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[導(dǎo)讀]CCD電荷耦合器件是20世紀(jì)70年代初發(fā)展起來的新型半導(dǎo)體集成光電器件。日前它已成為集光學(xué)、電子學(xué)、精密機械與計算機技術(shù)為一體的綜合性技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于各種加工件的在線檢測和高精度、高速度的非接觸檢測技術(shù)領(lǐng)域。CCD像傳感器、光學(xué)系統(tǒng)、計算機數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)構(gòu)成的CCD光電尺寸檢測儀器的使用范圍和優(yōu)越性是現(xiàn)有機械式、光學(xué)式、電磁式測量儀器都無法比擬的。這與它本身所具有的高分辨率、高靈敏度、像素位置信息強、結(jié)構(gòu)緊湊及其自掃描的特性密切相關(guān)??傊?,CCD技術(shù)是一項很有前景的技術(shù)。

1.引言

檢測技術(shù)是一門應(yīng)用非常廣泛的技術(shù)。在許多 領(lǐng)域都會對各種加工件、各種運動物體進行檢測,以保證 產(chǎn)品的合格率和生產(chǎn)、生活的安全性。傳統(tǒng)的檢測方法有人工檢測,也有用機械式、光學(xué)式或電磁式檢測儀 器進行的檢測。尤其是人工檢測全憑實際工作經(jīng)驗,若部件結(jié)構(gòu)復(fù)雜,不但增加了工人的勞動強度,而且精 度、效率也會隨之降低,既不能完成非接觸檢測,又不能實現(xiàn)在線檢測,同時還增加了檢測時給工作人員所 帶來的危險性。因此,隨著科技的日新月異,勢必要有一種更加完美的檢測技術(shù),那就是CCD 技術(shù)。 在此,以一個基于CCD 在線非接觸檢測的實例——《拉升鋼絲繩直徑的在線檢測儀》對CCD 技術(shù)進行 一下探討。

2.系統(tǒng)組成

整個檢測系統(tǒng)由照明系統(tǒng)、被測工件系統(tǒng)、成像物鏡、CCD 光電檢測系統(tǒng)和計算機測控系統(tǒng)(8031 單片 機和8279 鍵盤/顯示芯片等)構(gòu)成。穩(wěn)壓穩(wěn)流調(diào)光電源為遠心照明系統(tǒng)提供穩(wěn)定的照明光,被照明的工件經(jīng) 成像物鏡成像在線陣CCD 的光敏陣列面上。由于工件不透光,工件的像在中間部分形成暗帶,兩側(cè)形成亮帶。 暗帶的寬度就是工件尺寸所成像的大小。線陣CCD 在驅(qū)動脈沖的作用下完成光電轉(zhuǎn)換并產(chǎn)生視頻信號。其系 統(tǒng)原理圖如圖1。

 

 

3.CCD 光電檢測系統(tǒng)

在CCD 光電檢測系統(tǒng)中,CCD 的選型是十分重要的。CCD 的種類繁多,而且它們都有各自的特點和不 同的應(yīng)用,所以CCD 型號的正確與否將直接影響到所測信息的正確與否。

在本系統(tǒng)中要求的測量范圍為15mm~45mm,測量精度和相對要求較高,所以只要選擇1000 像元以上 的線陣CCD 就可以滿足本測量系統(tǒng)的精度要求。因此本系統(tǒng)應(yīng)選用TCD1206UD,它的有效像元數(shù)為2160, 像元尺寸為0.014×0.014mm,像元中心距為0.014mm,足以滿足本測量系統(tǒng)的要求。

該器件的主要技術(shù)指標(biāo):

像元單元數(shù)2160 像元總長為30.24mm

像元中心距14μm 驅(qū)動頻率1MHz

行周期2.5ms 靈敏度45 V/lx·s

在1MHz 數(shù)據(jù)率情況下工作時,有效像元輸出時間為2.16ms,鋼絲繩直徑信號產(chǎn)生于2.16ms 期間。輸出 信號的暗電平可控制在1.0V 左右。而高電平可接近10V,相差比較大。當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整得比較好時,圖像邊 緣的信號比較陡,測量誤差較小。TCD1206UD 的工作原理和驅(qū)動電路如下:

 

 

(1)工作原理。 TCD1206UD 在圖2 所示的驅(qū)動脈沖作用下工作。當(dāng)ΦSH 脈沖的高電平到來時,正值Φ1 電極下均形成深勢阱,同時ΦSH 的高電平使Φ1 電極下的深勢阱與MOS 電容存儲勢阱溝通。

如圖3 所示,MOS 電容中的信號電荷包通過轉(zhuǎn)移柵轉(zhuǎn)移到模擬移位寄存器的Φ1 電極下的勢阱中。當(dāng) ΦSH 由高變低時,ΦSH 低電平形成的淺勢阱將存儲柵下勢阱與Φ1 電極下的勢阱隔離開。存儲柵勢阱進入光 積分狀態(tài),而模擬移位寄存器將在Φ1 與Φ2 脈沖的作用下驅(qū)使轉(zhuǎn)移到Φ1 電極下勢阱中的信號電荷向左轉(zhuǎn)移, 并經(jīng)輸出電路由OS 電極輸出。由于結(jié)構(gòu)上的安排,OS 端首先輸出13 個虛設(shè)單元信號,再輸出51 個暗信號, 然后才連續(xù)輸出S1 到S2160 的有效像素單元信號。第S2160 信號輸出后,又輸出9 個暗信號,再輸出2 個奇 偶檢測信號,以后便是空驅(qū)動??镇?qū)動數(shù)目可以是任意的。由于該器件是兩列并行分奇、偶傳輸?shù)?,所以?一個ΦSH 周期內(nèi)至少要有1118 個Φ1 脈沖,即TSH>1118T1。ΦR 為復(fù)位級的復(fù)位脈沖,復(fù)位一次輸出一個 信號。

