亮相臺灣地區(qū)Semicon 杜邦高管談全方位半導體解決方案

【導讀】亮相臺灣地區(qū)Semicon 杜邦高管談全方位半導體解決方案  
    應Semicon Taiwan 2006大會之邀，杜邦電子與通訊事業(yè)部副總裁暨技術(shù)長James Prendergast來臺參與半導體科技座談會(SEMI Technology Symposium)擔任主講人之一，揭示了杜邦在半導體制程的全方位服務，包括半導體設備中化學物的輸送管線、機材零件、以及制程中的材料零件；同時在半導體先進制程的技術(shù)開發(fā)上，也提供符合客戶技術(shù)藍圖的解決方案。 

    James表示：“電子事業(yè)是杜邦邁入第三世紀發(fā)展的主要事業(yè)體之一，涵蓋四大產(chǎn)品線包括印刷電路材料(Printed circuit materials)、微電路材料(Microcircuit materials)、高效能材料(High performance materials)以及半導體制造材料(Semiconductor fabrication materials)。發(fā)揮杜邦在科學領(lǐng)域的專長，結(jié)合各事業(yè)體的綜效提供半導體制程中完整的材料及設備供應鏈，目標在成為客戶最佳的策略伙伴。” 

    在新式浸潤微影技術(shù)(Immersion Lithography)，杜邦根據(jù)其技術(shù)藍圖，已開發(fā)出配合先進32nm制程所需之浸潤液(Immersion Fluid)；在先進半導體銅制程(Cusolve)方面，杜邦EKC則提供先進的“蝕刻后殘余物清洗液”(Post-etch residue remover)，另外也自05年開始與杜邦其它部門HDMS&APL提供先進晶圓級封裝所需的整合材料方案(Wafer Level Packaging)。 

    在電子聚合物(Electronic Polymer)的發(fā)展上，杜邦早已能提供各個世代所需的光阻液的樹脂；氟化事業(yè)部中，杜邦發(fā)表的Zyron 8020電氣，已成為半導體制程中廣為運用的清潔氣體；Teflon則完整提供了半導體制程化學品輸送所需的高性能管件。 

    另外在化學機械研磨制程，有杜邦艾耳波達納米原料(DANM)，提供包括銅制程、鎢制程以及淺溝槽式制程所需的化學研磨液，以領(lǐng)先技術(shù)提供給在地客戶最直接的服務。在半導體應力緩沖材料上，日立杜邦微系統(tǒng)(HDMS)，擁有廣泛的產(chǎn)品線，是全球主要的PI(聚亞醯胺)供貨商。