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微傳感器研究的現(xiàn)狀與性能發(fā)展方向
壓阻式壓力傳感器由于受p?n結(jié)耐溫限制，只能用于120℃以下的工作溫度，然而在許多領(lǐng)域迫切需要能夠在高低溫下正常工作的壓力傳感器,例如測(cè)量鍋爐、管道、高溫容器內(nèi)的壓力，井下壓力和各種發(fā)動(dòng)機(jī)腔體內(nèi)的壓力。目前對(duì)
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微傳感器研究的現(xiàn)狀與性能發(fā)展方向分析
1、引言 微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro?Mechanical?Systems,MEMS）是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過幾十年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、
