意法半導(dǎo)體與A*STAR和ULVAC攜手合作，在新加坡成立世界首個“Lab-in-Fab”實驗室，推進壓電式MEMS技術(shù)應(yīng)用

· 與A*STAR的微電子研究所(IME)和日本制造工具供應(yīng)商ULVAC(愛發(fā)科株式會社)合作，以壓電式MEMS技術(shù)為重點研發(fā)方向

· 首創(chuàng)概念，旨在加快概念驗證到量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化，并推動壓電式MEMS在AR/VR、醫(yī)療和3D打印等新產(chǎn)品中的應(yīng)用

· 預(yù)計2021年第二季度產(chǎn)出第一批晶圓，2022年底開始量產(chǎn)

中國，2020年10月30日——橫跨多重電子應(yīng)用領(lǐng)域的全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體供應(yīng)商、MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)的世界領(lǐng)導(dǎo)者意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics,簡稱ST) 于日前宣布，與新加坡A * STAR IME研究所和日本領(lǐng)先的制造工具供應(yīng)商ULVAC合作，在意法半導(dǎo)體新加坡晶圓廠內(nèi)聯(lián)合創(chuàng)辦一條以壓電式MEMS技術(shù)為重點研究方向的8英寸(200mm)晶圓研發(fā)生產(chǎn)線。這個全球首創(chuàng)的“Lab-in-Fab”研發(fā)生產(chǎn)線整合三個合作方在壓電材料、壓電式MEMS技術(shù)和晶圓制造工具領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)和優(yōu)勢互補的研發(fā)能力，促進新材料和工藝技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展，最終加快企業(yè)客戶的產(chǎn)品開發(fā)。

Lab-in-Fab實驗室包括意法半導(dǎo)體在宏茂橋工業(yè)園區(qū)內(nèi)的一個新建潔凈室區(qū)，將配備三個合作方提供的工具設(shè)備和專用資源，為MEMS研發(fā)制程科學(xué)家和工程師提供工作場所。IME微電子在壓電式MEMS器件設(shè)計、工藝集成和系統(tǒng)集成方面的知識庫和產(chǎn)業(yè)驅(qū)動力將為研發(fā)生產(chǎn)線的發(fā)展提供積極的增值作用。IME還將提供最先進的工具設(shè)備，確保科技創(chuàng)新成果順利轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品，全部過程都在同一地點完成。新研發(fā)生產(chǎn)線還將利用意法半導(dǎo)體現(xiàn)有資源，發(fā)揮在同一園區(qū)內(nèi)的ST晶圓廠的規(guī)模經(jīng)濟優(yōu)勢。預(yù)計“Lab-in-Fab”設(shè)施將在2021年第二季度建成啟用并產(chǎn)出首批晶圓，在2022年底實現(xiàn)量產(chǎn)。

意法半導(dǎo)體模擬器件、MEMS和傳感器(AMS)產(chǎn)品部總裁Benedetto Vigna表示： “我們與IME和ULVAC此前已有過較長的合作經(jīng)驗，這次新合作旨在共同創(chuàng)辦世界領(lǐng)先的壓電式MEMS材料、技術(shù)和產(chǎn)品研發(fā)中心。這個全球首創(chuàng)實驗室將設(shè)在意法半導(dǎo)體的戰(zhàn)略要地新加坡工廠。Lab-in-Fab將讓我們的客戶能夠輕松完成從概念可行性研究到產(chǎn)品量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化過程。”

此次合作可增強意法半導(dǎo)體新加坡公司現(xiàn)有的制造工藝組合，并加快前景廣闊的新應(yīng)用領(lǐng)域采用壓電式MEMS執(zhí)行器，新興應(yīng)用包括智能眼鏡、AR頭戴設(shè)備和激光雷達系統(tǒng)使用的MEMS微鏡;新興醫(yī)療設(shè)備使用的壓電微機械超聲波換能器(PMUT)，以及商用和工業(yè)用3D打印機的壓電式打印頭。

IME執(zhí)行院長Dim-Lee Kwong教授表示： “IME、ST和ULVAC之間的公私合作項目構(gòu)建了一個獨特的研發(fā)生產(chǎn)線，這個生產(chǎn)線將采用壓電材料開發(fā)創(chuàng)新產(chǎn)品，增強合作伙伴的競爭力。這些努力將會讓高價值的研發(fā)活動繼續(xù)扎根于新加坡，并證明新加坡仍是行業(yè)龍頭開展技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展業(yè)務(wù)的首選地區(qū)。A * STAR將致力于幫助本地中小企業(yè)開發(fā)、利用我們的技術(shù)。我們歡迎企業(yè)與IME合作，并利用我們的Lab-in -Fab實驗室設(shè)施做概念驗證?！?

ULVAC執(zhí)行官、高級研究員Koukou SUU博士表示：“我們很高興成為ST和IME的“Lab-in-Fab”合作伙伴，為眾多前景廣闊的未來應(yīng)用開發(fā)先進的壓電式MEMS產(chǎn)品，這也充分證明了ULVAC在壓電MEMS制造技術(shù)解決方案市場上的領(lǐng)先地位。我們期待與合作伙伴密切合作，使合作圓滿成功。”

編者注

壓電式元器件已被廣泛使用幾十年，用于制造壓電式執(zhí)行器或傳感器。在過去的幾年中，工藝技術(shù)的創(chuàng)新使MEMS行業(yè)能夠使用壓電膜研制晶圓級產(chǎn)品，為持續(xù)的小型化、性能改進和成本降低奠定了基礎(chǔ)。

2019年，意法半導(dǎo)體慶祝新加坡工廠成立50周年，同時宣布全新的8英寸(200mm) 晶圓生產(chǎn)線(SG8E)在新加坡落成開工;2020年，“Lab-in-Fab”研發(fā)生產(chǎn)線項目啟動。