近年來，隨著國家的對于集成電路產業(yè)的重視以及資本的支持，國內的集成電路產業(yè)發(fā)展迅速，但是與國外仍有不小的差距，特別是在上游的半導體材料等領域，更是差距巨大。
不過，隨著國內半導體制造的崛起，也推動了半導體材料的國產化進程。
從近幾年大陸半導體材料、設備的需求占比來看，大陸半導體材料市場規(guī)模占全球的比重由 2013 年的約 4%提升到 2018 年的約 16%，大陸半導體設備市場規(guī)模占全球比重由 2016 年的約 16%提升到 2018 年的約 20%。
可預見的未來，國內半導體產能的增加將進一步帶動本地半導體材料需求。
雖然目前各大主要品類的半導體材料領域均有國內企業(yè)涉足，但整體對外依存度仍在 60%以上，特別地，大尺寸半導體硅片、光刻膠、電子特氣等材料更為依賴進口，進口替代空間巨大。
不久前，我們?yōu)榇蠹医榻B了中國在半導體制造所需的關鍵材料—;—;光刻膠領域的現(xiàn)狀。今天再來為大家介紹另一種半導體制造所需的關鍵材料—;—;電子特氣的國產化布局。
一、電子特氣：半導體工業(yè)的關鍵原料
電子特氣是電子工業(yè)的關鍵原料，屬于工業(yè)氣體的重要分支。
工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎原材料，而電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高（如高純氣體）或者具有特殊用途（如參與化學反應），是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產中不可或缺的基礎和支撐性材料之一，相關下游領域的快速發(fā)展將帶動未來特種氣體的增量需求。
半導體特氣應用于晶圓制造的各個環(huán)節(jié)。狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業(yè)用的特種氣體，主要應用于前端晶圓制造中的化學氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié)。
電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性，對于半導體集成電路芯片的質量和性能具有重要意義。
1、行業(yè)兼具技術、客戶認證等壁壘
半導體電子特氣行業(yè)具有較高的技術壁壘。半導體電子特種氣體在生產過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術，每一步均有嚴格的技術參數(shù)要求和質量控制措施。
為了保證半導體器件的質量與成品率，特種氣體產品要同時滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達到 4.5N、5N 甚至 6N、7N（N 是 Nine 的簡寫，幾個 N 就代表有幾個 9，例如 3N 的純度為 99.9%），“超凈”即要求嚴格控制粒子與金屬雜質的含量。作為特種氣體的核心參數(shù)，純度每提升一個 N，粒子、金屬雜質含量濃度每降低一個數(shù)量級，都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。
對于混合氣而言，配比的精度是核心參數(shù)，隨著產品組分的增加、配制精度的上升，客戶常要求氣體供應商能夠對多種 ppm（part per million，百萬分之）乃至 ppb（part perbillion，十億分之）級濃度的氣體組分進行精細操作，其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。此外，氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環(huán)節(jié)亦對生產企業(yè)提出了較高的技術要求。
