重磅消息！國產(chǎn)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)成功研制并投入使用

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅，晶圓是集成電路中不可或缺的材料，在其后期制作工藝過程中需要保持高潔凈度。

近日，位于北京經(jīng)開區(qū)的北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司(以下簡稱“京儀裝備”)，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺(tái)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)，破解了國產(chǎn)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)自動(dòng)化難題。

北京亦莊

晶圓倒片機(jī)是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序， 這就要求晶圓倒片機(jī)擁有極高的傳送效率和潔凈程度。

晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)是一項(xiàng)難度極高的工藝，用力過猛容易導(dǎo)致晶圓表面破損，力度太小晶圓則會(huì)自動(dòng)脫落，加之晶圓表面的高精密性，倒片機(jī)只能夾住晶圓的兩邊進(jìn)行自動(dòng)翻轉(zhuǎn)，這就給自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)的研發(fā)帶來了難題。

在工藝進(jìn)行中其實(shí)會(huì)產(chǎn)生摩擦，其產(chǎn)生的顆粒磨損便會(huì)污染晶圓，我們需要避免在過程中污染物掉落在晶圓上。

京儀裝備技術(shù)攻關(guān)小組經(jīng)過無數(shù)次的實(shí)驗(yàn)，通過改變力的傳感器作用原理，同時(shí)對結(jié)構(gòu)進(jìn)行重新優(yōu)化設(shè)計(jì)，終于攻克了國產(chǎn)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)不能自動(dòng)翻轉(zhuǎn)的難題。

據(jù)了解，晶圓倒片機(jī)是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序，這就要求晶圓倒片機(jī)擁有極高的傳送效率和潔凈程度。

值得注意的是，目前，京儀裝備研發(fā)的首臺(tái)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)已經(jīng)在上海集成電路研發(fā)中心得到成功應(yīng)用。早期型號倒片機(jī)則已經(jīng)在中芯國際、長江存儲(chǔ)等多家企業(yè)得到應(yīng)用。