1、微機械陀螺儀的工作原理
MEMS陀螺儀利用科里奧利力(Coriolis force,又稱為科氏力)現(xiàn)象??剖狭κ菍πD(zhuǎn)體系中進行直線運動的質(zhì)點由于慣性相對于旋轉(zhuǎn)體系產(chǎn)生的直線運動的偏移的一種描述。
科 里奧利力來自于物體運動所具有的慣性,在旋轉(zhuǎn)體系中進行直線運動的質(zhì)點,由于慣性的作用,有沿著原有運動方向繼續(xù)運動的趨勢,但是由于體系本身是旋轉(zhuǎn)的, 在經(jīng)歷了一段時間的運動之后,體系中質(zhì)點的位置會有所變化,而它原有的運動趨勢的方向,如果以旋轉(zhuǎn)體系的視角去觀察,就會發(fā)生一定程度的偏離。
2、微機械陀螺儀的性能參數(shù)
MEMS陀螺儀的重要參數(shù)包括:分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測量范圍。這些參數(shù)是評判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標(biāo)志,同時也決定陀螺儀的應(yīng)用環(huán)境。
分 辨率是指陀螺儀能檢測的最小角速度,該參數(shù)與零角速度輸出其實是由陀螺儀的白噪聲決定。這三個參數(shù)主要說明了該陀螺儀的內(nèi)部性能和抗干擾能力。對使用者而 言,靈敏度更具有實際的選擇意義。測量范圍是指陀螺儀能夠測量的最大角速度。不同的應(yīng)用場合對陀螺儀的各種性能指標(biāo)有不同的要求。
3、微機械陀螺儀的結(jié)構(gòu)
MEMS陀螺儀的設(shè)計和工作原理可能各種各樣,但是主要都采用振動部件傳感角速度的概念。絕大多數(shù)的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動和轉(zhuǎn)動引起的交變科里奧利力。圖3所示為振動陀螺的動力學(xué)系統(tǒng)的簡單結(jié)構(gòu)示意圖。
該系統(tǒng)為2-D的振動系統(tǒng),有兩個正交的振動模態(tài)。其中一個振動模態(tài)為質(zhì)量塊在x方向振動,振動頻率為 。另一個振動模態(tài)為質(zhì)量塊在y方向振動,振動頻率為 。 與 的值比較接近。
工作時,驅(qū)動質(zhì)量塊使之在x軸上以接近于 的頻率 (驅(qū)動頻率)振動,如果振動系統(tǒng)以角速度 繞Z軸轉(zhuǎn)動,則會產(chǎn)生一個沿Y軸方向的科里奧利力,從而使得質(zhì)量塊在Y軸方向上產(chǎn)生頻率為的 振動響應(yīng),通過測試Y軸方向的運動就能完成角速度 的檢測。
一般的MEMS陀螺儀由梳齒結(jié)構(gòu)的驅(qū)動部分(圖4)和電容板形狀的傳感部分(圖5)組成,基本結(jié)構(gòu)如圖6所示。對于各種應(yīng)用要求有各種不同的具體結(jié)構(gòu)設(shè)計。