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[導(dǎo)讀]   瑞薩電子開發(fā)出同時降低了導(dǎo)通電阻和EMI(電磁噪聲)的30~40V耐壓車載用超結(jié)MOSFET(SJ-MOSFET),并在“ISPSD 2013(日本電氣學(xué)會主辦,2013年5月2

  瑞薩電子開發(fā)出同時降低了導(dǎo)通電阻和EMI(電磁噪聲)的30~40V耐壓車載用超結(jié)MOSFET(SJ-MOSFET),并在“ISPSD 2013(日本電氣學(xué)會主辦,2013年5月26~30日在石川縣金澤市舉行)”上發(fā)布了技術(shù)詳情(演講序號4-2)。通過在水平方向和垂直方向兩個方向上縮小SJ-MOSFET柵極周邊的尺寸,實(shí)現(xiàn)了出色的特性。這是該公司的第三代車載SJ-MOSFET,計劃1~2年內(nèi)開始量產(chǎn)。

  用于驅(qū)動車載馬達(dá)等、電流超過100A的功率MOSFET不僅要減小開關(guān)損失,還要降低導(dǎo)通電阻和柵極電荷量。因此,瑞薩首先縮小了超結(jié)構(gòu)造水平方向的尺寸(p/n層的間距)和垂直方向的尺寸(耐壓層的厚度),從而實(shí)現(xiàn)了低導(dǎo)通電阻。p/n層的最小間距為1.0μm,比原來縮小了30%。但這種構(gòu)造的缺點(diǎn)是柵極電荷量容易增加。因此,瑞薩電子通過加厚柵極絕緣膜抑制了柵極電荷量的增加。

  大容量功率MOSFET面臨的另一個技術(shù)課題是如何降低體二極管恢復(fù)時的電流過沖。在低端MOSFET電流增大而高端MOSFET電流減小的過程中,后者降到負(fù)數(shù)后會重新變成正數(shù)。這種電流過沖會引起EMI。此次瑞薩分析了恢復(fù)時剩余空穴的狀態(tài),并由此減小了p型基極的雜質(zhì)添加量,從而實(shí)現(xiàn)了較小的電流過沖恢復(fù)(軟恢復(fù))。表示電流過沖的指標(biāo)——亞閾值系數(shù)比原來改善了20%以上。

  此次試制的功率MOSFET電流為150A,介電擊穿電壓為32.8V。導(dǎo)通電阻值為4.75mΩmm2,在耐壓30V級的功率MOSFET中屬于業(yè)內(nèi)最佳水平。

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