SMU模塊解決了低電流、高電容的棘手測試挑戰(zhàn)

Keithley 4200A-SCS參數(shù)分析儀推出兩款最新源測量單元(SMU)模塊，即使在由于長電纜和復(fù)雜的測試設(shè)置而產(chǎn)生高負(fù)載電容時，其仍能執(zhí)行低電流測量。許多主要測試應(yīng)用都面臨著這一挑戰(zhàn)，如LCD顯示器制造和卡盤上的納米FET器件測試。

在被測器件本身電容很小的情況下，許多低電流測量應(yīng)用中所需要的測試設(shè)置也會增加SMU輸出端的電容。當(dāng)測試連接電容太大時，最終的低電流測量結(jié)果可能會變得不穩(wěn)定。為解決這些挑戰(zhàn)，新模塊在提供電壓和測量電流時，支持的電纜長度和連接電容都要超過傳統(tǒng)SMU。

最新4201-SMU和4211-SMU是為采用長電纜、開關(guān)矩陣、通過柵極接觸卡盤及其他夾具的測試裝置專門設(shè)計(jì)的。這就讓研究人員和制造測試工程師節(jié)省了大量的時間和成本，而這些時間和成本本來可以花費(fèi)在故障排除和重新配置測試設(shè)置上。

“因?yàn)橐档碗娏鱽砉?jié)省能耗，精細(xì)測試裝置所產(chǎn)生的高負(fù)載電容正成為一個日益嚴(yán)重的問題。在測試智能手機(jī)或平板電腦采用的大型LCD面板時，就面臨著同樣的問題。”泰克科技公司吉時利系統(tǒng)和軟件總經(jīng)理Peter Griffiths說，“我們的新模塊特別擅長進(jìn)行穩(wěn)定的低電流測量，并將立即使我們的許多現(xiàn)有和未來的客戶受益。”

在最低電流測量范圍內(nèi)，4201-SMU和4211-SMU可以提供和測量的系統(tǒng)電容要比當(dāng)前水平高出1,000倍。例如，如果電流在1 ~ 100 pA (皮安)之間，那么最新吉時利模塊可以在低達(dá)1 µF (微法拉)的負(fù)載電容下保持穩(wěn)定。相比之下，同類產(chǎn)品最多只能容忍1,000 pF (皮法)的負(fù)載電容，之后測量穩(wěn)定性就會劣化，這要比最新吉時利模塊差1,000倍。

4201-SMU和4211-SMU在訂貨時可以預(yù)先配置一個4200A-SCS，構(gòu)成全面的參數(shù)分析解決方案;也可以現(xiàn)場輕松升級現(xiàn)有的設(shè)備，不需把設(shè)備發(fā)送到服務(wù)中心，可望節(jié)省幾周的中斷時間。

關(guān)于4200A-SCS

4200A-SCS是一種可以量身定制的全集成參數(shù)分析儀，可以同步查看電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V特點(diǎn)，加快半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)和制造過程。每臺4200A-SCS可以配置最多9個SMU。該系統(tǒng)的Clarius軟件用戶界面擁有觸控和滑動或點(diǎn)擊控制功能，支持在現(xiàn)代半導(dǎo)體、材料和工藝表征中進(jìn)行高級測試定義、參數(shù)分析、圖表繪制和自動化。