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[導(dǎo)讀]作為半導(dǎo)體行業(yè)最重要的生產(chǎn)設(shè)備,光刻機實在太重要了,整個芯片生產(chǎn)1/3的時間及成本都耗費在光刻上,EUV光刻機更是只有荷蘭ASML一家公司能產(chǎn),單臺售價超過10億元,這個生意一般人做不了。 半導(dǎo)體工藝

作為半導(dǎo)體行業(yè)最重要的生產(chǎn)設(shè)備,光刻機實在太重要了,整個芯片生產(chǎn)1/3的時間及成本都耗費在光刻上,EUV光刻機更是只有荷蘭ASML一家公司能產(chǎn),單臺售價超過10億元,這個生意一般人做不了。

半導(dǎo)體工藝在7nm及以上的時候,不用EUV光刻機也能制造,就是成本有點高。目前對EUV光刻機有需求的廠商就三個—;—;Intel、臺積電、三星,其中后兩家的EUV工藝已經(jīng)量產(chǎn),Intel的要到2021年7nm工藝上才會用到EUV光刻機。

那這三家公司對EUV光刻機有多少需求?根據(jù)ASML提供的計算方式,每月4.5萬片晶圓、一層EUV光刻的話就需要一臺光刻機。

再根據(jù)Intel、三星、臺積電三大廠商潛在的產(chǎn)能需求來算,他們需要的EUV光刻機大概是300到600臺,按照6年折舊期的話,每年需求量在50-100臺EUV光刻機之間。

全球最先進(jìn)的工藝竟然只需要50-100臺光刻機就能搞定?聽上去有些少,但確實如此,EUV光刻機非常重要,但它并不是一個很大的市場,ASML的主力營收依然是非EUV光刻機。

今年他們的數(shù)據(jù),2019年出貨了26臺EUV光刻機,2020年之前預(yù)計出貨35臺,現(xiàn)在因為經(jīng)濟放緩,35臺EUV光刻機難說能保證了。

即便是到了2021年全球EUV產(chǎn)能大爆發(fā)的時候,他們的EUV光刻機交付量也就是45-50臺,比測算出來的數(shù)據(jù)要低很多。

ASML的EUV光刻機單臺售價約為1.2億歐元,差不多是10億人民幣,但全球每年的EUV光刻機市場也就500億人民幣左右,并不是一個大市場。

但從技術(shù)上來說,EUV光刻機的研發(fā)花費的資金遠(yuǎn)不止500億了,從原型到現(xiàn)在差不多有20年了,直到現(xiàn)在EUV光刻機還沒有達(dá)到完全體,在生產(chǎn)能力上還沒有達(dá)到傳統(tǒng)DUV光刻機的水平。

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