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[導(dǎo)讀]眾所周知,目前5nm及以下的尖端半導(dǎo)體制程必須要用到價(jià)格極其高昂的EUV光刻機(jī),ASML是全球唯一的供應(yīng)商。更為尖端2nm制程的則需要用到ASML新一代0.55 NA EUV光刻機(jī),售價(jià)或高達(dá)4億美元。

眾所周知,目前5nm及以下的尖端半導(dǎo)體制程必須要用到價(jià)格極其高昂的EUV光刻機(jī),ASML是全球唯一的供應(yīng)商。更為尖端2nm制程的則需要用到ASML新一代0.55 NA EUV光刻機(jī),售價(jià)或高達(dá)4億美元。

Intel正計(jì)劃利用新一代0.55 NA EUV光刻機(jī)來開發(fā)其Intel 20A(2nm)及18A(1.8nm)制程。但是,要想實(shí)現(xiàn)1nm以下的更先進(jìn)的制程,即便是ASML新一代0.55 NA EUV光刻機(jī)也束手無策。

ASML正在準(zhǔn)備交付新一代的High-NA EUV 光刻機(jī),這臺(tái)光刻機(jī)采用了0.55數(shù)值孔徑,比上一代的0.33數(shù)值孔徑系統(tǒng)有更大的精度提升。

不過耗電量,造價(jià)也在持續(xù)上漲。關(guān)鍵在于,High-NA EUV 光刻機(jī)將成為生產(chǎn)2nm甚至是1nm的重要設(shè)備。

英特爾,三星都在參與競爭,試圖趕超臺(tái)積電,那么臺(tái)積電能撐得住嗎?新款設(shè)備交付后,舊款EUV光刻機(jī)能自由出貨嗎?

臺(tái)積電,三星是全球第一,第二大芯片制造商,二者的芯片制造技術(shù)代表人類最高的芯片生產(chǎn)水平。

目前臺(tái)積電實(shí)現(xiàn)了5nm,4nm等芯片的穩(wěn)定量產(chǎn),而三星在今年6月底就成功進(jìn)入3nm量產(chǎn)狀態(tài)。臺(tái)積電也會(huì)按照計(jì)劃,在下半年進(jìn)入3nm量產(chǎn)。不過4nm,3nm不是芯片制程的終點(diǎn),摩爾定律還沒有就此結(jié)束,在3nm以下還能實(shí)現(xiàn)更先進(jìn)的2nm。

而ASML新一代的High-NA EUV 光刻機(jī)會(huì)成為生產(chǎn)2nm芯片的關(guān)鍵設(shè)備。

自從ASML研制High-NA EUV 光刻機(jī)以來,進(jìn)度遠(yuǎn)超想象。今年7月份ASML透露收到了機(jī)械投影,光源以及晶圓載物臺(tái)等核心元器件。

這意味著供應(yīng)商已經(jīng)在配合ASML的生產(chǎn)需要,積極供貨。就在9月底,ASML進(jìn)一步傳來消息,正式官宣明年向客戶交付首臺(tái)High-NA EUV 光刻機(jī)。這臺(tái)光刻機(jī)最高或可生產(chǎn)1nm芯片,當(dāng)然,最終能否造得出來,還得看芯片制造商的技術(shù)。

ASML還說過,已經(jīng)拿到了5臺(tái)High-NA EUV 光刻機(jī)的預(yù)付訂單。但ASML并沒有透露這些客戶的信息。

雖然不難猜測英特爾,三星和臺(tái)積電會(huì)搶購High-NA EUV 光刻機(jī),可是其它半導(dǎo)體公司也會(huì)采購High-NA EUV 光刻機(jī)用于研究用途。而且英特爾,三星和臺(tái)積電這三大巨頭一時(shí)半會(huì)還無法造出2nm芯片,所以明年獲得High-NA EUV 光刻機(jī)首發(fā)訂單的客戶,未必會(huì)拿來生產(chǎn)芯片。

若摩爾定律不死,2028年實(shí)現(xiàn)1nm的芯片,但之后就是數(shù)字的游戲了

根據(jù)摩爾定律,晶圓管的密度每18個(gè)月就會(huì)增加一倍,因此性能也就翻了一番。

在過去的幾十年里,摩爾定律一直在發(fā)展,但到了7nm之后,這種規(guī)律就被打破了,比如5nm和3nm的發(fā)展速度就會(huì)大大降低,這也是為什么摩爾定律已經(jīng)失效的原因。

然而,比利時(shí)的IMEC卻公布了一份最新的芯片生產(chǎn)技術(shù)路線圖,上面寫著2036年的0.2nm制程,表明芯片的生產(chǎn)將繼續(xù)遵循摩爾定律。

從2024年到2024年,A14到1.4nm,2028年到1nm,2036年,N3到0.2nm。

同時(shí),晶圓管的技術(shù)也在不斷的發(fā)展,從FinFET開始,到了2nm,GAAFET就變成了CFET。

但是,請注意我上方的綠色方塊,這是MP金屬柵極間距,它是用來表示晶體管密度的。

從1nm開始,它的體積就會(huì)越來越小,到了1nm的時(shí)候,已經(jīng)達(dá)到了16nm,但無論技術(shù)如何進(jìn)步,它的性能都停留在16nm到12nm之間。

也就是說,不管是1納米、0.5納米、0.2納米,晶體管的密度都不會(huì)有太大的改變。

其實(shí),先前就有科學(xué)家說過,到了1nm以后,量子隧道效應(yīng)就有可能導(dǎo)致半導(dǎo)體的失效,所以1nm以后,這種MP金屬柵極間距就沒有變化了。

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