在?第一部分 中本文綜述了三軸高精度MEMS加速度計(jì)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。在?第二部分里面 ,我們回顧了如何獲得一個(gè)良好的起始數(shù)據(jù)集,以建立基線性能,并驗(yàn)證在隨后的數(shù)據(jù)分析中所期望的噪聲水平。在本系列的最后一部分中,我們探討了其他影響穩(wěn)定性的因素,并提出了改進(jìn)三軸高精度MEMS加速度計(jì)整體性能的機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)建議。
中國,北京 – Analog Devices, Inc. (ADI)推出一款三軸MEMS加速度計(jì),可用于廣泛的醫(yī)療健康和工業(yè)應(yīng)用,包括生命體征監(jiān)測、聽力輔助和運(yùn)動(dòng)計(jì)量等設(shè)備。ADXL367加速度計(jì)與上一代器件(ADXL362)相比,功耗改善了兩倍,同時(shí)噪聲性能提高了30%以上。新款加速度計(jì)還提供更長的現(xiàn)場使用時(shí)間,最大限度地延長了電池壽命,并降低了維護(hù)頻率和成本。
為增進(jìn)大家對MEMS的了解,本文將對典型的MEMS工藝流程以及MEMS加速度計(jì)的運(yùn)用前景予以闡述。
引言 MEMS1 (微機(jī)電系統(tǒng))利用專為半導(dǎo)體集成電路所開發(fā)的制造工藝設(shè)施實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)制造。微機(jī)電結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)方法是通過在半導(dǎo)體基片上刻蝕特定的圖形,來實(shí)現(xiàn)傳感器單元或者可以移動(dòng)零點(diǎn)幾微米的機(jī)械執(zhí)
對MEMS加速度計(jì)的調(diào)查發(fā)現(xiàn),目前一個(gè)產(chǎn)品不能同時(shí)提供最低噪聲和最低功耗。
Analog Devices, Inc.推出兩款專門針對工業(yè)條件監(jiān)測應(yīng)用而設(shè)計(jì)的高頻率、低噪聲MEMS加速度計(jì)ADXL1001和ADXL1002。
為應(yīng)用選擇最合適的加速度計(jì)可能并不容易,因?yàn)閬碜圆煌圃焐痰臄?shù)據(jù)手冊可能大相徑庭,讓人難以確定最為重要的技術(shù)指標(biāo)是什么。在本文第二部分,我們將從可穿戴設(shè)備、狀態(tài)監(jiān)控和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的角度重點(diǎn)討論各項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)和特性。
Analog Devices, Inc. (ADI)近日宣布,廣受用戶歡迎的低噪聲、低漂移、低功耗三軸MEMS加速度計(jì)系列新增ADXL356和ADXL357兩款器件。新款加速度計(jì)可實(shí)現(xiàn)高頻低噪聲性能,提供高分辨率振動(dòng)測量,可在狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用中盡早檢測出機(jī)器故障。
Analog Devices, Inc. (ADI),全球領(lǐng)先的高性能信號處理技術(shù)解決方案供應(yīng)商,最近推出兩款專門針對工業(yè)條件監(jiān)測應(yīng)用而設(shè)計(jì)的高頻率、低噪聲MEMS加速度計(jì)ADXL1001和ADXL1002。利用這些MEMS加速度計(jì)可實(shí)現(xiàn)高分辨率振