支撐材料:成果頻出 項目加碼
[導讀]【導讀】支撐材料:成果頻出 項目加碼
在我國半導體產業(yè)快速增長的帶動下，近幾年來我國半導體支撐材料產業(yè)有了相當?shù)陌l(fā)展，取得了明顯的進步。在IC CHINA 2006期間，國內半導體支撐材料主要企業(yè)集中展示了其最
【導讀】支撐材料:成果頻出 項目加碼
在我國半導體產業(yè)快速增長的帶動下，近幾年來我國半導體支撐材料產業(yè)有了相當?shù)陌l(fā)展，取得了明顯的進步。在IC CHINA 2006期間，國內半導體支撐材料主要企業(yè)集中展示了其最新成果，并發(fā)布了其最新動態(tài)和策略。
有研硅股：建成12英寸硅單晶拋光片中試線
進入21世紀以來，國際集成電路制造技術進入了新一輪的快速發(fā)展時期，0.13-0.10微米直徑12英寸集成電路技術開始進入市場，對直徑12英寸硅片的需求也由技術研發(fā)轉變?yōu)楝F(xiàn)實的市場需求。為適應國際半導體產業(yè)的發(fā)展，有研硅股在科技部和北京市政府的共同支持下，攻克了大直徑硅單晶生長、大直徑硅片加工、分析檢測等一系列技術難關，開發(fā)成功全套生產工藝，申請專利22項，并建成了我國第一條月產1萬片、直徑12英寸硅單晶拋光片中試生產線。
公司技術人員在“863”計劃戰(zhàn)略性、前沿性、前瞻性定位要求下，在不到5年的時間里，走了從大直徑單晶生長到拋光片成品的近30道關鍵工序的技術方案設計、設備選型、工藝研究的全過程；跨越了從關鍵技術研究向連續(xù)化生產的中試生產線導入的轉變；經(jīng)歷了從研究開發(fā)樣品到批量生產產品的客戶檢測和供貨評估的艱難歷程，實現(xiàn)了我國直徑12英寸硅單晶拋光片生產零的突破。
科華微電子材料：即將建設百噸級正膠生產線
北京科華微電子材料有限公司是2004年8月注冊成立的中美合資企業(yè)，主要從事超大規(guī)模集成電路、分立器件和液晶顯示器件制作用光刻膠及配套試劑的生產與研發(fā)，是目前國內同時集光刻膠研發(fā)與生產、銷售于一身的專業(yè)性高新技術企業(yè)。公司擁有國內外知名的具有多年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗的專家隊伍、高素質的管理團隊和具有國際先進水平的分析和應用測試設備。公司擁有已建成投產的北京燕山生產基地、位于美國波士頓的光刻膠研發(fā)實驗室及正在建設中的北京天竺光刻膠及配套試劑的生產基地。公司即將在北京天竺出口加工區(qū)建設百噸級正膠生產線。
華誼微電子材料：建成15000噸級電子化學品項目
上海華誼集團公司在“十五”期間成功承擔了國家“863”超大規(guī)模集成電路配套材料重大專項中超純試劑工藝研究開發(fā)任務。在產業(yè)化建設進程中與臺灣聯(lián)仕電子化學材料股份有限公司以各50%股份合資成立了上海華誼微電子材料有限公司(華誼微電子)。公司集化學品提純、高純高凈分析檢測、包裝、售后服務為一體。
經(jīng)過一年多的建設，華誼微電子年產15000噸的微電子化學品項目已建成，并于9月8日舉行開業(yè)典禮。項目包括超大規(guī)模集成電路制造過程中需要的硫酸、過氧化氫、氨水、氟化銨、硝酸、鹽酸、醋酸、BOE等各主要品種，產品質量達到國際SEMI C12標準，可以滿足12英寸芯片的制造工藝要求。項目的建設將改變我國國內超大規(guī)模集成電路制造業(yè)超純高凈試劑化學品依靠進口的局面。“十一五”期間，華誼微電子將在已建成的萬噸級微電子化學品裝置基礎上，繼續(xù)提高產品質量以滿足半導體制造業(yè)的需要，以更好地為客戶提供高品質服務。
晶瑞化學：100ppt級雙氧水項目將投產
