Entegris推出12英寸晶圓傳送設(shè)備與光罩處理器產(chǎn)品

導(dǎo)體材料潔凈、保護(hù)與傳送方案供貨商entegris，臺(tái)灣半導(dǎo)體設(shè)備暨材料展(semicon taiwan)上發(fā)表三款先進(jìn)產(chǎn)品，包括300mmfosb (12英寸晶圓運(yùn)輸盒)、spectra foup (12英寸晶圓傳送盒)及rsp 200 peek光罩處理器。 隨著300mm晶圓處理不斷向全自動(dòng)傳輸?shù)内厔?shì)邁進(jìn)，entegris的fosb包含了可幫助客戶實(shí)現(xiàn)制程一致性和成本節(jié)約的技術(shù)。entegris fosb采用與fims兼容的門，使工廠能以更高效率實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)生產(chǎn)環(huán)境。 spectra則采用最新的300mm晶圓傳輸技術(shù)，使幫助客戶邁入先進(jìn)的90nm以下技術(shù)。它與所有的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)和自動(dòng)化設(shè)備兼容，并可達(dá)到最佳生產(chǎn)效率。spectra foup具備經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的設(shè)計(jì)，可保護(hù)晶圓免受微粒、空氣傳播分子的污染，并防止沖擊與振動(dòng)對(duì)芯片的影響，確保獲得更高的良率。此外該設(shè)備并配備先進(jìn)的esd接地，并支持多種識(shí)別方式。 entegris表示，更高的清潔標(biāo)準(zhǔn)(微粒級(jí)與分子級(jí))促使設(shè)計(jì)用于在制造期間運(yùn)輸及儲(chǔ)存光罩的產(chǎn)品提高效能。該公司的rsp 200 peek光罩運(yùn)輸處理器，在光罩運(yùn)輸處理器主體采用更能保護(hù)載入連接埠及儲(chǔ)存區(qū)的peek材料，改進(jìn)了防磨損效能，且在主體及門之間提供了高效的密封效能、減少了出氣、提供了更好的esd防護(hù)，從而實(shí)現(xiàn)了更好的整體污染控制，減少了光罩損壞并提高了良率。 與先前的產(chǎn)品相較，rsp 200 peek的耐磨損效能號(hào)稱提高了12倍、密封效能提高了50倍且出氣下降了1,500倍。其內(nèi)部比以前的主體小18%，從而使需要控制污染的區(qū)域更小?，F(xiàn)在該產(chǎn)品可供訂購(gòu)及出貨。