奮起直追 推動高能離子注入機自立自強

電子強軍，科技報國。中國電科深入學習貫徹習近平總書記重要講話精神和重要指示批示精神，秉承軍工電子主力軍、網(wǎng)信事業(yè)國家隊、國家戰(zhàn)略科技力量的使命責任，堅決履行強軍首責，聚力推動改革創(chuàng)新，用一型型“大國重器”服務武器裝備現(xiàn)代化和高水平科技自立自強。為展現(xiàn)電科人為強國強軍事業(yè)的不懈追求，特開設“中國電科與大國重器”專欄報道，今日推出報道“奮起直追 推動高能離子注入機自立自強”。

“成功了!成功了!”

仲夏深夜，在北京東南方的中國電科所屬北京爍科中科信設備研發(fā)中心，傳來一聲聲激動的吶喊聲，困擾研發(fā)團隊已久的高能離子注入機核心技術難關得到突破!幾日后，好消息傳來，由該團隊自主研制的國內(nèi)首臺高能離子注入機順利進駐國內(nèi)先進集成電路大生產(chǎn)線。

高能離子注入機是離子注入機中技術難度最大的機型，是我國集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關鍵一環(huán)。

習近平總書記指出，突破“卡脖子”關鍵核心技術必須堅持問題導向，發(fā)揮新型舉國體制優(yōu)勢，踔厲奮發(fā)、奮起直追，加快實現(xiàn)科技自立自強。

中國電科貫徹落實習近平總書記重要指示批示精神，發(fā)揮集團公司國家戰(zhàn)略科技力量重要作用，下定決心、保持恒心、找準重心，加快補齊產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈短板弱項，提升關鍵核心技術掌控力。

作為集成電路芯片制造的關鍵設備，離子注入機設備的研制難度極大、研制基礎薄弱?！皼Q不能讓芯片制造斷鏈短鏈!”懷揣裝備報國的理想，研發(fā)團隊正式向關鍵裝備研制發(fā)起了挑戰(zhàn)，經(jīng)過艱苦努力，在成千上萬遍實驗

模擬后，實現(xiàn)了中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，大幅縮小了與國際一流水平差距。

聚焦全產(chǎn)業(yè)鏈，高端裝備產(chǎn)業(yè)化也已然邁出新步伐。中國電科董事長、黨組書記陳肇雄強調(diào)，要充分發(fā)揮電子信息領域完整產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，統(tǒng)籌戰(zhàn)略需求，保持恒心定力，補齊短板弱項，強化“非對稱”趕超戰(zhàn)略思維，以長補短、換道超車，堅決打贏關鍵核心技術攻堅戰(zhàn)。

堅持推進高水平科技自立自強澎湃向前。近年來，中國電科積極布局集成電路制造裝備、三代半導體等一批重點產(chǎn)業(yè)領域，成效顯著：圍繞支撐集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的電子制造裝備領域、電子功能材料領域，中國電科已形成離子注入機、化學機械平坦化設備(CMP)等拳頭產(chǎn)品，集成電路關鍵制造裝備產(chǎn)業(yè)規(guī)模化、產(chǎn)品系列化步伐明顯加快，關鍵領域保障能力不斷增強，有效提升產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈現(xiàn)代化水平;聚焦半導體制造、半導體應用，中國電科連續(xù)攻克數(shù)百項關鍵核心技術，填補了產(chǎn)業(yè)鏈空白;著力打造國產(chǎn)集成電路和三代半導體裝備驗證平臺，封裝組裝、新能源、新型顯示裝備及其智能制造集成服務核心競爭力優(yōu)勢不斷提升。

未來，中國電科將繼續(xù)瞄準國家重大戰(zhàn)略需求，在關鍵核心技術上全力攻堅，為高水平科技自立自強作出更大貢獻。