Advanced Energy 在SEMICON WEST 2020 展覽期內(nèi)推出三款全新的工藝設(shè)備電源產(chǎn)品

北京，中國 - Media OutReach -二零二零年八月三日 - Advanced Energy 一直致力于開發(fā)各種先進(jìn)的高精確度電源轉(zhuǎn)換、測(cè)量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術(shù)更一直領(lǐng)先全球。該公司宣布推出三個(gè)可支持先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體晶圓工藝設(shè)備的全新解決方案。

Advanced Energy 半導(dǎo)體產(chǎn)品副總裁兼總經(jīng)理 Peter Gillespie 表示：「隨著第4次工業(yè)革命揭開帷幕，半導(dǎo)體制造技術(shù)不斷發(fā)展，并且迅速掀起翻天覆地的轉(zhuǎn)變。在開發(fā)相關(guān)的電源解決方案時(shí)，Advanced Energy 一直走在發(fā)展的前沿，我們的電源系統(tǒng)可確保半導(dǎo)體產(chǎn)品外形更為小巧，也讓生產(chǎn)商可以更快速、更嚴(yán)格控制工藝，而且又可降低擁有成本，因此廠商客戶都很倚重我們這方面的技術(shù)生產(chǎn)各種芯片，新芯片的量產(chǎn)又帶動(dòng)整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。工藝設(shè)備電源系統(tǒng)以前幾乎完全被人忽視，現(xiàn)在則越來越多人肯定其重要性，認(rèn)為工藝設(shè)備電源技術(shù)在整個(gè)晶圓生產(chǎn)過程中發(fā)揮極具關(guān)鍵的作用。我們很樂意分享我們這方面的產(chǎn)品，例如"可支持整個(gè)工藝的電源產(chǎn)品"。我們也會(huì)在展覽期內(nèi)率先推出"可支持整個(gè)平臺(tái)的電源產(chǎn)品"，其中包括Advanced Energy 雅特生科技產(chǎn)品部的一系列電源產(chǎn)品?！?

Advanced Energy 推出以下幾個(gè)極具價(jià)值的全新系統(tǒng)解決方案，新的電源技術(shù)顯示電源系統(tǒng)如何以全新的方法為電漿工藝設(shè)備提供供電：

eVoS? LE: Advanced Energy 推出一項(xiàng)嶄新的非正弦波電漿工藝設(shè)備電源技術(shù)。這個(gè)稱為eVoS的平臺(tái)可以控制投射在物料表面極少范圍內(nèi)的離子能量。這是先進(jìn)蝕刻和沉積工藝所越來越倚重的技術(shù)，可用于生產(chǎn)精密的5納米(nm)及以下的晶圓。一向以來，正弦波射頻偏壓電漿工藝采用一種較為復(fù)雜的多頻率電源系統(tǒng)，而eVoS平臺(tái)則是一個(gè)產(chǎn)生離子能量分布較窄的客制化方案，為市場(chǎng)提供另一個(gè)較為簡單的選擇。Advanced Energy 這個(gè)解決方案可確保離子能量分布范圍更加直接受到控制，也有助于提高偏壓電源的能效，而且可降低電源損耗，較傳統(tǒng)的解決方案更優(yōu)勝。晶圓的封裝大小設(shè)計(jì)日趨復(fù)雜，要解決生產(chǎn)上的問題就必須充分利用這項(xiàng)新技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)。eVoS LE (即低能量) 則可提供容易準(zhǔn)確控制供電量的電源系統(tǒng)，最適用于極重要的電漿工藝方面的應(yīng)用，例如，原子層蝕刻(ALE)、蝕刻、清潔、沉積和原子層沉積(ALD)。

Navigator® II FCi: Advanced Energy 的 Navigator II 一直是領(lǐng)先業(yè)界的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)平臺(tái)，大受市場(chǎng)歡迎。該公司現(xiàn)在乘勢(shì)推出一款全新的 Navigator II FCi。這款更快的固態(tài)匹配網(wǎng)絡(luò)平臺(tái)無論在價(jià)值、速度以及調(diào)諧范圍都勝于標(biāo)準(zhǔn)的匹配器產(chǎn)品。Navigator II FCi 采用高速的PIN型二極管技術(shù)，與Advanced Energy 早前率先在市場(chǎng)推出的 Navigator II FastCap? 固態(tài)匹配器各有優(yōu)點(diǎn)，兩者可產(chǎn)生相輔相成的作用，讓功率輸出和阻抗范圍可以擴(kuò)大，響應(yīng)時(shí)間也可縮短至亞毫秒(ms)水平。Navigator II FCi 沒有轉(zhuǎn)動(dòng)的零部件，因此其可靠性和可復(fù)制性優(yōu)于傳統(tǒng)的真空電容匹配器。Navigator II FCi 可支持與原子層蝕刻有關(guān)的先進(jìn)應(yīng)用，并加強(qiáng)其功能，讓這類應(yīng)用可支持各式各樣日漸增多的應(yīng)用，以滿足新產(chǎn)品市場(chǎng)的規(guī)格要求。例如，稱為 Paramount HFi 的全新射頻電源系統(tǒng)除了集成匹配器和發(fā)生器之外，也同樣采用 Navigator II FCi 這種高速PIN型二極管技術(shù)。

Paramount® HFi: 這款高度集成的射頻電源系統(tǒng)采用小巧的封裝，但性能卓越，成本低廉，可滿足先進(jìn)沉積工具的嚴(yán)格要求。2000年，Advanced Energy 成功開發(fā)業(yè)界首款可量產(chǎn)而又全面集成了發(fā)生器和匹配器電源系統(tǒng)。這款稱為Apex的射頻電源系統(tǒng)至今仍是沉積射頻應(yīng)用方面的理想電源，其優(yōu)點(diǎn)是可在四個(gè)不同調(diào)諧范圍之間切換。全新的 Paramount HFi 沿著這個(gè)路向再跨進(jìn)一大步，提供32個(gè)不同調(diào)諧范圍，另外還配備一個(gè)改良的全數(shù)字控制系統(tǒng)以及一個(gè)全新VI (射頻計(jì)量學(xué)) 傳感器。由于 Paramount HFi 配備這些新功能，加上另外還有擴(kuò)大了的操作窗口，因此除了可以支持先進(jìn)的工藝控制之外，還有高度可重復(fù)性的優(yōu)點(diǎn)，甚至配備一個(gè)共激機(jī)模式，以確保采用集群配置的不同系統(tǒng)可以同步操作，以及支持先進(jìn)的通信協(xié)議(EtherCAT)。Paramount HFi 具有體積小巧、以毫秒(ms)計(jì)的響應(yīng)時(shí)間以及高度穩(wěn)定可靠等優(yōu)點(diǎn)，因此是目前快速沉積工藝的理想解決方案。對(duì)于處理先進(jìn)的NAND型閃存和其他高度重復(fù)的堆迭元器件來說，速度和可靠性越來越受重視，甚至被視為決定生產(chǎn)成敗的關(guān)鍵因素。對(duì)于這類應(yīng)用來說，Paramount HFi 也是理想的解決方案。