小電流測量SMU至DUT的連接

連接DUT時，除了使用屏蔽和保護電纜，將吉時利4200-SCS的相應端子與裝置的合適端子相連接也非常重要。SMU的Force HI和Force LO端子連接不合適會導致電流偏移和測量不穩(wěn)定。這些誤差是由于共模電流產(chǎn)生的。
通常情況下，總是將SMU的高阻端子(Force HI)連接至被測電路的最大電阻點。同樣，總是將4200-SCS的低阻端子(Force LO)連接至被測電路的最小電阻點。最小電阻點可以是公共端子或接地。如果Force HI端子被連接至最小電阻點，共模電流就會通過測量電路。
圖14中標出了正確和不正確的測量連接。圖14a中的連接是正確的，因為吉時利4200-SMU的Force HI端子被連接至晶圓上器件的柵極，而Force LO端子被連接至帶有保護的吸盤。晶圓上的柵極端子為最大阻抗點,保護吸盤為低阻抗點，所以該電路的連接正確。請注意，共模電流從SMUde Force LO端子流至保護吸盤；然而，電流并不通過安培計，因此不會影響測量。


圖14.將SMU連接至保護吸盤上的器件
圖14b中的連接是不正確的，它將SMU的Force LO端子連接至高阻柵極，將SMU的Force HI端子連接至保護吸盤。在這種情況下，共模電流將通過SMU以及DUT。這會造成測量不準確，甚至不穩(wěn)定。