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電子制造進(jìn)入低成本高品質(zhì)時代 潔凈技術(shù)亟待優(yōu)化
隨著電子技術(shù)的發(fā)展,對潔凈技術(shù)提出新的要求.有效降低潔凈室建設(shè)/運(yùn)營成本,減少能耗是潔凈設(shè)計技術(shù)的發(fā)展目標(biāo)。潔凈室系統(tǒng)的設(shè)計與施工是電子信息產(chǎn)品制造過程中的重要環(huán)節(jié)，尤其是對于超大規(guī)模集成電路、高世代TFT-
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完善超純水系統(tǒng)提高IC制造良率
在電子工業(yè)中，集成電路特征尺寸不斷縮小，使得生產(chǎn)過程中超純水的水質(zhì)要求也愈來愈高。電子工廠潔凈廠房設(shè)計中純水供應(yīng)是重要內(nèi)容之一，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)、水量要求均不相同。IC制造應(yīng)關(guān)注超純水水質(zhì)
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大尺寸液晶面板的布線電阻減小一半 東北大學(xué)開發(fā)出Cu-Mn合金并計劃量產(chǎn)
日本東北大學(xué)的小池淳一教授開發(fā)出了用于大尺寸液晶面板的低電阻Cu-Mn合金的技術(shù)。與目前液晶面板中所使用的Al布線相比，電阻減為一半。通過在驅(qū)動TFT柵極的左右方向的掃描線布線中使用該布線材料，即使是大尺寸面板
