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刻蝕系統(tǒng)

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應(yīng)用材料公司推出用于先進(jìn)存儲(chǔ)器和邏輯芯片的新型刻蝕系統(tǒng)Sym3?

Sym3? Y專為3D NAND、DRAM和代工廠邏輯節(jié)點(diǎn)中的關(guān)鍵導(dǎo)體刻蝕應(yīng)用而打造

應(yīng)用材料公司
2020-08-10

刻蝕系統(tǒng) 存儲(chǔ)器邏輯芯片
應(yīng)用材料公司推出全新刻蝕系統(tǒng) 實(shí)現(xiàn)原子級(jí)生產(chǎn)精度

21ic訊應(yīng)用材料公司今天宣布推出下一代刻蝕設(shè)備Applied Centris™ Sym3™ 刻蝕系統(tǒng)。該系統(tǒng)設(shè)有全新的反應(yīng)腔，可實(shí)現(xiàn)原子級(jí)精度工藝。為了克服芯片內(nèi)部特征差異，Centris Sym3系統(tǒng)超越了現(xiàn)有的蝕刻技術(shù)，

工業(yè)控制
2015-07-14

應(yīng)用材料公司刻蝕系統(tǒng)