下游客戶認證亦是攻堅難點。作為關鍵性材料，特種氣體的產品質量對下游產業(yè)的正常生產影響巨大。如果晶圓加工環(huán)節(jié)所使用的氣體發(fā)生質量問題，將導致整條生產線產品報廢，造成巨額損失。因此極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的下游產業(yè)客戶對氣體供應商的選擇極為嚴格、審慎，需要經過審廠、產品認證 2 輪嚴格的審核認證，集成電路領域的審核認證周期長達 2-3 年。
另一方面，為了保持氣體供應穩(wěn)定，客戶在與氣體供應商建立合作關系后不會輕易更換氣體供應商，且雙方會建立反饋機制以滿足客戶的個性化需求，客戶粘性不斷強化。因此，對新進入者而言，長認證周期與強客戶粘性形成了較高的客戶壁壘。
行業(yè)還具有營銷網絡、服務壁壘。營銷網絡主要體現(xiàn)在氣體公司需要投入大量人力物力進行鋪點建設，不斷擴大營銷服務網絡，以滿足下游客戶對氣體種類、響應速度、服務質量的高要求。氣體下游客戶需要的服務則包括包裝容器處理、檢測、維修及供氣系統(tǒng)的設計、安裝乃至氣體供應商的配送服務等。
二、市場潛力大，電子特氣需求迅速增長
1、半導體行業(yè)支撐電子特氣需求
電子特氣在半導體制造材料中占比僅次于硅片。半導體材料包括晶圓制造材料和封裝材料。其中晶圓制造材料包括硅片、光掩模、光刻膠、光刻膠輔助材料、工藝化學品、電子特氣、靶材、CMP 拋光材料及其他材料。2018 年全球半導體晶圓材料市場規(guī)模為322.0 億美元，同比增長 15.8%，全球半導體封裝測試材料市場規(guī)模為 197.0 億美元，同比增長 3.1%。
根據 SEMI 的數(shù)據，2018 年電子氣體在晶圓制造材料市場中占比達到12.9%，僅次于占比 36.6%的硅片，市場規(guī)模巨大。
全球半導體市場規(guī)模龐大，晶圓廠數(shù)目不斷增加，電子特氣需求量不斷提升。全球范圍來看，隨著全球半導體市場規(guī)模在 2018 年的高增長，全球集成電路用電子氣體的市場規(guī)模達到 45.1 億美元（約合人民幣318.7億元），市場規(guī)模較上年同比增加了 15.9%，但從整體來看，2013-2018年的平均增速稍低，僅為 6.3%。
國內范圍來看，2018 年，我國電子氣體市場規(guī)模達到了 121.6 億元，較上年同比增加了 11.2%（2013-2018 年的增速達 13.3%）。在全球營收中的占比已達38.15%。
根據 IC Insights 的統(tǒng)計，2018 年全球共有 112 家 12 英寸晶圓廠，至 2023 年這一數(shù)字有望增至 138 家。
根據 SEMI 數(shù)據，2019 年硅晶圓的出貨面積為 118.1 億平方英寸，營收達112億美元，均為較高水平。2013-2018年半導體市場規(guī)模的平均增長率達8.9%，2020 年半導體下游需求可能會受疫情影響，但從中長期看，隨著 5G 技術、新能源汽車、云服務器等市場的增長，有望帶動行業(yè)進入新的增長期。作為半導體制造環(huán)節(jié)中占比第二高的材料，電子特氣的需求也有望不斷提升。
2、復雜芯片制造刺激電子特氣需求
邏輯芯片和存儲芯片為集成電路主要增長動力。根據 WSTS 的數(shù)據，集成電路是半導體產業(yè)中最主要的市場，規(guī)模占比維持在 80%以上。
集成電路可分為邏輯芯片、存儲芯片、微處理芯片和模擬芯片。2019 年邏輯芯片和存儲芯片銷售額分別為 1046.2 億美元和 1059.1 億美元，占集成電路比例分別為 31.7%和 32.1%，為集成電路的主要增長動力。由于價格大幅波動等原因，2019 年邏輯芯片和存儲芯片的銷售額出現(xiàn)較大幅度下滑，但 WSTS 預測 2020 年有望繼續(xù)恢復增長。
