ASML?DUV光刻機有多快？加速度高達(dá)7g、12秒完成一整片晶圓

時間：2021-09-03 10:08:44

關(guān)鍵字：光刻機晶圓加速度

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[導(dǎo)讀]作為芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵裝備的光刻機，有著極高的技術(shù)壁壘，有“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”之稱，代表著人類文明的智慧結(jié)晶。在在芯片這樣一個爭分奪秒的行業(yè)里，時間就是金錢。據(jù)ASML官方介紹，ASML也一直在追求光刻機極致的速度，目前最先進(jìn)的DUV光刻機，每小時可以完成300片晶圓的光...

作為芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵裝備的光刻機，有著極高的技術(shù)壁壘，有“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”之稱，代表著人類文明的智慧結(jié)晶。
在在芯片這樣一個爭分奪秒的行業(yè)里，時間就是金錢。
據(jù)ASML官方介紹，ASML也一直在追求光刻機極致的速度，目前最先進(jìn)的DUV光刻機，每小時可以完成300片晶圓的光刻生產(chǎn)。
這是一個什么概念呢？
我們來換算一下，完成一整片晶圓只需要12秒，這還得扣除掉晶圓交換和定位的時間，實際光刻時間要更短。
而一片晶圓的光刻過程，需要在晶圓上近100個不同的位置成像電路圖案，所以完成1個影像單元（Field）的曝光成像也就約0.1秒。
要實現(xiàn)這個成像速度，晶圓平臺在以高達(dá)7g的加速度高速移動。7g加速度是什么概念呢？F1賽車從0到100km/h加速約需要2.5秒，而晶圓平臺的7g的加速度，若從0加速到100km/h只要約0.4秒。
DUV是深紫外線（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是極深紫外線（Extreme Ultraviolet Lithography）。
從制程工藝來看，DUV只能用于生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。而只有EUV能滿足7nm晶圓制造，并且還可以向5nm、3nm繼續(xù)延伸。
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