在科學(xué)技術(shù)高度發(fā)達(dá)的今天,各種各樣的高科技出現(xiàn)在我們的生活中,為我們的生活帶來(lái)便利,那么你知道這些高科技可能會(huì)含有的mems傳感器嗎?
引 言微機(jī)械加速度傳感器是一種典型的微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanical system,MEMS),在航空、航天、汽車等領(lǐng)域已得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,但基于MEMS微加速度傳感器技術(shù)的無(wú)線輸入設(shè)備的研究和應(yīng)用還不是很多