隨著集成電路制造要求復雜度的提升，制造中所使用的電子特氣用量也將提升。根據德國普爾茨海姆應用技術大學工業(yè)生態(tài)研究所（INEC）的 Mario Schmidt 教授等人共同撰寫的論文《用于微電子芯片和太陽能電池硅片加工的生命周期評估》，硅晶圓的加工離不開大量化學試劑以及特殊氣體，這些氣體可以用于包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等工序。
經測算，每平方米邏輯電路晶圓加工所需要的電子特氣約為 37.3kg，每平方米存儲電路晶圓加工需要約 12.0kg 的電子特氣。邏輯芯片和存儲芯片本身在集成電路中的占比就超 6 成，隨著未來 5G 和汽車電子化的趨勢以及集成電路技術與制造工藝的提升，電子特氣的用量也會得到大幅度的提升。
三、進口替代大勢所趨，供給格局向國內集中
1、進口替代勢在必行，本土企業(yè)優(yōu)勢顯現(xiàn)
①國外龍頭壟斷市場，進口替代空間廣闊
國外龍頭壟斷國內市場，進口替代空間廣闊。根據中國產業(yè)信息網的資料顯示，空氣化工、普萊克斯、林德集團、法液空、大陽日酸等海外企業(yè)合計占據國內電子特氣約 88%的市場份額，市場高度集中（國內氣體公司份額僅有12%）。這些企業(yè)多為全球工業(yè)氣體龍頭，具有長期的技術積淀和客戶積累，實力強勁，電子特氣僅為其業(yè)務的一部分。目前國內尚缺體量與上述龍頭相匹敵的電子特氣公司，但通過分析國內發(fā)展環(huán)境的變化，特種氣體產品特征，以及國外龍頭企業(yè)特質等方面，我們認為國內電子特氣企業(yè)逐步實現(xiàn)進口替代是大勢所趨。
②與其他半導體材料相比，電子特氣國產替代已先行一步
橫向對比下，電子特氣進口替代進度更快，國內企業(yè)正逐步突破。半導體材料各品類均有較高的技術及客戶壁壘，通過對比各半導體材料國內頭部公司的工藝水平，不難發(fā)現(xiàn)，部分電子特氣已能達到 14nm 或 7nm 制程節(jié)點，進口替代進程相對更快。
另外，由于特種氣體種類多樣，各類氣體之間制備難度參差不齊，國內企業(yè)可以借助六氟化硫、四氟化碳等制備難度相對較小的刻蝕氣、清洗氣產品打入晶圓廠供應鏈，后續(xù)逐步配套摻雜氣、CVD 前驅體等高端產品，或直接收購海外高端產品公司，豐富產品線的同時增加客戶儲備。雖然我國電子氣體已經擺脫了完全依賴于進口的局面，但是面對國外龍頭公司壟斷較高壁壘的市場，國內電子特氣企業(yè)依然面臨著較大的競爭壓力。
③高運維成本造就本地化配套優(yōu)勢
較高的運輸和現(xiàn)場維護成本造就本地化配套優(yōu)勢。多品少量是電子特氣的特點，因此相比現(xiàn)場制氣的空分氣體，采用零售方式進行氣體銷售更為普遍，但零售氣體對于國外企業(yè)來講，需要付出更高的運輸和維護成本。
運輸成本方面，以林德集團為例，作為全球工業(yè)氣體龍頭，林德在國內的空分裝置點有11 個，相比較之下，特種氣體工廠僅 2 個。考慮到林德集團在國內的特種氣體工廠較少，因此大量的特種氣體需從海外運輸，而從歐洲、美國運至國內耗時約 30 天，運輸費用預計不低于國內的長途運輸，運輸成本將更高。隨著國內半導體晶圓廠從華東、華北向全國范圍擴散，未來本地特氣企業(yè)將具有顯著的運輸成本優(yōu)勢。
維護成本方面，我們以具有近 50 年運營經驗的慧瞻材料的業(yè)務模式為例進行分析。2018年慧瞻材料的營收中，材料占比約 65%，剩下 35%為設備安裝及現(xiàn)場維護。但從人員配置上看，材料業(yè)務在全球有 12 個工廠，分布在美國、韓國和中國臺灣（美國 7 家，韓國 4 家，中國臺灣 1 家），相應工作人員在 830 名左右；而設備安裝及現(xiàn)場維護業(yè)務的人員配置達 900 人，其中現(xiàn)場服務環(huán)節(jié)人員 400 人，營業(yè)利潤率低于材料業(yè)務。顯然，中國大陸企業(yè)相應的運輸服務及現(xiàn)場維護將更為快速，且成本更低。
