微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級別的尺度上集成電機(jī)和電子設(shè)備的裝置，能夠測量或保持方向。這是通過對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的角速度進(jìn)行檢測和測量實(shí)現(xiàn)的。
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多年來，傳感器早已融合到車輛的整體設(shè)計(jì)和制造中。一輛汽車現(xiàn)在可以有100個(gè)或更多的傳感器，用于監(jiān)測和控制某些驅(qū)動(dòng)參數(shù)。電動(dòng)汽車的公眾接受度和自動(dòng)駕駛汽車的未來發(fā)展很大程度上將依賴于這些傳感器的超可靠性。在這些傳感器中，MEMS傳感器約占三分之一。
MEMS陀螺儀是第三代陀螺儀的代表，MEMS隨著微機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)等學(xué)科的興起，又基于科里奧利振動(dòng)效應(yīng)和微納加工技術(shù)，MEMS陀螺儀開始出現(xiàn)。ER-MG2-50/100作為MEMS陀螺儀中的高精度陀螺儀，具有體積小、重量輕、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、價(jià)格低廉、便于批量生產(chǎn)等特點(diǎn)，解決了第一代和第二代陀螺儀體積質(zhì)量大、成本高的缺點(diǎn)，精度和穩(wěn)定性不斷提高。
MEMS壓力傳感器是基于MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體集成電路制造加工技術(shù)，以利用單晶硅硅片等傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料制作而成的芯片作為主要組成部分，將壓強(qiáng)信號轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號的壓力測量器件。MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路(IC)設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝，進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡單易用和智能化。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級別的尺度上集成電機(jī)和電子設(shè)備的裝置，能夠測量或保持方向。這是通過對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的角速度進(jìn)行檢測和測量實(shí)現(xiàn)的。MEMS陀螺儀的工作原理基于科里奧利(Coriolis)效應(yīng)。這是一個(gè)物理現(xiàn)象，在旋轉(zhuǎn)參考系中，運(yùn)動(dòng)物體受到一種橫向的力，稱為科里奧利力。
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MEMS傳感器是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。除了智能手機(jī)，MEMS傳感器將會(huì)在 AR/VR、可穿戴等消費(fèi)電子，智能駕駛、智能工廠、智慧物流、 智能家居、環(huán)境監(jiān)測、智慧醫(yī)療等物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
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