SemiLAB發(fā)力半導(dǎo)體市場，利用IR設(shè)備精確測量存儲器結(jié)構(gòu)

據(jù)韓ý報道，得益于最新紅外(IR)測量設(shè)備商業(yè)化的推動，韓國設(shè)備廠商SemiLAB Korea正加快腳步進(jìn)軍半導(dǎo)體市場。SemiLAB是全球第四大半導(dǎo)體測試解決方案供應(yīng)商，提供靈活的測試解決方案用于半導(dǎo)體材料、工藝監(jiān)控，測試設(shè)備被廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體、科研以及平板測試領(lǐng)域。

SemiLAB Korea發(fā)明了一種利用紅外測量設(shè)備精確測量DRAM和NAND Flash結(jié)構(gòu)的方法，可以在生產(chǎn)DRAM前，監(jiān)測用作絕緣膜的BPSG(硼磷硅酸鹽玻璃)和NAND Flash的蝕刻工藝。SemiLAB Korea首席執(zhí)行官Park Soo Yong強(qiáng)調(diào)，由于紅外光線具有更長的波長，可以觀測到更復(fù)雜的薄膜結(jié)構(gòu)。

與此同時，SemiLAB Korea還計劃增加標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)備的供應(yīng)，除了半導(dǎo)體行業(yè)，還包括太陽能電池和顯示器市場。計劃通過不斷提供利用光學(xué)和電學(xué)特性的測量設(shè)備來建立可靠性的策略。

SemiLAB Korea已將今年的銷售目標(biāo)提高至200億韓元(去年為140億韓元)，明年為260億韓元。