2、業(yè)務模式與國內企業(yè)競爭格局
①海外成熟企業(yè)的業(yè)務模式
林德模式：從空分氣體設備供應商向氣體綜合解決方案提供商蛻變。從林德集團的半導體工廠配氣裝置可以發(fā)現(xiàn)，氣體服務是一項系統(tǒng)工程，包括超純大宗氣體、現(xiàn)場氣體發(fā)生器、氣瓶和批量供應的電子特種氣體，另外還涉及到大宗氣體儲存和分配系統(tǒng)、氣柜和配氣管等系統(tǒng)和專業(yè)服務等。
回顧林德等工業(yè)氣體龍頭可以發(fā)現(xiàn)，其早期以空分氣體及設備為立足點，逐步打入電子用氣、醫(yī)療用氣等領域，其優(yōu)勢在于利用大型空分裝置切入下游客戶，借助平臺優(yōu)勢順勢發(fā)展成為氣體綜合解決方案提供商。
對應地，林德的氣體業(yè)務營收占比已由 2015 年的 75.0%提升至 2018 年的 85.4%。
慧瞻模式：專注電子特氣，內生+收購，從單一品類向多品類拓展。慧瞻材料成立于 2015年，前身為空氣化工產品公司的電子材料部，后單獨上市，空氣化工產品公司的股東即為慧瞻材料的原始股東。公司于 20 世紀 70 年代進軍電子行業(yè)，立足于三氟化氮等產品，逐步向整套電子化學品拓展?；壅安牧系暮诵母偁幜υ谟诋a品多樣性、服務即時性以及客戶的優(yōu)質性。
公司產品包括有機硅烷、金屬有機化合物等薄膜沉積前驅體，CMP 漿料（拋光液），拋光清洗液，刻蝕，清洗氣體，高純離子摻雜氣體等。服務方面，公司在美國和韓國各設立一家設備安裝及現(xiàn)場維護公司，為客戶提供即時的氣體安裝及現(xiàn)場維護服務?？蛻舴矫?，聚焦下游龍頭企業(yè)，其中 Intel、三星、臺積電為公司 2017 財年前三大客戶。公司于 2019 年底退市，退市前估值約 58 億美金，對應 PE 約 29 倍。
②國內企業(yè)各具優(yōu)勢，競爭錯位
國內空分企業(yè)與特氣企業(yè)分明，業(yè)務上構筑各自壁壘。國內氣體公司包括以杭氧、盈德、寶鋼氣體為代表的空分企業(yè)，主要是以管道氣為主的現(xiàn)場制氣項目，可能更適合林德模式切入特種氣體，作為氣體綜合服務商的角色，進行空分和特氣資源的整合。作為空分巨頭，內生進行特氣技術和產品的開發(fā)，難度相對較大且所需時間周期較長，未來更多或以業(yè)務合作或收購的模式開展相關業(yè)務，相關企業(yè)的優(yōu)勢在于資金實力和體量優(yōu)勢。特氣企業(yè)的優(yōu)勢在于對細化特氣產品的技術積淀，以及對相應產品在下游客戶的認證壁壘，目前來看，國內空分企業(yè)和特氣企業(yè)不存在直接的競爭。
特氣企業(yè)錯位競爭，各具優(yōu)勢。特種氣體品類較多，國內各企業(yè)具有各自的核心產品品類，比如南大光電的 MO 源，雅克科技的氟碳類氣體、三氟化氮，華特氣體的六氟乙烷、光刻氣，718 所的三氟化氮、六氟化鎢，金宏氣體的超純氨等等。此外，下游的客戶也各有側重，比如金宏氣體更多面向 LED 企業(yè)，華特氣體主要面向半導體晶圓廠，綠菱電子主要對接國際氣體巨頭等等。我們認為未來國內特氣公司的成長路徑在于內生+外 延+產業(yè)資源整合拓展品類，同時開拓應用領域和客戶群，打造成為國內領先的特種氣體一體化供應平臺。
四、產業(yè)鏈重點公司
產業(yè)鏈相關公司眾多，主要的上市公司有華特氣體、雅克科技、昊華科技、南大光電、巨化股份、凱美特氣等。此外，金宏氣體擬科創(chuàng)板上市。
1、華特氣體：特種氣體國產化先行者
華特氣體前身為南海市華特氣體有限公司，公司成立之初，主要從事普通工業(yè)氣體的充裝、零售，2005 年正式確立特種氣體為主要研發(fā)及發(fā)展方向。目前公司業(yè)務主要分為特種氣體、普通工業(yè)氣體、氣體設備與工程三大部分。