蘇州晶瑞化學有限公司是一家集開發(fā)、生產、營銷微電子用高純化學品的高新企業(yè)。產品包括氫氟酸、過氧化氫、異丙醇、氨水、硫酸、硝酸、鹽酸、氟化銨、無水乙醇、丙酮、混酸蝕刻液等。產品廣泛應用于超大規(guī)模集成電路和TFT-LCD面板制造過程中的蝕刻與清洗。已投入使用的一期工程，建筑面積3200平方米，萬級(局部百級)凈化廠房400平方米。年產5000噸各類超高純化學試劑。2006年2月公司與比利時Solvay公司合資建立了蘇州蘇瑞電子材料有限公司(Interox-SEM Co.，Ltd)，專注于開發(fā)、生產、營銷超高純雙氧水，公司設計年產4000噸100ppt級雙氧水，產品規(guī)格可以滿足8-12英寸IC芯片生產工藝要求，預計將在2006年10月份全面投產。
光明化工研究設計院：組建電子氣體工程研究中心
隨著我國IC產業(yè)的高速發(fā)展，IC產業(yè)關鍵支撐材料高純電子氣體的需求呈現(xiàn)大幅增長態(tài)勢。電子氣體國產化已成為降低IC制造成本、增強國際競爭力、實現(xiàn)我國IC產業(yè)健康發(fā)展的必然。光明化工研究設計院前身為化工部光明化工研究所，是以特種氣體(包括電子氣體)為主導方向的科研機構。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，光明院已形成以特種氣體、微電子、光電子關鍵支撐材料——電子化學品為主導的多種專業(yè)并存的，集科研開發(fā)、工程設計、生產經(jīng)營、技術服務、質量檢驗為一體的綜合性科研機構?；瘜W工業(yè)(全國)氣體質量監(jiān)督檢驗中心、全國特種氣體信息中心均設在光明院。
光明院已確定組建電子氣體工程研究中心，工程中心將以光明院為技術依托，以“科技成果產業(yè)化、運行機制企業(yè)化、發(fā)展方向市場化”為核心，實現(xiàn)機制創(chuàng)新與技術創(chuàng)新相結合，建成高水平的電子氣體研究開發(fā)、技術創(chuàng)新與產業(yè)化基地。
在我國半導體產業(yè)快速增長的帶動下，近幾年來我國半導體支撐材料產業(yè)有了相當?shù)陌l(fā)展，取得了明顯的進步。在IC CHINA 2006期間，國內半導體支撐材料主要企業(yè)集中展示了其最新成果，并發(fā)布了其最新動態(tài)和策略。
有研硅股：建成12英寸硅單晶拋光片中試線
進入21世紀以來，國際集成電路制造技術進入了新一輪的快速發(fā)展時期，0.13-0.10微米直徑12英寸集成電路技術開始進入市場，對直徑12英寸硅片的需求也由技術研發(fā)轉變?yōu)楝F(xiàn)實的市場需求。為適應國際半導體產業(yè)的發(fā)展，有研硅股在科技部和北京市政府的共同支持下，攻克了大直徑硅單晶生長、大直徑硅片加工、分析檢測等一系列技術難關，開發(fā)成功全套生產工藝，申請專利22項，并建成了我國第一條月產1萬片、直徑12英寸硅單晶拋光片中試生產線。
公司技術人員在“863”計劃戰(zhàn)略性、前沿性、前瞻性定位要求下，在不到5年的時間里，走了從大直徑單晶生長到拋光片成品的近30道關鍵工序的技術方案設計、設備選型、工藝研究的全過程；跨越了從關鍵技術研究向連續(xù)化生產的中試生產線導入的轉變；經(jīng)歷了從研究開發(fā)樣品到批量生產產品的客戶檢測和供貨評估的艱難歷程，實現(xiàn)了我國直徑12英寸硅單晶拋光片生產零的突破。
科華微電子材料：即將建設百噸級正膠生產線
