山西太原的醫(yī)用氣體傳感器為MEMS氣體傳感器。該MEMS氣體傳感器傳感器的生產(chǎn)廠家為騰星行業(yè)龍頭廠商。MEMS氣體傳感器與其它的傳感器相比具有一定的優(yōu)勢。
MEMS氣體傳感器的優(yōu)勢在于： (1)微型化：MEMS器件體積小，一般單個MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位，重量輕、耗能低。同時微型化以后的機(jī)械部件具有慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短等優(yōu)點(diǎn)。MEMS更高的表面體積比(表面積比體積)可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取? (2)硅基加工工藝，可兼容傳統(tǒng)IC生產(chǎn)工藝：硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢，同時可以很大程度上兼容硅基加工工藝。通常，在傳感器的線性范圍內(nèi)，希望傳感器的靈敏度越高越好。因?yàn)橹挥徐`敏度高時，與被測量變化對應(yīng)的輸出信號的值才比較大，有利于信號處理。但要注意的是，傳感器的靈敏度高，與被測量無關(guān)的外界噪聲也容易混入，也會被放大系統(tǒng)放大，影響測量精度。因此，要求傳感器本身應(yīng)具有較高的信噪比，盡量減少從外界引入的于擾信號。傳感器的靈敏度是有方向性的。當(dāng)被測量是單向量，而且對其方向性要求較高，則應(yīng)選擇其它方向靈敏度小的傳感器;如果被測量是多維向量，則要求傳感器的交叉靈敏度越小越好。
氣體傳感器，隨著人們對室內(nèi)空氣質(zhì)量的關(guān)注，一些全新的名詞孕育而生。例如空氣傳感器、空氣質(zhì)量傳感器等。這些全新的名詞更多的出現(xiàn)于民用端或商用端的需求中，而并非環(huán)保端或工業(yè)端。其實(shí)以專業(yè)的角度來看，并沒有空氣質(zhì)量傳感器這一說法。但從需求角度出發(fā)其卻是合理的。顧名思義，想測空氣質(zhì)量所以才會想到有沒有空氣質(zhì)量傳感器。
氣體傳感器穩(wěn)定性是指傳感器在整個工作時間內(nèi)基本響應(yīng)的穩(wěn)定性，取決于零點(diǎn)漂移和區(qū)間漂移。零點(diǎn)漂移是指在沒有目標(biāo)氣體時，整個工作時間內(nèi)傳感器輸出響應(yīng)的變化。區(qū)間漂移是指傳感器連續(xù)置于目標(biāo)氣體中的輸出響應(yīng)變化，表現(xiàn)為傳感器輸出信號在工作時間內(nèi)的降低。理想情況下，一個傳感器在連續(xù)工作條件下，每年零點(diǎn)漂移小于10。
傳感器的外殼是由哪些材料制成的? 考慮到與內(nèi)部電極系統(tǒng)的兼容性和應(yīng)用的持續(xù)性要求，我們使用不同的塑料材料。通常使用的是ABS、聚碳酸酯纖維或聚丙烯。更詳細(xì)信息可以從各傳感器的數(shù)據(jù)表中找到。
現(xiàn)今傳感器市場的技術(shù)可以做到對于單一的參數(shù)或個別幾種可融合的參數(shù)制造出對應(yīng)的傳感器。但如上述如此多的參數(shù)想合成在一支傳感器上顯然是不可能的。因?yàn)楦鶕?jù)制造傳感器原理的不同，不同檢測參數(shù)之間有著互相影響的問題，所以在這時就需要運(yùn)營技術(shù)手段來解決。同時對于多種參數(shù)的檢測需求，技術(shù)性的集成就成為一條出路。而民用端或商用端所需求的空氣質(zhì)量傳感器可能終需要的則是集成多個傳感器后的空氣質(zhì)量監(jiān)測儀。
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