公司下游客戶包括中芯國際、長江存儲、臺積電等知名晶圓廠商。公司發(fā)布 2019 業(yè)績快報，2019 年實現(xiàn)營業(yè)收入 8.4億元，同比增長 3.1%；實現(xiàn)歸母凈利潤 0.8 億元，同比增長 14.4%。2019 年上半年，公司特種氣體業(yè)務實現(xiàn)營收 2.1 億元，占比 53.4%；實現(xiàn)毛利 0.8 億元，占比 60.1%，毛利率達到 40.7%。
公司特種氣體產能擴張項目穩(wěn)步進行。根據公司的招股說明書，公司擬投資 3.5 億元用于氣體中心建設及倉儲經營項目，2.2 億元用于電子氣體生產純化及工業(yè)氣體充裝項目總投資。其中，氣體中心建設及倉儲經營項目主要為電子特氣產品，電子氣體生產純化及工業(yè)氣體充裝項目也涉及對氟碳類氣體如四氟化硅、六氟乙烷等電子氣體。
氣體中心建設及倉儲經營項目全部達產后，公司將新增產品年產能包括：高純鍺烷 10 噸、硒化氫 40 噸、磷烷 10 噸、年充裝混配氣體 500 噸、倉儲經營銷售砷烷 10 噸、乙硼烷 3 噸、氯氣 300 噸、三氟化硼 10 噸。電子氣體生產純化及工業(yè)氣體充裝項目分兩期完成，第一期投資建設規(guī)模為年生產 50 噸硫化氫、年純化 10 噸鍺化氫、100 噸四氟化硅、100噸六氟乙烷、100 噸八氟乙烷、100 噸一氟甲烷。
2、雅克科技：國內含氟氣體龍頭
公司積極轉型電子材料業(yè)務，電子特氣為方向之一。雅克科技的傳統(tǒng)業(yè)務為阻燃劑業(yè)務，2016-2018年，公司先后并購華飛電子、江蘇先科和成都科美特進軍電子材料業(yè)務，當前電子材料業(yè)務主要分為IC前驅體、電子特氣和封裝用球形硅微粉三大部分。公司下游客戶包括SK海力士、三星電子、臺積電、中芯國際、長江存儲等世界知名半導體廠商。公司發(fā)布2019年業(yè)績快報，2019年實現(xiàn)營業(yè)收入18.4億元，同比增長18.6%，實現(xiàn)歸屬凈利潤2.5億元，同比增長90.6%，業(yè)績表現(xiàn)有較大增幅。2019上半年，公司電子特氣業(yè)務實現(xiàn)營業(yè)收入1.8億元，占比20.3%，實現(xiàn)毛利0.8億元，占比28.3%，毛利率達到46.9%。
2018 年公司完成了對成都科美特的股權收購，進入半導體刻蝕氣體領域。成都科美特公司是國內領先的六氟化硫和四氟化碳生產商，在行業(yè)內具有較強的競爭優(yōu)勢。公司通過控制成都科美特進入半導體刻蝕氣體領域，豐富了公司的產品鏈。目前，科美特現(xiàn)已具備年產六氟化硫 8500 噸和年產 1200 噸電子級四氟化碳的生產能力，年產 3500 噸半導體用電子級三氟化氮項目正在建設中。此外，公司計劃通過新項目技術更新和項目建設，將六氟化硫的設計年產能增加至 13000 噸，四氟化碳的計劃年產能增加至 2700 噸。
3、昊華科技：國內高端氟材料及電子特氣領軍者
公司前身為天科股份，主營變壓吸附氣體分離技術及成套裝置、催化劑產品、碳一化學及工程設計。2018 年底中國昊華將旗下黎明院和光明院等 11 家化工研究院注入上市公司體內，并更名為昊華科技。2018 全年及 2019 年三季度，公司分別實現(xiàn)營收 41.8、33.3 億元，同比分別增長 14.7%、13.0%；分別實現(xiàn)歸母凈利 5.3、3.3 億元，同比分別增長 61.1%和降低 1.9%。2018 年，公司電子特氣業(yè)務實現(xiàn)營業(yè)收入 3.0 億元，占比7.2%，實現(xiàn)毛利 1.0 億元，占比 7.9%，毛利率達到 33.9%。
