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[導(dǎo)讀]擴(kuò)散爐溫度自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)是對(duì)雙管擴(kuò)散爐溫控部分進(jìn)行改造,以提高爐溫精度,從而提高生產(chǎn)線的成品率,降低系統(tǒng)能耗。通過對(duì)Actel公司的Fusion系列器件FPGA編程實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的硬件控制。用C語言對(duì)Actel FPGA內(nèi)置的8051軟核編程實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的軟件控制。整個(gè)監(jiān)控系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)采集、控制算法和ZigBee無線傳輸?shù)裙δ?。測(cè)試表明,采用Fusion FPGA設(shè)計(jì).可以同時(shí)完成多路溫度控制,整個(gè)系統(tǒng)的控制精度也有進(jìn)一步的提高。

1 引言
   
當(dāng)前國(guó)內(nèi)外溫控設(shè)備以單路控制居多,只能控制一路加熱沒備。在國(guó)內(nèi),可以對(duì)高溫設(shè)備同時(shí)多路溫度監(jiān)控系統(tǒng)的研發(fā)還是相對(duì)滯后,大多數(shù)設(shè)備都是通過RS232接口或者其他有線接口與上位機(jī)通信,而無線的監(jiān)控部分很少涉及。這里提出的設(shè)計(jì)方法在現(xiàn)有技術(shù)基礎(chǔ)上大膽創(chuàng)新,具有挑戰(zhàn)性。硬件電路的設(shè)計(jì)采用FPGA編程的方式實(shí)現(xiàn),電路更改方便,用FPGA的方式實(shí)現(xiàn)整個(gè)系統(tǒng)的自動(dòng)控制,降低成本,提高精度,并利用ZigBee短距離無線傳輸協(xié)議實(shí)現(xiàn)無線遠(yuǎn)程控制。

2 FPGA硬件設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
2.1 概述
    FPGA的設(shè)計(jì)使用的是ACTEL公司的Libero IDE集成開發(fā)環(huán)境。FPGA的內(nèi)部電路由A/D轉(zhuǎn)換模塊、PWM模塊、10路PWM控制信號(hào)選擇模塊、PS2模塊、50 Hz時(shí)鐘信號(hào)產(chǎn)生模塊、報(bào)警電路模塊(FPGA實(shí)現(xiàn))、LCD顯示模塊和Core805l模塊等構(gòu)成。圖1給出系統(tǒng)電路框圖。這些硬件模塊搭建組成整個(gè)控制系統(tǒng),其中Core 8051模塊是整個(gè)FPGA內(nèi)部電路的核心,所有的數(shù)據(jù)通過8051進(jìn)行處理并顯示。

2.2 電路模塊的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
    (1)A/D轉(zhuǎn)換模塊ACTEL FPGA中的A/D轉(zhuǎn)換模塊將模擬到的數(shù)字轉(zhuǎn)換嵌入在FPGA中,通過軟件配置來實(shí)現(xiàn)不同A/D轉(zhuǎn)換的精度。擴(kuò)散爐溫控系統(tǒng)設(shè)計(jì)中,模擬信號(hào)輸入沒定為20路,分別是10路經(jīng)過放大后的溫度傳感器電壓信號(hào)和10路手動(dòng)控制輸入的電壓信號(hào)。該模塊采用分時(shí)采樣的方法,對(duì)20路的模擬信號(hào)做A/D轉(zhuǎn)換,將轉(zhuǎn)換的結(jié)果、通道號(hào)和有效信號(hào)輸送給8051的I/O端口,然后在軟件中再讀取所需要的通道轉(zhuǎn)換的數(shù)字信號(hào)。
    (2)毛刺濾除模塊用邏輯分析儀測(cè)試A/D轉(zhuǎn)換后的輸出結(jié)果時(shí),發(fā)現(xiàn)轉(zhuǎn)換有效信號(hào)DATAVAIJD有毛刺,為保證8051信號(hào)輸入的準(zhǔn)確性,對(duì)有效信號(hào)必須處理,保證正確地采集到MD的轉(zhuǎn)換結(jié)果,避免信號(hào)采集錯(cuò)誤。由于DATAVALID的頻率為2 MHz,用高頻率10 MHz的時(shí)鐘信號(hào)可以濾除毛刺。該模塊的設(shè)計(jì)思想是讓時(shí)鐘信號(hào)為10 MHz的高頻信號(hào),經(jīng)過D觸發(fā)器濾除毛刺。
    (3)PS2模塊根據(jù)PS2的通信協(xié)議,將輸入的串行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為并行數(shù)據(jù)和一位轉(zhuǎn)換有效的使能信號(hào)。將這些信號(hào)傳輸?shù)?05l,并運(yùn)行軟件程序處理,實(shí)現(xiàn)整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)定數(shù)據(jù)輸入,即各個(gè)通道參數(shù)的設(shè)定。由于高頻時(shí)鐘所產(chǎn)生的有效信號(hào),其脈沖信號(hào)非常窄,在硬件電路設(shè)計(jì)時(shí)將這個(gè)信號(hào)加寬到PS2模塊工作時(shí)鐘周期的12倍,這樣在8051程序的執(zhí)行中,可采集到這個(gè)有效信號(hào)。PS2模塊在系統(tǒng)中的連接如圖2所示。

