國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備巨頭中微公司的創(chuàng)始人尹志堯被譽(yù)為 “中國蝕刻機(jī)之父”,昨天他在電話會議中表示,中微半導(dǎo)體 80% 的限制進(jìn)口零部件可在國內(nèi)替代,明年下半年實(shí)現(xiàn) 100% 國產(chǎn)!
據(jù)業(yè)內(nèi)信息,昨天中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司宣布,在針對美國半導(dǎo)體設(shè)備大廠泛林集團(tuán)(Lam Research Corporation)提起的侵犯商業(yè)秘密案中贏得二審勝訴。
紫光旗下的長江存儲在2019年9月份正式量產(chǎn)了國內(nèi)首個(gè)64層堆棧的3D閃存,容量256Gb,TLC芯片,2020年長江存儲還會進(jìn)一步提升產(chǎn)能,年底將達(dá)到每月6萬片晶圓的水平,是初期產(chǎn)能的10倍。 擴(kuò)大
根據(jù)臺積電的工藝路線圖,2020年Q3季度就要試產(chǎn)5nm工藝了,這一代工藝會全面應(yīng)用EUV光刻技術(shù)。除了光刻機(jī)之外,蝕刻機(jī)也是半導(dǎo)體工藝中不可缺少的一步,在這個(gè)領(lǐng)域中國半導(dǎo)體裝備公司也取得了可喜的進(jìn)步