公司旗下黎明院、光明院主營電子特氣。黎明院和光明院均為優(yōu)質化工科技型企業(yè)，科研力量雄厚。在含氟電子特氣領域，公司下屬黎明院主要產品六氟化硫、三氟化氮國內領先，在建六氟化鎢產能。黎明院是國內最早從事六氟化硫研發(fā)的企業(yè)，亦為國內僅有的高純度六氟化硫研制企業(yè)。公司下屬光明院的特種氣體產品在國防化工新材料、半導體集成電路、氣體分析等領域具有行業(yè)領先優(yōu)勢。光明院在建高純電子氣體項目，將開發(fā) 8 英寸以上集成電路制造用乙硼烷、三氟化硼、電子混合氣等電子氣體產品。
含氟特氣項目即將帶來增量。公司公告旗下全資子公司黎明院擬投資 9.1 億元建設 4600噸含氟特氣項目，包括 3000 噸三氟化氮、1000 噸四氟化碳和 600 噸六氟化鎢，建設期預計為項目批復后 18 個月。根據項目可行性報告，預計項目總投資收益率為 14.5%；財務內部收益率 17.1%，項目投資回收期為 6.7 年（含建設期 1.5 年）。三氟化氮可用作液晶顯示器的清洗劑及半導體的清洗和蝕刻，六氟化碳的主要作用于面板及半導體領域的清洗劑和蝕刻劑量，六氟化鎢主要用于金屬鎢化學氣相沉積 CVD 的原材料。隨著新增項目的建成與投產，含氟特氣將成為公司帶來業(yè)績新增量。
4、南大光電：MO 源龍頭進軍電子特氣市場
先進 MO 源生產企業(yè)，積極布局電子化學市場。公司是一家專業(yè)從事先進電子材料—;—;高純金屬有機化合物(MO 源)的研發(fā)、生產和銷售的高新技術企業(yè)，對關鍵技術擁有完全自主知識產權，亦是全球 MO 源領導供應商之一。公司在 MO 源的合成制備、純化技術、分析檢測、封裝容器等方面已全面達到國際先進水平，可以實現(xiàn) MO 源產品的全系列配套供應。公司正積極拓展新的領域，已經開發(fā)出多款應用于 IC 行業(yè)的先進電子化學品并通過了客戶驗證。公司發(fā)布 2019 年業(yè)績快報，2019 年實現(xiàn)營業(yè)收入 3.2 億元，同比增長 38.6%，實現(xiàn)歸屬凈利潤 0.5 億元，同比增長 4.0%，業(yè)績小幅提升。2019 上半年，公司電子特氣業(yè)務實現(xiàn)營業(yè)收入 0.5 億元，占比 33.4%，實現(xiàn)毛利 0.3 億元，占比 44.3%，毛利率達到 60.8%。
公司設立全椒子公司，進軍特種氣體領域。2017 年公司控股子公司全椒南大光電完成了高純磷烷、砷烷產品的研發(fā)和產線建設，依托母公司成熟的銷售渠道和優(yōu)良的技術支持，順利將高純磷烷、砷烷產品在 LED 行業(yè)進行市場推廣，并納入到客戶的大規(guī)模生產中，取得了較好的銷售收入。
收購飛源氣體股權，布局氟系電氣市場。2019 年 11 月，公司采用現(xiàn)金收購及增資方式取得山東飛源氣體有限公司 58.0%股權。飛源氣體具備生產 1000 噸 NF3 的年產能和2000 噸 SF6 的年產能。飛源氣體的團隊擁有 20 年氟化工工程經驗，擁有較強持續(xù)研發(fā)能力，已經完成多種關鍵含氟電子材料的產業(yè)化準備。此次戰(zhàn)略合作，將有利于南大光電做大做強含氟電子特氣業(yè)務。
5、巨化股份：氟化工一體化龍頭，布局電子特氣業(yè)務
氟化工龍頭，聯(lián)手大基金布局電子特氣業(yè)務。公司擁有國內領先的氟化工、氯堿化工綜合配套的氟化工制造業(yè)基地。2018 年 4 月，為避免同業(yè)競爭，公司將博瑞電子及其子公司博瑞中硝、凱圣氟化學及其子公司凱恒電子 100%股權轉至中巨芯科技有限公司。中巨芯是由公司、國家大基金和其他公司共同出資成立的聯(lián)營企業(yè)。公司與國家大基金分別出資 3.9 億，對中巨芯的持股比例均為 39%。
博瑞電子及其子公司博瑞中硝專注電子特氣業(yè)務。博瑞電子的業(yè)務涵蓋電子氣體板塊，產品主要包括電子級氯氣、氯化氫，電子級氟化氫等含氟系列氣體，主要用于集成電路、平板顯示等制造過程中的干式和濕式清洗、蝕刻、成膜及摻雜等工藝。
