重大突破！中國電子研制出我國首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)

5月18日消息 近日，中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院和河南通用智能裝備有限公司，歷時(shí)一年，聯(lián)合攻關(guān)，研制成功我國首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)，填補(bǔ)國內(nèi)空白。該設(shè)備在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先水平，標(biāo)志著我國半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實(shí)質(zhì)性重大突破，對(duì)進(jìn)一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。

晶圓切割是半導(dǎo)體封測工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序，據(jù)悉，與傳統(tǒng)的切割方式相比，激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高、加工效率高等特點(diǎn)，可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。

了解到，半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)加工平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持高穩(wěn)定性、高精度，運(yùn)動(dòng)速度可達(dá) 500mm/s，效率遠(yuǎn)高于國外設(shè)備。

在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平，采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器，最終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。

在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機(jī)，配以不同功效的鏡頭，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識(shí)別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。同時(shí)還搭載了同軸影像系統(tǒng)，可以確保切割中效果的實(shí)時(shí)確認(rèn)和優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)最佳切割效果。