[導讀]隨著科技的發(fā)展，電子產品也日益智能化，這離不開IC和MEMS的支持。IC主要對數據和信息進行分析、計算和處理，而MEMS則具有更多執(zhí)行功能，用來響應和執(zhí)行IC的具體指令。MEMS主要具有兩大功能，一是反映運行中的機器狀
隨著科技的發(fā)展，電子產品也日益智能化，這離不開IC和MEMS的支持。IC主要對數據和信息進行分析、計算和處理，而MEMS則具有更多執(zhí)行功能，用來響應和執(zhí)行IC的具體指令。
MEMS主要具有兩大功能，一是反映運行中的機器狀態(tài)，以便IC能夠及時處理，另一功能則是接受和執(zhí)行來自IC的數據指令，實現(xiàn)運行控制。MEMS發(fā)展也十分迅猛，產品種類眾多，應用廣泛。
一般如MEMS麥克風、全硅振蕩器、MEMS陀螺儀等都能夠感應機器狀態(tài)并進行反饋。而MEMS傳感器應用更為廣闊，能夠對多種對象，如重量、聲音、光、氣味、運動、位置和方向以及力、電、磁、化學成份等進行感知。同時隨著MEMS傳感器的應用，很多產品體積更加小巧，性能和靈敏度提升。MEMS使得醫(yī)療儀器有更大突破，如可以精確稱量細胞重量，MEMS陀螺儀則使手機等產品發(fā)生了重大變革，MEMS慣性感測器、MEMS加速計等則在汽車安全中有著重要應用。
而噴墨打印機的打印頭，新型顯示器的MEMS數字微快門，液體控制中的微流控制器、微型設備中的MEMS微型執(zhí)行器、MEMS制動器、MEMS微型機電、微型發(fā)電機、心臟起搏器、智能假肢等產品，則主要用于實現(xiàn)第二種功能，即接受和執(zhí)行來自IC的數據指令，實現(xiàn)運行控制。隨著MEMS技術的發(fā)展，產品更加智能，人們的生活也因此更加智能。
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