6、凱美特氣：國內食品級液體 CO2龍頭
公司積極開拓工業(yè)氣體市場。公司由深圳化塑、中石化巴陵石化以及香港信德共同出資成立，是國內以化工尾氣為原料，年產能最大的食品級液體二氧化碳生產企業(yè)。除 CO2業(yè)務之外，公司近年積極布局其他工業(yè)氣體，產品還包括氬氣、氫氣、精餾可燃氣等。近年來工業(yè)氣體業(yè)務快速發(fā)展，2019 年半年度營收累計占比超過 50%。公司發(fā)布 2019年業(yè)績快報，2019 年實現(xiàn)營業(yè)收入 5.1 億元，同比增長 2.0%，實現(xiàn)歸屬凈利潤 0.9 億元，同比下降 4.1%。
長嶺凱美特成功開車，氫氣供氣量增加。公司于 2019 年 8 月 20 日發(fā)布子公司長嶺凱美特技改完成并重啟的公告，在歷時 270 天的技術改造后，長嶺凱美特變壓吸附裝置改造后引入中石化長嶺分公司制氫裝置乙苯尾氣，順利產出合格的氫氣送入中石化長嶺分公司裝置氫氣管網。本次裝置重啟后，原材料氫氣將穩(wěn)定供應，開工率有望實現(xiàn)大幅提升。
公司電子氣體項目穩(wěn)步進行。2017 年 9 月公司發(fā)布公告，通過引進國外技術，總投資3.1 億元，新建 25 套電子特種氣體項目生產裝置，采用低溫吸附、深冷精餾分離、電解、催化合成技術，即將擁有生產高純度電子氣體的工藝。電子特氣項目先期啟動一期項目建設，建設規(guī)模為新建 12 套電子特種氣體生產及輔助裝置。一期工程產品方案為：5N氪、5N 氙、5N 一氧化碳、5N 氖、6N 氦、6N 氫、6N 二氧化碳、6N 氮氣、6N 氬氣和氟基激光混配氣、動態(tài)混配氣、氯化氫基激光混配氣三種混配氣體。電子特氣項目在未來的建成投產，將為公司增加新的利潤增長點。
7、金宏氣體：深耕長三角地區(qū)，氣體行業(yè)領跑者
金宏氣體是長三角地區(qū)的氣體廠商，公司目前已初步建立品類完備、布局合理、配送可靠的氣體供應和服務網絡，能夠為客戶提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類100多個氣體品種。公司的特種氣體品種包括：超純氨、氫氣、氧化亞氮、氦氣、混合氣、醫(yī)用氣體、氟碳氣體等。公司下游客戶包括集成電路行業(yè)的晶方半導體、上海新傲、廈門聯(lián)芯；液晶面板行業(yè)的京東方、天馬微電子、TCL華晶、中電熊貓；LED行業(yè)的三安光電、聚燦光電、乾照光電；光纖通信行業(yè)的亨通光電、富通集團；光伏行業(yè)的通威太陽能、天合光能、隆基股份等。公司2019年實現(xiàn)營業(yè)收入11.6億元，同比增長8.5%，實現(xiàn)歸屬凈利潤1.8億元，同比增長27.4%。2019年，公司特種氣體業(yè)務實現(xiàn)營業(yè)收入4.6億元，占比39.6%，實現(xiàn)毛利2.5億元，占比44.7%，毛利率達到54.8%。
募資開拓氣體市場，加大半導體用特種氣體項目建設。公司擬投資 2.1 億元建設“張家港金宏氣體有限公司超大規(guī)模集成電路用高純氣體項目”，項目建成后將形成年提純2,400 萬標立方米高純氫氣、年生產 1,000 噸 5N 高純二氧化碳、25 噸 5N 高純甲烷、100 噸 5N 高純六氟乙烷、60 噸 5N 高純三氟甲烷和 100 噸 5N 高純八氟環(huán)丁烷的生產規(guī)模。項目建設期 18 個月，項目財務內部收益率所得稅后 25.5%。公司擬投資約 0.3億元建設“蘇州金宏氣體股份有限公司研發(fā)中心項目”，研發(fā)方向為電子半導體領域不可或缺的高端材料（特種氣體及其混合氣體等電子化學品）。
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