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[導讀]如果說此前封裝技術還被認為是歸于產業(yè)鏈后端流程的技術,現(xiàn)在“時代變了”。

如果說此前封裝技術還被認為是歸于產業(yè)鏈后端流程的技術,現(xiàn)在“時代變了”。

臺積電在官網(wǎng)關于 3D 封裝如此介紹,計算工作的負載在過去十年中的發(fā)展可能比前四個十年都要大。云計算、大數(shù)據(jù)分析、人工智能 (AI)、神經(jīng)網(wǎng)絡訓練、人工智能推理、先進智能手機上的移動計算甚至自動駕駛汽車,都在推動計算向極限發(fā)展。

在這過程中,封裝技術也被推向了創(chuàng)新的前沿,其對產品的性能、功能和成本有著至關重要的影響。也因此,封裝技術不

因為疫情因素,行業(yè)熱點大會 Hot Chips 33 在線上展開。臺積電 Pathfinding for System Integration 副總經(jīng)理余振華主要分享了臺積電的 chiplet(小芯片)和 3D 封裝技術。

今天,Hot Chips官方公布了大會日程,Intel、AMD、NVIDIA、IBM、臺積電等芯片巨頭將再次輪番登場,講解各家的最新芯片架構、封裝技術,尤其是在半導體工藝提升困難的情況,發(fā)展新型封裝工藝成為共識。

大會第一天就是“封裝日”,Intel、臺積電都會分享自己的小芯片(chiplets)、3D封裝技術,Intel還會介紹一些2.5D、3D封裝產品實例,AMD則會闡述自己的3D封裝產品。

余振華介紹了臺積電 3D Fabric 技術平臺的細節(jié),該技術平臺包含臺積電前端芯片堆疊 SoIC 技術和后端先進封裝 CoWoS 和 InFO 技術。

其實,早于 2020 年,臺積電就表示已整合旗下 SoIC、InFO 及 CoWoS 等 3D IC 技術平臺,并命名為“3D Fabric”。

再是后端流程的“專屬”,晶圓代工巨頭也開始紛紛入局。

環(huán)氧晶片上制備了再分布互連層(RDL)。(InFO- l是指嵌入在InFO包中的模具之間的硅“橋晶片”,用于在RDL金屬化間距上改善模具之間的連接性。)

2.5D CoWoS技術利用microbump連接將芯片(和高帶寬內存堆棧)集成在一個插入器上。最初的CoWoS技術產品(現(xiàn)在的CoWoS- s)使用了一個硅插入器,以及用于RDL制造的相關硅基光刻;通過硅通道(TSV)提供與封裝凸點的連接。硅插入器技術提供了改進的互連密度,這對高信號計數(shù)HBM接口至關重要。最近,臺積電提供了一種有機干擾器(CoWos-R),在互連密度和成本之間進行權衡。

3D SoIC產品利用模塊之間的混合粘接提供垂直集成。模具可能以面對面的配置為向導。TSV通過(減薄的)模具提供連接性。

InFO和CoWoS產品已連續(xù)多年大批量生產。CoWoS開發(fā)中最近的創(chuàng)新涉及將最大硅插入器尺寸擴展到大于最大光罩尺寸,以容納更多模具(尤其是HBM堆棧),將RDL互連拼接在一起。

11月26日消息,據(jù)臺灣《電子時報》援引業(yè)內人士稱,臺積電已將2.5D封裝技術CoWoS (Chip On Wafer On Substrate)封裝業(yè)務的部分流程外包給日月光(ASE)、矽品、安靠(Amkor)等 OSATs,尤其是一些需要小批量定制的高性能芯片,臺積電只在晶圓層面處理 CoW 流程,而將oS(On Substrate,簡稱oS)流程外包給OSATs,類似的合作模式預計將在未來的3D IC封裝中繼續(xù)存在。

CoWoS技術先將芯片通過Chip on Wafer(CoW)的封裝制程連接至硅晶圓,再把CoW芯片與基板連接(oS)。其中oS流程無法實現(xiàn)自動化的部分較多,需要更多人力,而日月光、矽品、安靠等頂尖OSAT廠商在oS流程處理方面的經(jīng)驗更多。

“先進封裝”升級躍遷,臺積電采用靈活模式與 OSATs 合作

“先進封裝”也是一個長期變化的概念,每個時代的“先進封裝”都意味著一次技術體系革新。例如,過去DIP、SOP、TSOP、QFP、LQFP等技術被看作傳統(tǒng)封裝時,BGA、CSP、FC、MCM(MCP)等技術就會被稱為“先進封裝”。臺積電于2012年推出了CoWoS封裝技術,但由于成本較高而難以推廣。隨后又推出了主要針對手機芯片的InFO封裝技術,采用聚酰胺薄膜代替CoWoS中的硅中介層,從而降低了單位成本和封裝高度。CoWoS和InFO先進封裝解決方案,為臺積電的先進工藝之虎插上雙翼。

近日,有臺灣地區(qū)媒體報道,臺積電已將2.5D封裝技術CoWoS(Chip On Wafer On Substrate)業(yè)務的部分流程(On Substrate,簡稱oS)外包給了OSAT廠商,主要集中在小批量定制產品方面。而類似的合作模式預計將在未來的3D IC封裝中繼續(xù)存在。

CoWoS技術先將芯片通過Chip on Wafer(CoW)的封裝制程連接至硅晶圓,再把CoW芯片與基板連接(oS)。

臺積電擁有高度自動化的晶圓級封裝技術,而oS流程無法實現(xiàn)自動化的部分較多,需要更多人力,而日月光(ASE)、矽品、安靠(Amkor)等頂尖OSAT廠商在oS流程處理方面的經(jīng)驗更多。

在過去幾年里,臺積電已經(jīng)陸續(xù)將部分封裝業(yè)務的oS流程外包給了上述OSAT廠商,包括使用FOWLP和InFO封裝工藝的HPC芯片。

事實上,在過去的2-3年里,臺積電已經(jīng)陸續(xù)將部分封裝業(yè)務的oS流程外包給了上述企業(yè),包括硅中介層集成或扇出晶圓級封裝(FOWLP),以及需要使用CoWoS或InFO_oS封裝工藝進行小批量生產的各種HPC芯片。

消息人士稱,對臺積電來說,除先進工藝外,最賺錢的業(yè)務是晶圓級SiP技術,如CoW和WoW,其次是扇出和中介層集成,oS的利潤最低。由于異構芯片集成需求將顯著增長,預計臺積電采用更靈活的模式與OSATs合作。

該人士強調,即使臺積電最新的SoIC技術在未來得到廣泛應用,代工廠和OSATs之間的合作仍將繼續(xù),因為SoIC和CoWoS一樣,最終將生產出“晶圓形式”的芯片,可以集成異質或同質芯片。

該消息人士稱,臺積電目前還采用無基板的InFO_PoP技術,對采用先進工藝節(jié)點制造的iPhone APs進行封裝,強大的集成制造服務有助于從蘋果獲得大量訂單。

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