我國的集成電路裝備制造業(yè)亟待發(fā)展,國家政策大力扶持。集成裝備制造業(yè)是用先進科學(xué)技術(shù)改造傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的重要紐帶和載體,是高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)和信息化產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ),是國家經(jīng)濟安全和軍事安全的重要保障。而目前相對于集
擴散爐溫度自動監(jiān)控系統(tǒng)是對雙管擴散爐溫控部分進行改造,以提高爐溫精度,從而提高生產(chǎn)線的成品率,降低系統(tǒng)能耗。通過對Actel公司的Fusion系列器件FPGA編程實現(xiàn)系統(tǒng)的硬件控制。用C語言對Actel FPGA內(nèi)置的8051軟核編程實現(xiàn)系統(tǒng)的軟件控制。整個監(jiān)控系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)采集、控制算法和ZigBee無線傳輸?shù)裙δ?。測試表明,采用Fusion FPGA設(shè)計.可以同時完成多路溫度控制,整個系統(tǒng)的控制精度也有進一步的提高。
擴散爐溫度自動監(jiān)控系統(tǒng)是對雙管擴散爐溫控部分進行改造,以提高爐溫精度,從而提高生產(chǎn)線的成品率,降低系統(tǒng)能耗。通過對Actel公司的Fusion系列器件FPGA編程實現(xiàn)系統(tǒng)的硬件控制。用C語言對Actel FPGA內(nèi)置的8051軟核編程實現(xiàn)系統(tǒng)的軟件控制。整個監(jiān)控系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)采集、控制算法和ZigBee無線傳輸?shù)裙δ?。測試表明,采用Fusion FPGA設(shè)計.可以同時完成多路溫度控制,整個系統(tǒng)的控制精度也有進一步的提高。