著眼10代液晶面板，Micronic新推Prexision激光繪圖儀

全球最大的光掩膜設(shè)備供應(yīng)商micronic laser system公司日前在上海召開的一場光掩膜技術(shù)研討會上介紹了該公司剛剛發(fā)布的兩款用于液晶面板生產(chǎn)線的掩膜用激光圖形描繪儀。在新聞發(fā)布會上，該公司產(chǎn)品管理高級副總裁jonas hasselberg聲稱，屬于prexision平臺的這兩款新設(shè)備將是“micronic laser system有史以來最大的技術(shù)提升”。1989年成立的micronic總部位于瑞典首都斯德哥爾摩北部的taby。該公司1993年向亞洲地區(qū)付運了第一臺激光圖形描繪儀，并與1995年首次進入中國市場。 hasselberg表示，由于液晶面板的主要產(chǎn)能目前都聚集在了亞洲地區(qū)，因此micronic有近90%的營收都來自這個市場。他介紹說，除了歐洲總部和設(shè)在美國的分公司外，該公司其他的分支機構(gòu)大都設(shè)立在了包括中國大陸、中國臺灣、日本、韓國在內(nèi)的遠東地區(qū)。 在液晶面板的生產(chǎn)流程中，激光圖形描繪儀擔(dān)任的是量產(chǎn)與設(shè)計之間的橋梁作用。cad設(shè)計首先被轉(zhuǎn)成數(shù)據(jù)文件，然后再經(jīng)由激光圖形描繪儀和步進式光刻機，才能形成最終的tft面板。 “顯示器產(chǎn)業(yè)已經(jīng)開始向第十代液晶面板開始進軍。”hasselberg說，“基材尺寸正在變得越來越大，夏普已經(jīng)正式宣布了其第十代面板工廠的建設(shè)計劃，新一代工廠生產(chǎn)的3×3m2面板有望幫助實現(xiàn)65英寸液晶的大規(guī)模生產(chǎn)，并將推動42英寸液晶的進一步降低。不過，這同時也將成為面板產(chǎn)業(yè)有史以來最大規(guī)模的投資，如何在大尺寸基材上提高良率、降低成本，才是產(chǎn)業(yè)最為關(guān)心的話題?！?新推的prexision-10就是針對夏普年中發(fā)布的十代廠而開發(fā)的。據(jù)稱，除了大幅提高了lcd所用到的光掩膜的精度和質(zhì)量之外，相對于目前的產(chǎn)品生產(chǎn)力和可靠性也大大提高了。據(jù)稱，micronic已經(jīng)接到了來自日本的兩臺prexision-10訂單。該公司總裁兼執(zhí)行總監(jiān)sven lofquist表示，這是micronic成立以來所接到的最大訂單。第一臺prexision-10將于明年下半年交付客戶使用。 prexision-10市場上的初戰(zhàn)告捷意味著該公司將繼續(xù)在接近1,000億美元的顯示器領(lǐng)域扮演領(lǐng)導(dǎo)者的角色。不過，在瞄準10代技術(shù)的同時，其兄弟產(chǎn)品prexision-8也同時推出。據(jù)悉通過旋轉(zhuǎn)等流程，prexision-8的用戶能夠借助一些細微的調(diào)整來改善良率。prexision-8還能夠向下兼容8代以下的各代液晶生產(chǎn)線。 上述兩款prexision平臺產(chǎn)品都是基于lrs系列而建立的。不過，與現(xiàn)有的lrs15000相比，其在光感尺寸精度(cd)控制和位置校準精度上都分別提高了30%和50%，并在消除色斑不均衡引起的云紋現(xiàn)象上有了顯著改善。此外，新設(shè)備的單位時間內(nèi)的吞吐量也比lrs15000 -tft3高出60%，比lrs15000 -tft2高出20%。