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[導(dǎo)讀] 在半導(dǎo)體工業(yè)中,用戶對(duì)于提高測(cè)試效率和產(chǎn)能的需求達(dá)到了前所未有的水平??焖僮兏募夹g(shù)對(duì)測(cè)試的復(fù)雜性和速度提出了更高需求,其目的是為了增加產(chǎn)品可靠性,縮短產(chǎn)品上市時(shí)間。吉時(shí)利最新的C-V測(cè)試系

在半導(dǎo)體工業(yè)中,用戶對(duì)于提高測(cè)試效率和產(chǎn)能的需求達(dá)到了前所未有的水平。快速變更的技術(shù)對(duì)測(cè)試的復(fù)雜性和速度提出了更高需求,其目的是為了增加產(chǎn)品可靠性,縮短產(chǎn)品上市時(shí)間。吉時(shí)利最新的C-V測(cè)試系統(tǒng)滿足了這一需求,該系統(tǒng)是同類產(chǎn)品中第一個(gè)在緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)中緊密集成了C-V/I-V/脈沖測(cè)試功能的系統(tǒng),無(wú)論用戶是否具有相關(guān)測(cè)量經(jīng)驗(yàn),都能使用該系統(tǒng)進(jìn)行專業(yè)測(cè)量。同時(shí),該系統(tǒng)的性價(jià)比很高,使用該系統(tǒng)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體工廠、實(shí)驗(yàn)室節(jié)省大筆開(kāi)銷。

4200-CVU是吉時(shí)利最新C-V測(cè)量設(shè)備,是為功能強(qiáng)大的4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)專門定制。4200-CVU能以測(cè)量模塊的形式插入4200-SCS的任意可用儀器插槽中,能在10KHz到10MHz的頻率范圍內(nèi)快速、方便地測(cè)量飛法(fF)和納法(nF)級(jí)電容。在4200-CVU的創(chuàng)新設(shè)計(jì)中采用了當(dāng)前最先進(jìn)的高性能電路,有8項(xiàng)專利正在申請(qǐng)中。該設(shè)備具有直觀的點(diǎn)擊式配置界面,線纜連接簡(jiǎn)單,內(nèi)置的元件模型能夠使用戶直接獲得有效的C-V測(cè)量結(jié)果。

4200-CVU附帶了最完整的測(cè)試庫(kù),在與吉時(shí)利 4200-LS-LC-12結(jié)合使用時(shí)能夠
實(shí)現(xiàn)更高測(cè)量效率, 4200-LS-LC-12為帶有電纜和適配器的專用開(kāi)關(guān)矩陣卡,通過(guò)單針探測(cè)就能實(shí)現(xiàn)高度集成的C-V/I-V測(cè)試 。4200-PROBER-KIT是可選模塊,使用該模塊能很容易地將4200-SCS與各種廣泛使用的探頭相連,最終用戶能像I-V測(cè)試一樣輕松配置和執(zhí)行功能全面的C-V測(cè)試。

廣泛的應(yīng)用支持

吉時(shí)利始終在C-V測(cè)量領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位,通過(guò)4200這一半導(dǎo)體測(cè)量?jī)x器就能滿足非常廣泛的測(cè)量應(yīng)用需求,其中涵蓋了種類豐富的探測(cè)器、器件類型、制造工藝以及包括脈沖I-V在內(nèi)的測(cè)量方法學(xué)。4200-CVU及其可選模塊可以解決其他特征分析系統(tǒng)無(wú)法解決的問(wèn)題,例如無(wú)法提供完整的C-V/I-V/脈沖,或者用戶接口和軟件庫(kù)支持不足。此外,該系統(tǒng)靈活而強(qiáng)大的測(cè)試執(zhí)行引擎能夠十分方便地在同一測(cè)試序列中整合C-V、I-V和脈沖測(cè)試。因此,4200-SCS憑借其單一、緊密集成的特征分析解決方案替代多種電路測(cè)試工具。即便如此,吉時(shí)利公司4200-SCS仍支持利用各種第三方測(cè)試設(shè)備進(jìn)行C-V/I-V/脈沖測(cè)試的測(cè)試方法。

