MEMS麥克風發(fā)展迅速 全球?qū)＠砍噬仙厔?/h1>
【導讀：隨著MEMS麥克風成本越來越低，MEMS麥克風在全球麥克風市場所占的比重也越來越大。據(jù)研究機構(gòu)iSuppli評估，MEMS麥克風從2006年到2011年的年平均增長率達到29%?！?/p>
作為近年來增長最快的MEMS傳感器，MEMS麥克風是MEMS市場中應用成功的又一典型。據(jù)iSuppli公司預計，到2013年全球MEMS麥克風的出貨量將達到12億塊。
MEMS麥克風市場比重越來越大
相對于現(xiàn)有的ECM(駐極體麥克風)，MEMS麥克風具有很好的性能優(yōu)勢。其原因在于MEMS麥克風尺寸較小、靈敏度高、信噪比高、與數(shù)字信號處理電路具有適應性。在封裝工藝上，相對于大多數(shù)駐極體麥克風仍需手工焊接，由于硅襯底耐熱性能好，MEMS麥克風可以直接采用全自動SMT封裝，這不僅簡化生產(chǎn)流程，降低生產(chǎn)成本，更能夠提高產(chǎn)品競爭力。
隨著MEMS麥克風成本越來越低，MEMS麥克風在全球麥克風市場所占的比重也越來越大。據(jù)研究機構(gòu)iSuppli評估，MEMS麥克風從2006年到2011年的年平均增長率達到29%。YoleDevelopment的數(shù)據(jù)也表明，以實際銷售量觀察，2008年麥克風組件全球出貨量為33億顆，其中MEMS麥克風占6.4億顆，占有率為19%，預計2011年將達39%的占有率。
MEMS麥克風專利數(shù)美日中領先
MEMS麥克風核心技術(shù)在于芯片的結(jié)構(gòu)設計和封裝。因此本文主要針對MEMS麥克風這兩方面技術(shù)檢索相關(guān)的全球?qū)＠?。通過檢索，截至2010年6月已公開的MEMS麥克風的全球?qū)＠暾垟?shù)量為646件。
圖2為MEMS麥克風全球?qū)＠麌鴦e或地區(qū)分布狀況，按照申請國所遞交的專利數(shù)可以看出，MEMS麥克風專利主要在美國、日本、中國大陸、世界專利局、歐洲專利局、韓國、中國臺灣、德國以及澳大利亞等9個國家或地區(qū)申請，其申請總量超過總申請量的95%。其中，美國、日本與中國大陸收錄的申請專利最多，三者之和也超過了專利數(shù)總量的一半。
表1所示的MEMS麥克風全球?qū)＠?0名申請人，專利權(quán)人擁有的專利族申請絕對數(shù)量并不多，并沒有占絕對優(yōu)勢的專利申請人。這也看出MEMS麥克風作為新興技術(shù)，在技術(shù)發(fā)展上仍處在起步和上升階段，在專利申請數(shù)量上還沒有存在一家獨大的情況。前20名申請人中除中國科學院聲學研究所和臺灣工研院之外，其他申請人均為公司申請人。
值得注意的是，國內(nèi)機構(gòu)進入前20名的申請人有歌爾聲學、瑞聲聲學和中國科學院聲學研究所，分別擁有31、19和10項專利。
從MEMS麥克風主要申請專利被引用次數(shù)(如表2所示)看出，樓氏電子(KNOWLES)的申請專利被多次引用，可見其所申請專利的重要性。樓氏電子有4項專利WO2002045463-A2、WO9837388-A1、US2004046245-A1和WO2005036698-A3進入引用次數(shù)的前十名，其中有3項申請專利是關(guān)于MEMS麥克風的封裝技術(shù)，涉及如何將MEMS麥克風與電路板封裝和組合，另外一項申請專利是降低振動膜應力的MEMS麥克風結(jié)構(gòu)和方法。另一方面，MEMS麥克風的封裝技術(shù)引用的次數(shù)較高也說明了封裝技術(shù)研究的選擇性較少，并且該技術(shù)主要為樓氏電子掌握。[!--empirenews.page--]
MEMS麥克風主要IPC分類以H04R-019/00(靜電傳感器)靜電傳感器為主要的技術(shù)申請方向，其所占總申請量的50%以上，其次以H04R-019/04(傳感器)傳聲器的傳感器。部分MEMS麥克風仍以使用駐極體為特征的H04R-019/01(以使用駐極體為特征的)技術(shù)。其他IPC方向H01L-029/66(按半導體器件的類型區(qū)分的)、H01L-029/84(通過所施加的機械力，如壓力的變化可控的)、H04R-025/00(助聽器)、B81B-007/00(微觀結(jié)構(gòu)系統(tǒng))、B81C-001/00(在基片內(nèi)或其上制造或處理的裝置或系統(tǒng))、H01L-021/02(半導體器件或其部件的制造或處理)等主要為器件的結(jié)構(gòu)設計。從IPC分類申請狀況可以看出，MEMS麥克風現(xiàn)階段的研究主要仍集中在器件設計方面。
(注：以按遞交到申請國的專利數(shù)為準，不以專利族統(tǒng)計，圖中的百分比為占所有申請專利數(shù)的比例)
國內(nèi)廠商應積極布局加強產(chǎn)學研合作
第一，中國企業(yè)應積極在其他國家進行技術(shù)的專利保護。中國申請人如瑞聲聲學和歌爾聲學雖然在專利申請數(shù)量上排在世界前列，但歌爾聲學和瑞聲聲學等大部分專利仍主要在國內(nèi)申請，且很大一部分為實用新型專利，以專利族形式在全世界范圍申請的專利較少。這說明目前國內(nèi)企業(yè)在全球MEMS麥克風技術(shù)的競爭力仍較弱。由于MEMS麥克風的市場是全球性的，中國企業(yè)若要進一步開拓世界市場，鞏固市場，仍需要在其他國家進行技術(shù)的專利保護。
第二，實現(xiàn)專利布局，爭取與巨頭實現(xiàn)專利交叉許可。如前面所描述的，Knowles掌握了MEMS麥克風封裝的核心技術(shù)，而Akustica掌握了CMOSMEMS工藝的麥克風。對于目前的MEMS麥克風產(chǎn)品來說，上述兩種技術(shù)都很難回避。因此，通過對MEMS麥克風外圍專利的布局，中國企業(yè)應積極地與這兩家巨頭進行專利交叉許可談判，如瑞聲聲學成功地與Knowles實現(xiàn)了專利交叉許可。Akustica掌握了CMOSMEMS工藝的麥克風目前在全世界還沒有任何許可。CMOSMEMS的麥克風可以將其他芯片也同時集成在SoC系統(tǒng)中，因此該技術(shù)在未來將有巨大的潛力，國內(nèi)企業(yè)應該注重該研究方向上的專利交叉許可。
第三，在國內(nèi)推動MEMS麥克風產(chǎn)學研合作。通過專利檢索可以了解到，申請機構(gòu)中也包括了不少高校和科研單位，如中科院聲學研究所擁有MEMS專利10件。由于高校和科研單位的產(chǎn)業(yè)化能力有待提升，很多技術(shù)不能進一步轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。因此，對于自己開發(fā)MEMS麥克風技術(shù)的國內(nèi)企業(yè)，應該積極地與高校和研究院所進行合作，加快實現(xiàn)專利技術(shù)到產(chǎn)品的轉(zhuǎn)化。
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