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基于SCR結(jié)構(gòu)的納米工藝ESD防護(hù)器件研究
本文主要針對用于ESD防護(hù)的SCR結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究。通過對其ESD泄放能力和工作機(jī)理的研究，為納米工藝下的IC設(shè)計(jì)提供ESD保護(hù)。本文的研究主要集中在兩種常見的SCR上，低觸發(fā)電壓SCR（LVTSCR）與二極管輔助觸發(fā)SCR（DTSCR）。本文也對以上兩種SCR結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，使得其能夠在不同工作環(huán)境和相應(yīng)電壓域下達(dá)到相應(yīng)的ESD防護(hù)等級。本文的測試與分析基于傳輸線脈沖測試儀（TLP）與TCAD仿真進(jìn)行，通過對SCR中的正反饋工作機(jī)理的闡述，證明了SCR結(jié)構(gòu)是一種新穎有效的ESD防護(hù)器件。
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基于SCR結(jié)構(gòu)的納米工藝ESD防護(hù)器件研究
摘要：本文主要針對用于ESD防護(hù)的SCR結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究。通過對其ESD泄放能力和工作機(jī)理的研究，為納米工藝下的IC設(shè)計(jì)提供ESD保護(hù)。本 文的研究主要集中在兩種常見的SCR上，