強(qiáng)大的軟件

使測(cè)試更易于配置和分析的關(guān)鍵因素之一是軟件用戶圖形界面(Graphical User InteRFace,GUI)。根據(jù)多年客戶交互和反饋的研發(fā)經(jīng)驗(yàn),新型4200-CVU硬件和軟件模塊仍將保持該易于使用的特點(diǎn),它們是4200-SCS交互式測(cè)試環(huán)境和執(zhí)行引擎的自然延伸。吉時(shí)利為4200-CVU的硬件提供了大量程序范例、測(cè)試庫(kù)、以及唾手可得的內(nèi)置參數(shù)提取實(shí)例。八個(gè)軟件庫(kù)為用戶提供最廣泛的C-V測(cè)試和分析功能,涵蓋所有標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,其中包括C-V、C-t、C-f的測(cè)量與分析,以及結(jié)電容、管腳間電容和互連電容的測(cè)量。這些測(cè)試包括各種線性的和自定義的C-V 掃描,包括4096個(gè)及以下數(shù)據(jù)點(diǎn)組成的任意DC波形。

4200-CVU為用戶附帶提供整套C-V測(cè)試范例和參數(shù)提取公式,以便在進(jìn)行半導(dǎo)體技術(shù)研發(fā) 、工藝研發(fā)和可靠性技術(shù)研究時(shí),根據(jù)需要加高效地使用這些測(cè)試工具。

不同于其他特征分析系統(tǒng),吉時(shí)利C-V/I-V分析提取工具為用戶提供一種定義清晰的開(kāi)放式環(huán)境,用戶能很方便地修改和定制自己的測(cè)試?yán)獭M瑫r(shí)提供的項(xiàng)目范例是基于標(biāo)準(zhǔn)教材模型和吉時(shí)利工程師的深厚工程經(jīng)驗(yàn)開(kāi)發(fā)而成,大大縮短程序開(kāi)發(fā)時(shí)間。

通過(guò)簡(jiǎn)短學(xué)習(xí)操作,功能強(qiáng)大的4200-SCS就能夠?yàn)橛脩籼峁┳罴训氖褂皿w驗(yàn)。如何提高器件特征分析和建模的產(chǎn)能和效率,是一直困擾著半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室管理者的問(wèn)題,如果使用4200-SCS,那么這些問(wèn)題將迎刃而解。例如:能大大縮短培訓(xùn)時(shí)間,在多用戶實(shí)驗(yàn)環(huán)境中更加顯著。

高度通用的測(cè)試環(huán)境

除了能夠在一個(gè)功能靈活、高度集成的測(cè)試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)I-V、C-V和脈沖測(cè)試之外,4200-SCS還提供多種備選的功能,主要包括8個(gè)中、高功率的DC源測(cè)量單元(SMU)、雙通道脈沖、波形發(fā)生器和一個(gè)完整的數(shù)字示波器。同4200-CVU一樣,所有這些設(shè)備都可插入到4200-SCS的設(shè)備插槽中,并且通過(guò)功能強(qiáng)大的吉時(shí)利交互式測(cè)試環(huán)境(KTEI,7.0版)進(jìn)行控制。點(diǎn)擊式用戶界面能夠幫助用戶輕松實(shí)現(xiàn)一系列的測(cè)試設(shè)置、測(cè)試序列控制和數(shù)據(jù)分析操作。KTEI還能控制外部設(shè)備,包括大部分常用的探測(cè)器、高溫卡盤(hot chuck)和測(cè)試夾具,以及吉時(shí)利高集成度的、當(dāng)前業(yè)界連接功能最靈活的開(kāi)關(guān)矩陣。

4200-CVU還提供了多種先進(jìn)的診斷工具,幫助用戶確保C-V測(cè)量結(jié)果的正確性。在用戶不能確定測(cè)試結(jié)果是否準(zhǔn)確時(shí),只要點(diǎn)擊屏幕上“Confidence Check”按鈕,或者使用實(shí)時(shí)面板屏蔽部分測(cè)試設(shè)置進(jìn)行驗(yàn)證就可以。
充分利用現(xiàn)有投資

許多儀器廠商生產(chǎn)的系列產(chǎn)品之間不能互相兼容,一個(gè)新產(chǎn)品的問(wèn)世則往往意味著之前產(chǎn)品的終結(jié),無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)用戶的現(xiàn)有投資的充分利用。吉時(shí)利對(duì)4200-SCS用戶提供持續(xù)軟硬件升級(jí)服務(wù),這意味著4200-CVU模塊及其所有相關(guān)軟件和可選硬件都能夠兼容早期的4200-SCS系統(tǒng)。由此,用戶完全無(wú)須因?yàn)樵O(shè)備或材料技術(shù)的更新而頻繁購(gòu)買新的參數(shù)化分析儀。通過(guò)低成本升級(jí),4200-SCS系統(tǒng)能夠滿足技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的測(cè)試需求, 滿足當(dāng)前競(jìng)爭(zhēng)激烈的測(cè)量需求,最大限度地降低對(duì)外部硬件和測(cè)試程序的投資。

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