
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