北京科華微電子材料有限公司是2004年8月注冊成立的中美合資企業(yè)，主要從事超大規(guī)模集成電路、分立器件和液晶顯示器件制作用光刻膠及配套試劑的生產與研發(fā)，是目前國內同時集光刻膠研發(fā)與生產、銷售于一身的專業(yè)性高新技術企業(yè)。公司擁有國內外知名的具有多年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗的專家隊伍、高素質的管理團隊和具有國際先進水平的分析和應用測試設備。公司擁有已建成投產的北京燕山生產基地、位于美國波士頓的光刻膠研發(fā)實驗室及正在建設中的北京天竺光刻膠及配套試劑的生產基地。公司即將在北京天竺出口加工區(qū)建設百噸級正膠生產線。
華誼微電子材料：建成15000噸級電子化學品項目
上海華誼集團公司在“十五”期間成功承擔了國家“863”超大規(guī)模集成電路配套材料重大專項中超純試劑工藝研究開發(fā)任務。在產業(yè)化建設進程中與臺灣聯(lián)仕電子化學材料股份有限公司以各50%股份合資成立了上海華誼微電子材料有限公司(華誼微電子)。公司集化學品提純、高純高凈分析檢測、包裝、售后服務為一體。
經(jīng)過一年多的建設，華誼微電子年產15000噸的微電子化學品項目已建成，并于9月8日舉行開業(yè)典禮。項目包括超大規(guī)模集成電路制造過程中需要的硫酸、過氧化氫、氨水、氟化銨、硝酸、鹽酸、醋酸、BOE等各主要品種，產品質量達到國際SEMI C12標準，可以滿足12英寸芯片的制造工藝要求。項目的建設將改變我國國內超大規(guī)模集成電路制造業(yè)超純高凈試劑化學品依靠進口的局面。“十一五”期間，華誼微電子將在已建成的萬噸級微電子化學品裝置基礎上，繼續(xù)提高產品質量以滿足半導體制造業(yè)的需要，以更好地為客戶提供高品質服務。
晶瑞化學：100ppt級雙氧水項目將投產
蘇州晶瑞化學有限公司是一家集開發(fā)、生產、營銷微電子用高純化學品的高新企業(yè)。產品包括氫氟酸、過氧化氫、異丙醇、氨水、硫酸、硝酸、鹽酸、氟化銨、無水乙醇、丙酮、混酸蝕刻液等。產品廣泛應用于超大規(guī)模集成電路和TFT-LCD面板制造過程中的蝕刻與清洗。已投入使用的一期工程，建筑面積3200平方米，萬級(局部百級)凈化廠房400平方米。年產5000噸各類超高純化學試劑。2006年2月公司與比利時Solvay公司合資建立了蘇州蘇瑞電子材料有限公司(Interox-SEM Co.，Ltd)，專注于開發(fā)、生產、營銷超高純雙氧水，公司設計年產4000噸100ppt級雙氧水，產品規(guī)格可以滿足8-12英寸IC芯片生產工藝要求，預計將在2006年10月份全面投產。
光明化工研究設計院：組建電子氣體工程研究中心
隨著我國IC產業(yè)的高速發(fā)展，IC產業(yè)關鍵支撐材料高純電子氣體的需求呈現(xiàn)大幅增長態(tài)勢。電子氣體國產化已成為降低IC制造成本、增強國際競爭力、實現(xiàn)我國IC產業(yè)健康發(fā)展的必然。光明化工研究設計院前身為化工部光明化工研究所，是以特種氣體(包括電子氣體)為主導方向的科研機構。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，光明院已形成以特種氣體、微電子、光電子關鍵支撐材料——電子化學品為主導的多種專業(yè)并存的，集科研開發(fā)、工程設計、生產經(jīng)營、技術服務、質量檢驗為一體的綜合性科研機構?；瘜W工業(yè)(全國)氣體質量監(jiān)督檢驗中心、全國特種氣體信息中心均設在光明院。
光明院已確定組建電子氣體工程研究中心，工程中心將以光明院為技術依托，以“科技成果產業(yè)化、運行機制企業(yè)化、發(fā)展方向市場化”為核心，實現(xiàn)機制創(chuàng)新與技術創(chuàng)新相結合，建成高水平的電子氣體研究開發(fā)、技術創(chuàng)新與產業(yè)化基地。
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