安捷倫推出整合CV和IV測(cè)量的器件分析儀

安捷倫科技日前宣布，推出基于Windows的半導(dǎo)體器件分析儀，把電容對(duì)電壓測(cè)量(CV)及電流對(duì)電壓測(cè)量(IV)集成到一臺(tái)儀器中，使半導(dǎo)體測(cè)試工程師節(jié)約了時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。安捷倫B1500A為參數(shù)測(cè)試和分析提供了完整的可單機(jī)、可擴(kuò)展解決方案，能夠處理65 納米(nm)及更小光刻工藝技術(shù)。模塊化儀器采用10插槽配置，支持安捷倫新推出的EasyEXPERT軟件，提供了一個(gè)完整的器件檢定方法。對(duì)處理當(dāng)前半導(dǎo)體工藝技術(shù)的工程師和科學(xué)家來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體器件檢定是一項(xiàng)復(fù)雜的工作。搭配基于Windows的圖形用戶界面，即使對(duì)參數(shù)測(cè)量?jī)x器經(jīng)驗(yàn)不足的新工程師，也可以輕松使用。 “采用EasyEXPERT軟件的安捷倫B1500A把每個(gè)用戶變成了參數(shù)測(cè)試專(zhuān)家。”安捷倫Hachioji半導(dǎo)體測(cè)試分部副總裁兼總經(jīng)理Minoru Ebihara說(shuō)，“一般半導(dǎo)體測(cè)試儀器要求EasyEXPERT知道每種硬件功能，并要求多種設(shè)置才能進(jìn)行測(cè)量。B1500A為用戶立即提供了高效的生產(chǎn)能力，使投資回報(bào)達(dá)到最大?！毙碌腅asyEXPERT軟件提供了一個(gè)器件應(yīng)用測(cè)試程序庫(kù)，用戶可以根據(jù)要求的測(cè)量類(lèi)型進(jìn)行選擇。在進(jìn)行幾個(gè)簡(jiǎn)單的設(shè)置之后，如確認(rèn)工藝類(lèi)型，及選擇適當(dāng)?shù)钠骷?lèi)型，軟件便會(huì)選擇相應(yīng)的設(shè)置，進(jìn)行測(cè)量，分析數(shù)據(jù)，以圖形方式顯示分析結(jié)果。通過(guò)使用基于Windows的EasyEXPERT軟件，即使是新手也可以在B1500A開(kāi)機(jī)幾分鐘后進(jìn)行高效測(cè)量。當(dāng)檢定同時(shí)要求進(jìn)行IV和CV測(cè)量時(shí)，工程師面臨著額外的挑戰(zhàn)。然而大多數(shù)儀器只是為一種測(cè)量設(shè)計(jì)的，這意味著必須透過(guò)兩個(gè)接口連接兩種不同的儀器來(lái)進(jìn)行測(cè)量。必需把電容測(cè)量單元(CMU)的連接線正確連接到被測(cè)器件(DUT)上，并精確補(bǔ)償電纜長(zhǎng)度，以保證精確的CV測(cè)量結(jié)果。此外，CMU采用BNC連接器，而電源測(cè)量單元(SMU)采用三軸連接器。在這些不兼容的連接器之間切換可能會(huì)非常困難、麻煩，特別是與芯片探針臺(tái)上搭配使用時(shí)。安捷倫B1500A提供了高度靈活性，幫助降低測(cè)試成本。其10插槽配置支持三種SMU類(lèi)型：o高分辨率SMU (HRSMU)o中等功率SMU (MPSMU)o高功率SMU (HPSMU)安捷倫還提供一個(gè)多頻率電容測(cè)量單元(MFCMU)，B1500A主機(jī)內(nèi)建4.2 A接地單元(GNDU)。除把CV測(cè)量集成到器件分析儀主機(jī)外，MFCMU比類(lèi)似的外部電容儀表提供更多的測(cè)量功能。它可以以高達(dá)5 MHz的頻率測(cè)量電容，提供了正負(fù)25 V的DC偏置。此外，在同一部?jī)x器中把MFCMU和SMU結(jié)合起來(lái)，使得這些測(cè)量資源能夠更加緊密地結(jié)合在一起。在結(jié)合使用B1500A SMU CMU合一單元(SCUU)時(shí)，MFCMU和SMU組合支持正負(fù)100 V的 DC偏置的電容測(cè)量。B1500A SCUU為把兩部SMU和MFCMU連接起來(lái)、并在這些不同測(cè)量資源之間切換提供了一種方便智能的方式，而不需使用單獨(dú)的外部開(kāi)關(guān)矩陣儀器。B1500A軟件處理所有IV-CV測(cè)量切換、補(bǔ)償和返回路徑狀態(tài)。為著手進(jìn)行精確測(cè)量，用戶只需選擇IV或CV算法，然后按一個(gè)鍵即可。量身訂做的測(cè)量解決方案幫助測(cè)試工程師只要購(gòu)買(mǎi)所需的功能，來(lái)幫助降低測(cè)試成本，并且預(yù)留發(fā)展空間應(yīng)付需求變化。由本身具備的低電流、低電壓和補(bǔ)償電容測(cè)量功能，安捷倫B1500A可以用于半導(dǎo)體器件和新興材料的各種檢定需求，包括采用納米工藝技術(shù)的器件。B1500A的自動(dòng)傳感和開(kāi)關(guān)單元(ASU)，提供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量測(cè)例如MOSFET Idoff和存儲(chǔ)單元漏電檢定等測(cè)量。工程師可以簡(jiǎn)便地透過(guò)ASU所連接到的高分辨率SMU和CMU時(shí)，作高精度IV和補(bǔ)償CV測(cè)量之間的切換。安捷倫B1500A半導(dǎo)體器件分析儀現(xiàn)已接受訂貨。基本4-SMU IV測(cè)量解決方案起價(jià)45,000美元，基本CV-IV測(cè)量解決方案起價(jià)58,000美元。預(yù)計(jì)該產(chǎn)品將在2005年8月發(fā)貨。