應(yīng)用材料公司Vantage RTP系統(tǒng)全球出貨量突破500臺(tái)

時(shí)間：2014-06-09 09:47:08

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[導(dǎo)讀]【導(dǎo)讀】2010年11月30日— 今天，應(yīng)用材料公司宣布第500臺(tái)Applied Vantage®快速熱處理（RTP）系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶(hù)，該系統(tǒng)被全球各地的芯片制造商用于先進(jìn)存儲(chǔ)器和邏輯芯片的制造。早在2002年上市時(shí)，Vantage系統(tǒng)

【導(dǎo)讀】2010年11月30日— 今天，應(yīng)用材料公司宣布第500臺(tái)Applied Vantage®快速熱處理（RTP）系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶(hù)，該系統(tǒng)被全球各地的芯片制造商用于先進(jìn)存儲(chǔ)器和邏輯芯片的制造。早在2002年上市時(shí)，Vantage系統(tǒng)就憑借其強(qiáng)大、緊湊的設(shè)計(jì)和一流的退火性能迅速贏得了客戶(hù)的認(rèn)可。推出后短短兩年，該主機(jī)平臺(tái)就取得了市場(chǎng)領(lǐng)先地位，并一直保持至今。

2010年11月30日，<STRONG>應(yīng)用材料公司宣布第500臺(tái)Applied Vantage®快速熱處理（RTP）系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶(hù)，該系統(tǒng)被全球各地的芯片制造商用于先進(jìn)存儲(chǔ)器和邏輯STRONG>芯片的制造。早在2002年上市時(shí)，Vantage系統(tǒng)就憑借其強(qiáng)大、緊湊的設(shè)計(jì)和一流的退火性能迅速贏得了客戶(hù)的認(rèn)可。推出后短短兩年，該主機(jī)平臺(tái)就取得了市場(chǎng)領(lǐng)先地位，并一直保持至今。

市場(chǎng)調(diào)研公司Gartner Dataquest的報(bào)告顯示，應(yīng)用材料公司是RTP技術(shù)領(lǐng)域當(dāng)仁不讓的領(lǐng)軍企業(yè)。在燈管加熱RTP應(yīng)用領(lǐng)域，2009年應(yīng)用材料公司占據(jù)了大部分市場(chǎng)份額。除Vantage RTP系統(tǒng)外，應(yīng)用材料公司已經(jīng)為遍布全球的客戶(hù)安裝了500多套Centura® RTP系統(tǒng)。所有這些都使得應(yīng)用材料公司的RTP技術(shù)在過(guò)去的十年間一直是行業(yè)的首選，幾乎用于每一片微芯片的制造。

應(yīng)用材料公司副總裁兼前道產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Sundar Ramamurthy表示：“Vantage系統(tǒng)能夠滿足客戶(hù)對(duì)性能、產(chǎn)能和可靠性的要求，幫助他們成功實(shí)現(xiàn)芯片的制造，奠定了應(yīng)用材料公司在熱處理領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位。目前，我們還在繼續(xù)為Vantage主機(jī)平臺(tái)開(kāi)發(fā)新的RTP解決方案，譬如Vantage Astra™毫秒退火技術(shù)，它解決了晶體管制造繼續(xù)拓展下去所面臨的挑戰(zhàn)?！?/P>

Vantage架構(gòu)將兩個(gè)RadiancePlus™、RadOx™或Astra反應(yīng)腔直接與應(yīng)用材料公司的廠區(qū)接口相連，以最小的潔凈室空間實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能的最大化。該系統(tǒng)獨(dú)特的靈活性能夠讓客戶(hù)在同一生產(chǎn)平臺(tái)上完成所有的燈管及激光加熱的處理工序，即毫秒、尖峰和均溫退火，以及多重氮化和氧化應(yīng)用等。該系統(tǒng)作為一臺(tái)整機(jī)配送，從而將安裝時(shí)間減少到10天以下。