Advanced Energy 推出適用于工藝反應(yīng)腔室清洗系統(tǒng)的MAXstream遠(yuǎn)程等離子體源產(chǎn)品系列

北京，中國(guó) - Media OutReach - 二零二零年十二月十八日 - Advanced Energy Industries, Inc. 一直致力于開(kāi)發(fā)各種先進(jìn)的高精度電源轉(zhuǎn)換、測(cè)量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術(shù)更一直領(lǐng)先全球。該公司宣布推出一系列全新的 MAXstreamTM 遠(yuǎn)程等離子體源 (RPS) 產(chǎn)品，其特點(diǎn)是適用于半導(dǎo)體芯片工藝的反應(yīng)腔室等離子清洗系統(tǒng)。MAXstream系列產(chǎn)品有多個(gè)不同型號(hào)，操作范圍非常寬廣，其他優(yōu)點(diǎn)包括電源準(zhǔn)確度較高、優(yōu)于同級(jí)產(chǎn)品的等離子噴射引燃能力、以及更高的穩(wěn)定性，因此這是市場(chǎng)上最理想的遠(yuǎn)程等離子體源解決方案。

Advanced Energy 半導(dǎo)體產(chǎn)品副總裁兼總經(jīng)理 Peter Gillespie 表示：「我們的客戶曾向我們表示市場(chǎng)上欠缺一款高性能而又穩(wěn)定可靠的RPS產(chǎn)品，希望 Advanced Energy 能夠進(jìn)軍這個(gè)市場(chǎng)，滿足業(yè)者的需求。我們順應(yīng)時(shí)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)他們的夢(mèng)想。這系列全新的MAXstream產(chǎn)品不但為客戶的工藝設(shè)備提供一個(gè)極具成本效益而又穩(wěn)定可靠的RPS解決方案，而且還讓 Advanced Energy 因應(yīng)市場(chǎng)趨勢(shì)，加快進(jìn)軍這個(gè)近年少有創(chuàng)新技術(shù)出現(xiàn)但年銷售額約值1.5億美元的RPS市場(chǎng) 1。至今為止，這系列產(chǎn)品在市場(chǎng)上很受歡迎，對(duì)我們來(lái)說(shuō)這是一個(gè)很大的鼓舞。我們?cè)诮駛€(gè)月內(nèi)會(huì)繼續(xù)交貨予多個(gè)OEM客戶，預(yù)計(jì)會(huì)繼續(xù)取得亮麗的成績(jī)?！?

MAXstream遠(yuǎn)比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的RPS解決方案優(yōu)勝，因?yàn)檫@款新產(chǎn)品的雙等離子體源引燃核心采用完善的設(shè)計(jì)，確保等離子引燃時(shí)保持優(yōu)于同級(jí)競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品的穩(wěn)定性。由于每次分開(kāi)出擊的引燃非常穩(wěn)定可靠，令整個(gè)操作能保持其穩(wěn)定性，減少壞機(jī)情況出現(xiàn)。MAXstream也充分利用 Advanced Energy 使用多年并證實(shí)有效的分離等離子體源物料和相關(guān)技術(shù)，確保可延長(zhǎng)工藝反應(yīng)腔室的壽命周期以及減少由此而產(chǎn)生的微粒。

Advanced Energy 的MAXstream RPS 產(chǎn)品可以輕易插入現(xiàn)有的RPS系統(tǒng)之中，以確?？膳c現(xiàn)有系統(tǒng)無(wú)縫銜接，方便換代更新?？蛻糁灰〕鲆幌虮憩F(xiàn)不太理想RPS，改用MAXstream便可提高工藝設(shè)備的生產(chǎn)力、性能和穩(wěn)定性。他們也可獲得 Advanced Energy 提供優(yōu)于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的全球服務(wù)和支持。Advanced Energy 在世界各地設(shè)有十多間服務(wù)中心，為各地客戶提供現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)和應(yīng)用技術(shù)支持。

MAXstream產(chǎn)品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多個(gè)不同型號(hào)，每分鐘的氣體流量分別為3、6、8、10和12公升(liter)，讓客戶可以按照自己的工藝，選用一款價(jià)格符合預(yù)算而又能充分發(fā)揮系統(tǒng)性能的型號(hào)。MAXstream 300 適用于較低流量的工藝 (用于清洗的氣體每分鐘流量高達(dá)3公升)，外型則比高流量的型號(hào)更為小巧。

Advanced Energy 遠(yuǎn)程等離子體源總經(jīng)理 Shaun Wilson 表示：「幾乎生產(chǎn)每一種半導(dǎo)體芯片所采用的等離子工藝都需要清洗反應(yīng)腔室。我們今次推出MAXstream系列產(chǎn)品，為客戶的工藝反應(yīng)腔室清洗系統(tǒng)提供一個(gè)性能強(qiáng)勁、穩(wěn)定可靠和具成本效益的解決方案。我們不但降低設(shè)備的壞機(jī)時(shí)間，而且還協(xié)助半導(dǎo)體業(yè)者滿足數(shù)據(jù)經(jīng)濟(jì)圈的市場(chǎng)需求?！?

如欲進(jìn)一步查詢有關(guān)產(chǎn)品的技術(shù)規(guī)格，可登入 Advanced Energy 公司網(wǎng)頁(yè)查閱MAXstream的產(chǎn)品專頁(yè)。