壓力傳感器如何防腐?如何制作壓力傳感器?
壓力傳感器可以說(shuō)是最常用的傳感器類型之一,對(duì)于壓力傳感器,我們也相對(duì)更為熟悉。上篇文章中,小編對(duì)壓力傳感器的干擾源有所闡述。為增進(jìn)大家對(duì)壓力傳感器的認(rèn)識(shí),本文將對(duì)壓力傳感器防腐技巧以及制作壓力傳感器的流程予以介紹。如果你對(duì)壓力傳感器具有興趣,不妨繼續(xù)往下閱讀哦。
一、壓力傳感器防腐技巧
壓力傳感器被應(yīng)用于各行各業(yè),尤其是工業(yè)上應(yīng)用非常多的壓力傳感器,但是工業(yè)上一般要求壓力傳感器能夠防腐蝕,壓力傳感器接頭和腔體采用進(jìn)口不銹鋼整體加工,作為壓力變送器彈體的不銹鋼材料耐蝕性高、衰減性能好,可以監(jiān)測(cè)任何與316L相兼容的介質(zhì)。下面我們還來(lái)介紹一下壓力傳感器的防腐技巧。
首先,了解被測(cè)介質(zhì)是否與316L相兼容:316,317L合金在100小時(shí)5%鹽霧測(cè)試中,都沒有出現(xiàn)腐蝕。其次,在選購(gòu)傳感器產(chǎn)品時(shí),向供應(yīng)商咨詢介質(zhì)對(duì)壓力傳感器是否有影響;通過(guò)對(duì)彈體耐腐蝕材料的選擇,以便達(dá)到用戶使用的需求。最后,我們可以采用隔離辦法:壓力變送器前有鉬2鈦和鉭片,膜片與彈道管之間用甲基硅油傳送壓力,最小量程可做到0~100kPa,如果膜片材料還不耐腐,則可加一層F46膜片,但儀表靈敏度有所降低。也可直接用F46作隔離膜片,傳遞液可選用氟油,則可起雙重隔離作用。
壓力傳感器在使用過(guò)程中一旦發(fā)現(xiàn)其不能與介質(zhì)兼容就必須馬上更換傳感器,對(duì)應(yīng)一些特殊的介質(zhì)我們可以采用特殊的材質(zhì)或者特殊的結(jié)構(gòu)來(lái)進(jìn)行測(cè)量,壓力傳感器未來(lái)肯定會(huì)得到更加廣泛的應(yīng)用,所以作為廠家我們要積極開發(fā)新型壓力傳感器來(lái)適應(yīng)需要。
二、如何制作壓力傳感器
壓力傳感器怎么制作?壓力傳感器在加工細(xì)節(jié)上應(yīng)該注意些什么?壓力傳感器的制作步驟詳細(xì)介紹我們一起來(lái)了解一下。
典型濺射薄膜式壓力傳感器的主要工藝流程包括彈性體制造、研磨拋光、鍍膜、離子束刻蝕等四道工序。
彈性體設(shè)計(jì)與制造:指彈性體鋼杯的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與機(jī)械加工,去應(yīng)力熱處理。此環(huán)節(jié)將確定彈性體膜片基本參數(shù),基本決定了濺射薄膜式壓力傳感器的輸入一輸出關(guān)系。彈性體建模與計(jì)算過(guò)程非常重要,將在下一節(jié)重點(diǎn)闡述。
研磨與拋光:對(duì)合格的彈性體鋼杯進(jìn)行研磨、拋光,使表面達(dá)到光潔度要求,然后再作進(jìn)一步的減薄處理。
鍍膜:與刻蝕交替進(jìn)行。采用離子束濺射淀積技術(shù),在金屬?gòu)椥泽w表面制造粘附力強(qiáng)、膜層均勻、致密、性能穩(wěn)定的多層薄膜。
刻蝕:采用半導(dǎo)體光刻和腐蝕的方法,或者研究采用離子束刻蝕工藝將電阻膜刻蝕成惠斯登電橋的電阻條圖形;將引線膜刻蝕成引線電極。
電橋微調(diào):采用薄膜電阻對(duì)惠斯登電橋的橋臂電阻進(jìn)行補(bǔ)償,將傳感器的輸出調(diào)整到設(shè)計(jì)范圍內(nèi)(即理想零點(diǎn))。
焊接:采用激光焊接或電子束焊接工藝,將合格芯片和支架、殼體等焊接到帶有壓力測(cè)試口的基座上。將壓力敏感元件與壓力接頭焊裝在一起是一道關(guān)鍵的工序。采用大功率激光焊機(jī)焊接或電子束焊機(jī)焊接,焊縫深度可達(dá)2.2mm。大量的焊接工藝試驗(yàn)表明,選用不同的焊接工藝參數(shù),可以有效地消除焊接應(yīng)力給傳感器造成的不良影響。彈性體與基座、支架、外殼焊接成一體。
引線內(nèi)封裝:采用金絲球焊或者壓焊工藝,焊接芯片引線從薄膜應(yīng)變電阻的電極連接到支架。
穩(wěn)定性處理:對(duì)傳感器進(jìn)行各項(xiàng)環(huán)境試驗(yàn),并反復(fù)測(cè)量其輸出,考核其穩(wěn)定性。
數(shù)字修正:在穩(wěn)定性處理后,根據(jù)事前設(shè)計(jì)的各項(xiàng)參數(shù)對(duì)傳感器進(jìn)行溫度靈敏度、非線性等零點(diǎn)補(bǔ)償工作。
整體封裝:將補(bǔ)償好的傳感器敏感芯片進(jìn)行噴涂等表面處理,目的在于防止傳感器敏感芯片的膜層和電路受環(huán)境影響。
老化、試驗(yàn):對(duì)封裝好的傳感器進(jìn)行高低溫、電應(yīng)力老化試驗(yàn)和振動(dòng)、沖擊、疲勞、濕熱、熱真空等各種可靠性環(huán)境試驗(yàn)。
以上便是此次小編帶來(lái)的“壓力傳感器”相關(guān)內(nèi)容,通過(guò)本文,希望大家對(duì)壓力傳感器防腐技巧以及制作壓力傳感器的流程具備一定的了解。如果你喜歡本文,不妨持續(xù)關(guān)注我們網(wǎng)站哦,小編將于后期帶來(lái)更多精彩內(nèi)容。最后,十分感謝大家的閱讀,have a nice day!