 

 

(2)驅(qū)動電路。TCD1206UD 的驅(qū)動電路如圖4 所示:

 

 

由晶體振蕩器構(gòu)成的脈沖信號源產(chǎn)生主時鐘ΦM。ΦM 脈沖經(jīng)或編程邏輯器件ISPLSI 產(chǎn)生ΦSH、Φ1、 Φ2、ΦR 四路驅(qū)動脈沖。在這四路驅(qū)動脈沖的作用下,TCD1206UD 輸出OS 信號及DOS 信號。將此二路輸出 信號分別送到差分放大器LF357 的正、反輸入行差分放大,抑制掉共模的ΦR 引起的干擾,得到圖3 所示的 信號波形。SP 及ΦC 是為用戶提供的控制脈沖,SP 與CCD 輸出的像元光電信號同步,可用來做采樣保持控制 信號。ΦC 的上升沿對應(yīng)于CCD 的第一個有效像素單元S1,因而可以用作行同步。當(dāng)然也可以用ΦSH 作行同 步,但由于CCD 首選輸出64 個虛設(shè)單元信號,所以采用ΦC 比采用ΦSH 更好。 在此檢測系統(tǒng)中的照明系統(tǒng)的照明光源和成像系統(tǒng)的成像物鏡的選擇也是十分重要的,在此只是對鋼絲繩 的一般檢測,因此只需選擇白熾燈或鹵素?zé)糇鳛檎彰鞴庠醇纯?而成像物鏡,在此將選用放大率是β=1, f/=130mm、D/f/=0.5、2ω=140 的成像物鏡。

4.二值化數(shù)據(jù)采集與單片機接口

本系統(tǒng)是用于運動過程中的工件尺寸的檢測。由于工件在運動過程中會因擺動而發(fā)生位置變化,從而導(dǎo) 致CCD 輸出的視頻信號幅值浮動,而且光源強度變化也會引起CCD 的視頻信號起伏變化,如果選用浮動閾值 法,當(dāng)由于上述原因引起CCD 的視頻信號起伏變化時,可以通過電路將光源的起伏或CCD 視頻信號的起伏變 化反饋到閾值上,使閾值電位跟著變化,從而使CCD 視頻信號經(jīng)二值化電路后產(chǎn)生的方波脈沖的寬度基本不 變。所以選用浮動閾值法的二值化處理方法。

CCD 驅(qū)動器除產(chǎn)生CCD 所需要的各種驅(qū)動脈沖,還要產(chǎn)生行同 步脈沖ΦC 和用作二值化計數(shù)的輸入脈沖Φt,要求ΦC 與SH 同周期,ΦC 的上升沿對應(yīng)于CCD 輸出信號的第 一個有效像素單元,要求Φt 脈沖頻率是復(fù)位脈沖ΦR 頻率的整數(shù)倍。將定時器T0 的方式寄存器TMOD 的GATE 位置1,這里定時器T0 受外部引腳輸入電平的控制,即INT0 控制T0 的運行。將二值化電路輸出的方波脈沖 信號和行同步脈沖ΦC 一起輸入“與”門,它們的輸出信號接到單片機的INT0 引腳,并由INT0 來控制單片 機定時器T0 的啟動,同時將復(fù)位脈沖ΦR 接到單片機的P3.4 引腳。當(dāng)行同步脈沖ΦC 和二值化方波脈沖信 號都出現(xiàn)高電平時,“與”門輸出的也是高電平,用這個高電平去啟動單片機的定時器T0 對復(fù)位脈沖ΦR 進 行記數(shù),當(dāng)行同步脈沖ΦC 和二值化方波脈沖信號有一個出現(xiàn)低電平時,“與”門輸出的Y 也為低電平,定時 器T0 停止記數(shù)。這里定時器T0 所記的數(shù)即為復(fù)位脈沖數(shù),由于復(fù)位脈沖ΦR 與CCD 像元同周期,幫定時器 T0 所記的數(shù)即為二值化方波脈沖信號高電平所覆蓋像元數(shù)。這樣便完成了CCD 輸出信號的處理工作,在定時 器T0 中記下了與工件尺寸有關(guān)的數(shù)據(jù),即CCD 像元數(shù)。在光學(xué)系統(tǒng)中的放大率為1,所以用測量所得的像元 數(shù)去乘以CCD 的像元中心距,其結(jié)果就是在誤差允許范圍內(nèi)的工作尺寸的真實值。

5.程序流程圖

 

 

 

 

由此程序流程圖便可以完成匯編程序的編制,在此不再詳述。

6.結(jié)束語

由于機械式、光學(xué)式、電磁式的測量儀器的制造技術(shù)已十分成熟,因此,在目前的檢測領(lǐng)域中,它們還 占據(jù)著重要位置。但是相信隨著制造技術(shù)的提高,CCD 像感元件的制作成本將會隨之降低,而其精度卻會進 一步提高。到那時不管在精密檢測領(lǐng)域,還是在一般檢測系統(tǒng)中將會大量地應(yīng)用CCD 技術(shù),CCD 技術(shù)將成為 將來檢測領(lǐng)域的主導(dǎo)技術(shù)。

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