    (4)10路PWM控制信號(hào)選擇模塊PWM模塊中的復(fù)位控制信號(hào)PWMRST用于控制該通道是否開啟,將這個(gè)復(fù)位信號(hào)輸送到相應(yīng)的PWM通道,實(shí)現(xiàn)該通道的通斷控制??刂菩盘?hào)PWMDATA用來控制占空比的數(shù)據(jù),將這個(gè)控制數(shù)據(jù)輸送到相應(yīng)的PWM模塊。
    (5)PWM模塊寬度可調(diào)脈沖模塊(簡(jiǎn)稱PWM),用來控制可控硅的通斷。該模塊的輸入信號(hào)包括50Hz的時(shí)鐘信號(hào)和脈沖占空比控制信號(hào),將其傳輸給PWM模塊,從而控制輸出信號(hào)的占空比,來調(diào)節(jié)加載在電爐絲兩端的電壓在一個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)的通斷比,達(dá)到調(diào)節(jié)電爐絲加熱功率的目的。該模塊是一個(gè)帶復(fù)位的PWM。復(fù)位信號(hào)可用作端口關(guān)閉的信號(hào),可直接控制通道是否加熱。
    (6)報(bào)警電路模塊報(bào)警電路模塊包括:聲音報(bào)警和發(fā)光二極管指示兩部分。其控制信號(hào)都是由805l軟核給出,控制指令一路直接輸出到LED,另一路則連接到50 Hz信號(hào)的選通端,當(dāng)805l給出報(bào)警數(shù)據(jù)時(shí),LED為高電平,紅燈亮,同時(shí)選通50 Hz的信號(hào)輸出到蜂鳴器端,完成報(bào)警。
    (7)50 Hz時(shí)鐘信號(hào)產(chǎn)生模塊PWM模塊需要50 Hz的工作時(shí)鐘,模塊通過分頻的方法產(chǎn)生所需的時(shí)鐘,采用計(jì)數(shù)器分頻的方法,將2 MHz的輸入信號(hào)作為計(jì)數(shù)脈沖信號(hào),輸出脈沖是計(jì)數(shù)器的最高位,實(shí)現(xiàn)分頻。該電路簡(jiǎn)單,占用的資源也比較少。
    (8)LCD顯示模塊 系統(tǒng)設(shè)計(jì)選用640x480點(diǎn)陣的LCD顯示屏,用MAX—EPM3128ACT CPLD做成的控制板代替LCD控制器,16個(gè)地址口、8個(gè)數(shù)據(jù)口和4個(gè)控制口的控制板與外圍處理器相連接。因?yàn)椴恍鑿腖CD的屏幕讀取數(shù)據(jù),4個(gè)控制口只用到了命令/數(shù)據(jù)選擇控制信號(hào)CMD和寫信號(hào)WR。在顯示中對(duì)LCD的操作即是對(duì)一個(gè)RAM的讀寫,將顯示的點(diǎn)陣信息寫入到相應(yīng)的RAM地址中即可。內(nèi)部有兩塊相同的RAM模塊,可對(duì)不同部分的RAM操作,這樣可以增加LCD的刷新頻率,顯存數(shù)據(jù)可交替讀寫,還可以邊寫邊顯示。LCD控制器的數(shù)據(jù)/命令的選擇信號(hào)就是CMD信號(hào)。圖3給出LCD接口與FPGA的連接原理圖。

    (9)ZigBee無線傳輸電路選用基于MCl3192射頻收發(fā)器作為ZigBee無線傳輸模塊。模塊內(nèi)嵌的軟件協(xié)議支持免碰撞串行通訊的功能,使多點(diǎn)TTL/2RS232/RS485數(shù)據(jù)流透明的傳輸,互不影響。從8051的串口輸出端發(fā)送數(shù)據(jù)給無線傳輸模塊。在8051串行數(shù)據(jù)輸入端接收發(fā)送成功或失敗的反饋信號(hào)。805l發(fā)送和接收的都是TTL電平信號(hào)。另一端ZigBee模塊直接與PC機(jī)的RS232串口相連接,用來接收從8051中發(fā)送的數(shù)據(jù)。圖4給出模塊間的連接框圖。[!--empirenews.page--]

    (10)實(shí)例化Core8051模塊該控制系統(tǒng)的系統(tǒng)軟件用805l編程實(shí)現(xiàn),ACTEL公司提供的8051軟核是該控制系統(tǒng)的核心,系統(tǒng)設(shè)計(jì)是直接調(diào)用該軟核,然后實(shí)例化8051軟核。軟件中溫度控制算法采用增量式PID算法編寫,實(shí)現(xiàn)了高精度的溫度控制。圖5給出FPGA內(nèi)部的805l模塊與內(nèi)部存儲(chǔ)器之間的接口框圖。圖6給出Core8051與程序存儲(chǔ)器之間的連接框圖。圖7給出Core8051與A/D轉(zhuǎn)換器之間的連接框圖。

3 結(jié)語
   
擴(kuò)散爐溫度自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)的研究不僅可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中的干燥設(shè)備、擴(kuò)散爐、熱處理設(shè)備,也可以移植應(yīng)用于紡織、化工等其它行業(yè)的溫度控制系統(tǒng)。擴(kuò)散爐溫控系統(tǒng)設(shè)計(jì)采用Fusion FPGA實(shí)現(xiàn),電路更改方便,移植性強(qiáng),與原系統(tǒng)相比,將多路A/D轉(zhuǎn)換、Core8051內(nèi)核、PWM等模塊放到一個(gè)芯片內(nèi)部,大大降低成本;采用PID算法控制,提高了精度;完成了多路溫度控制及無線傳輸功能。該系統(tǒng)已應(yīng)用于集成電路工藝實(shí)驗(yàn)室的擴(kuò)散爐溫度控制系統(tǒng),控制精度較前提高30%,完成了整個(gè)系統(tǒng)的數(shù)字化過程,取得了良好的實(shí)用效果。

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