韓國多建科技Dageon 藍(lán)寶石基板設(shè)備供應(yīng)商 因應(yīng)4~6寸晶圓生產(chǎn)

韓國多建科技Dageon成立于2000年，董事長Mr.Son早先于LGSilitron擁有12年的工作經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于大部分的制造機(jī)器都必須要從國外進(jìn)口，因此抱著致力于貢獻(xiàn)藍(lán)寶石基板市場發(fā)展，所以開始研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)機(jī)器。

Dageon在產(chǎn)品設(shè)計(jì)上,發(fā)展了一系列基板生產(chǎn)線的設(shè)備，用于藍(lán)寶石基板市場發(fā)展，包含有全自動(dòng)陶盤清洗機(jī)(BlockCleaner)、全自動(dòng)陶盤晶片免下蠟清洗機(jī)(DMPCleaner)、全自動(dòng)上蠟機(jī)(AutoMounter)、全自動(dòng)下蠟機(jī)(AutoDemounter)、Scrubber、SpinDryer等等。并擁有陶瓷盤清洗專利。看好4~6寸LED市場發(fā)展，Dageon對(duì)于2014年相當(dāng)看好全自動(dòng)上蠟機(jī)(AutoMounter)和全自動(dòng)陶盤晶片免下蠟清洗機(jī)(DMPCleaner)設(shè)備的市場應(yīng)用。全自動(dòng)上蠟機(jī)(AutoMounter)包含圓盤裝載、上蠟、卸載;全自動(dòng)陶盤晶片免下蠟清洗機(jī)(DMPCleaner)設(shè)備包含圓盤裝載、洗凈清潔、卸載。

全自動(dòng)陶盤晶片免下蠟清洗機(jī)為晶片鉆石研磨液研磨后，使用高壓水柱和化學(xué)藥劑刷洗,來清洗藍(lán)寶石基板表面的殘留化學(xué)研磨液.由于許多客戶在大尺寸制程生產(chǎn)時(shí),將原本CMP使用的Template方式改成貼蠟式,來達(dá)到更好的TTV和翹曲BOW的控制,此設(shè)備就成為DMP制程至CMP制程的中段銜接清洗設(shè)備,須將鉆石研磨液徹底做清潔,以防CMP制程時(shí)前段殘留的鉆石研磨液造成晶片研磨刮傷,所以DMP之后的清潔更是重要.目前設(shè)備主要目標(biāo)市場為4~6寸晶圓生產(chǎn)以上的客戶,對(duì)于產(chǎn)品品質(zhì)清潔有絕對(duì)提升效能。

對(duì)于LED市場發(fā)展，由于晶片廠商考慮到4~6寸藍(lán)寶石基板品質(zhì)及成本優(yōu)勢(shì)，因此Dageon同時(shí)自制研發(fā)銷售4~6寸藍(lán)寶石基板專用全自動(dòng)上蠟設(shè)備，自動(dòng)化生產(chǎn)流程，從傳送、上蠟、接合、烘烤、壓合;以485mm陶盤來計(jì)算產(chǎn)能,2寸一圈可貼23片(每月產(chǎn)能約6萬片以上),4寸一圈可貼10片(每月產(chǎn)能約5萬片)，6寸外圈可貼6片(每月產(chǎn)能約4萬片)，這對(duì)于后段研磨拋加工制程品質(zhì)控制有絕對(duì)的效益,相對(duì)產(chǎn)能提升更能突顯出來。

將藍(lán)寶石基板從DMP或CMP加工后的陶盤上,藉由陶盤加熱,將液態(tài)蠟融化之后,進(jìn)行晶片與陶盤分離的拆卸設(shè)備。

洗刷機(jī)為清洗藍(lán)寶石基板表面粒子的設(shè)備。晶片從清洗、甩干、傳送到Loader，由于不需使用化學(xué)藥劑，只需使用DIWater，相當(dāng)?shù)墓?jié)省成本。

目前上述各項(xiàng)機(jī)臺(tái)皆有使用客戶群，韓國客戶包含LGSilitron、STA、Iljin、Hansol。中國客戶則包含蘇州海鉑(Hyperion)、重慶四聯(lián)(SILIAN)、南晶京晶(NJC)、貴州皓天(HTOT)、華樂光電(Huale)等。因應(yīng)未來市場4~6寸的發(fā)展，Dageon仍持續(xù)提升設(shè)備技術(shù)，希望能提高生產(chǎn)速度和降低設(shè)備上耗材使用的成本,來滿足更多LED藍(lán)寶石上游生產(chǎn)制造的客戶們。