先進(jìn)傳感器研發(fā)新突破：國內(nèi)首條12英寸試線成功通線

傳感器(英文名稱：transducer/sensor)是一種檢測(cè)裝置，能感受到被測(cè)量的信息，并能將感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號(hào)或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲(chǔ)、顯示、記錄和控制等要求。傳感器的特點(diǎn)包括：微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化。它是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制的首要環(huán)節(jié)。傳感器的存在和發(fā)展，讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官，讓物體慢慢變得活了起來。通常根據(jù)其基本感知功能分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類。

近年來，隨著工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、人工智能、智能制造的興起，作為數(shù)據(jù)采集的源頭，傳感器得到了廣泛的應(yīng)用。

傳感器是智能裝備重要感官，其研發(fā)過程往往分為兩個(gè)階段：從技術(shù)創(chuàng)新到成本降低。

傳感器作為智能裝備的自主輸入裝置，相當(dāng)于人的各種感覺器官。智能裝備對(duì)于外界環(huán)境的感覺主要有視覺、位置覺、速度覺、力覺、觸覺等。

到2019年，全球傳感器市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)達(dá)到2265億美元。然而，目前國內(nèi)傳感器的供應(yīng)上仍然依賴進(jìn)口，尤其在中高端傳感器領(lǐng)域，對(duì)外依賴度達(dá)到80%。在這樣的背景下，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)的國產(chǎn)化，就顯得尤為重要。日前，國內(nèi)傳感器行業(yè)迎來了好消息。

繼全國首條8英寸MEMS研發(fā)中試線落地上海嘉定工業(yè)區(qū)后，近日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心(以下簡(jiǎn)稱“創(chuàng)新中心”)建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器研發(fā)中試線，也在嘉定成功通線。

隨著上海市加快推進(jìn)城市數(shù)字化轉(zhuǎn)型，物聯(lián)感知網(wǎng)絡(luò)越織越密，先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展?！懊嫦蛐屡d技術(shù)發(fā)展和市場(chǎng)應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化?！眲?chuàng)新中心相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，未來，將重點(diǎn)搭建共性技術(shù)平臺(tái)，專注于先進(jìn)傳感器特色工藝研發(fā)和中試。

據(jù)媒體報(bào)道，在我國上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，國內(nèi)第一條12英寸先傳感器中試線，已經(jīng)成功實(shí)現(xiàn)通線。需要知道的是，所謂的“中試”，也就是中間階段的試驗(yàn)，在科技成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的過程中，中試環(huán)節(jié)是少不了的。

這是因?yàn)槿魏慰萍汲晒谙蛏a(chǎn)力轉(zhuǎn)化時(shí)，都不可避免地面臨試錯(cuò)問題，而中試就是根據(jù)小試成果進(jìn)行放大，如果這一步成功后，就基本可以“官宣”量產(chǎn)了。相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，在科技成果產(chǎn)業(yè)化的過程中，如果沒有中間階段的試驗(yàn)，它的產(chǎn)業(yè)化成功率只有30%，通過中試后，這一數(shù)據(jù)就提高到80%。所以，中試的好處是顯而易見的。

據(jù)介紹，該中試線以國產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí) 3D 集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

了解到，國家智能傳感器創(chuàng)新中心表示，將在 12 英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

目前，創(chuàng)新中心已聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的1000余家企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，形成的“產(chǎn)、學(xué)、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，將加速國內(nèi)先進(jìn)傳感器及相關(guān)應(yīng)用的核心技術(shù)發(fā)展，推動(dòng)智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。

近年來，我國也是十分重視傳感器行業(yè)的發(fā)展的，出臺(tái)相關(guān)政策支持，比如在智能傳感器產(chǎn)業(yè)相關(guān)發(fā)展指南、“十三五”發(fā)展規(guī)劃中，我國對(duì)傳感器的發(fā)展目標(biāo)和任務(wù)都有相關(guān)的規(guī)定。

面向新興技術(shù)發(fā)展和市場(chǎng)應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

12英寸中試線位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng)新平臺(tái)和龍頭企業(yè)為支撐，伴有精準(zhǔn)的政策助力，發(fā)展傳感器特色工藝，積極培育和引進(jìn)領(lǐng)先的智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)軍企業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展，力爭(zhēng)將上海嘉定打造成國內(nèi)傳感器領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)高地。

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進(jìn)傳感器技術(shù)創(chuàng)新，以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標(biāo)，聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟1000+ 家產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，形成“產(chǎn)、學(xué)、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，加速我國先進(jìn)傳感器及其相關(guān)應(yīng)用的核心技術(shù)發(fā)展，推動(dòng)智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。