凸版印刷試制出低溫狀態(tài)涂布型薄膜晶體管

凸版印刷采用透明非結(jié)晶氧化物半導(dǎo)體，試制出了將制造工藝控制在低溫狀態(tài)的涂布型薄膜晶體管“Thin Film Transistor（TFT）”，并成功地驅(qū)動(dòng)了電泳方式的可彎曲顯示器（E-ink電子紙）。

該顯示器通過印刷法涂布氧化物半導(dǎo)體層，其他層采用與普通TFT相同的制造工藝形成。凸版印刷與德國材料廠商贏創(chuàng)工業(yè)（Evonik Industries AG）共同改進(jìn)了透明非結(jié)晶氧化物半導(dǎo)體材料，并將TFT制造工藝中的最高溫度降至比原來低100℃之多的較低溫度（270℃）。由此，可以將TFT的基材由玻璃改為具有柔軟性的樹脂（耐熱薄膜）來實(shí)現(xiàn)柔性顯示器。另外，通過在制造工藝中使用涂布方式，與原來的真空成膜法相比在簡化生產(chǎn)設(shè)備、提高生產(chǎn)效率等降低制造成本方面已有眉目。

顯示器相關(guān)專業(yè)調(diào)查公司韓國Displaybank表示，由于以美國為首的電子書閱讀器的普及，預(yù)計(jì)電子紙市場(chǎng)將在2017年達(dá)到接近6000億日元的規(guī)模。電子紙要求具有輕量性和柔軟性，此次新開發(fā)的產(chǎn)品可在塑料基材上制造TFT，容易滿足這些要求。氧化物半導(dǎo)體的使用自2004年11月東京工業(yè)大學(xué)教授細(xì)野秀雄領(lǐng)導(dǎo)的研究小組開發(fā)出α- InGaZnO TFT以來備受關(guān)注，由于擁有高遷移率、穩(wěn)定性、低工藝溫度、可大面積均勻成膜以及可形成透明涂布等原來硅類半導(dǎo)體和有機(jī)半導(dǎo)體所沒有的特性，許多企業(yè)都在積極進(jìn)行研發(fā)和試制工作。

試制的顯示器的參數(shù)如下，尺寸為對(duì)角2英寸（像素?cái)?shù)為80×60），TFT基材為玻璃。半導(dǎo)體材料為透明非結(jié)晶氧化物半導(dǎo)體。特性方面，TFT遷移率超過0.5cm2/Vs，ON/OFF比超過105（與普通的非晶硅TFT相同）。 （編輯：小舟）