為應對“缺芯少屏”現(xiàn)狀，“中國屏”廠房正緊急施工建設。近日，中建一局集團建設發(fā)展有限公司承建的廣州超視堺10.5代TFT-LCD顯示器生產(chǎn)線廠房的“心臟”——潔凈區(qū)開工。
“我們承建的潔凈區(qū)是該顯示器生產(chǎn)線的五個核心潔凈區(qū)之一，總面積約9.3萬平方米，相當于12.6個標準足球場大小，而其潔凈度要求是醫(yī)院ICU潔凈病房的10倍以上。因為生產(chǎn)屏幕的核心設備必須在潔凈環(huán)境下工作，否則無法批量產(chǎn)出合格產(chǎn)品。”廣州超視堺潔凈區(qū)項目經(jīng)理宋超表示，公司作為“新中國第一支建筑國家隊”，此前建造了35座“中國液晶屏”和“中國柔性屏”等超級廠房，見證了中國半導體行業(yè)的崛起。而這次中標承建的高標準潔凈區(qū)，在工期、設計、維管、調(diào)試上均堪稱史上最嚴標準。
據(jù)悉，廣州超視堺10.5代TFT-LCD顯示器生產(chǎn)線廠房是目前全球體量和投資額最大的高科技廠房項目，也是廣州改革開放以來單筆投資最大的先進制造業(yè)項目。廠房投產(chǎn)后主要生產(chǎn)8K超高清、全球最大尺寸176寸的中國制造液晶面板。中建一局承建的切割與偏貼廠房潔凈區(qū)將歷時4個月，預計2019年1月竣工建成。
在非潔凈的環(huán)境下生產(chǎn)的半導體工業(yè)產(chǎn)品合格率僅為10%—15%左右。宋超介紹，顯示屏生產(chǎn)線廠房項目總建筑面積178萬平方米，5個核心廠房均各設一個潔凈區(qū)，中建一局負責的切割與偏貼廠房潔凈區(qū)最高潔凈度要求為1000級，即要求潔凈區(qū)域內(nèi)每立方英尺存在0.5μm的微塵粒子不能超過1000顆。建成后，屏幕生產(chǎn)所用的切割片、涂色和背光板組裝等系列設備將安放在此。而屏幕生產(chǎn)的最核心設備曝光機所在的陣列廠房潔凈區(qū)對潔凈等級要求為100級甚至10級。此外，生產(chǎn)線車間對空氣潔凈度、溫度、濕度、防靜電、微振、光照度、噪聲等都有嚴格的參數(shù)要求。
中建一局集團建設發(fā)展有限公司高科技電子廠房第一事業(yè)部總經(jīng)理趙海濤表示，“潔凈建造”是整個廠房建造中最難的部分，而潔凈管控是“潔凈建造”中的最大難題，需要確保在建造過程中實現(xiàn)封塵、去塵、不產(chǎn)塵、不進塵。
宋超解釋，潔凈區(qū)建設過程中，首先使用抗靜電的防火墻密封隔離，“天”“地”“柱”要經(jīng)過打磨、涂刷多層環(huán)氧樹脂漆全部封塵。然后安裝全新通風機組進行正壓送風，形成潔凈區(qū)內(nèi)的正壓環(huán)境，外部微塵無法進入，并將室內(nèi)微塵顆粒吹出潔凈區(qū)域。在建造過程中對潔凈區(qū)進行不間斷的清潔，分階段進行深度大保潔，為保證潔凈度的形成及保持，在一個5000平方米的千級潔凈區(qū)內(nèi)的空氣就需要經(jīng)600多臺高效過濾器以每小時50—60次的頻率進行循環(huán)過濾。在潔凈區(qū)的施工階段需進行全過程潔凈管理，確保高科技電子廠房核心區(qū)域的“潔凈建造”。
“不同于其他廠房建設，所有進入潔凈室的施工人員都要穿著潔凈服，進入前需在更衣室吹掉灰塵，隨時隨地有專業(yè)人員打掃擦拭。潔凈區(qū)建成后還要擦拭兩遍，竣工前經(jīng)十余項檢測通過后才可搬入生產(chǎn)設備。” 宋超透露，目前施工區(qū)域正在進行第一階段分層級地面打磨環(huán)氧和水電風管道安裝工作。“地面如果高低不平，會產(chǎn)生大量灰塵微粒積壓，一個細小的微粒會直接導致產(chǎn)品報廢，特別是潔凈區(qū)域對平整度的要求近乎苛刻，1平方米內(nèi)地面高差最多2毫米。”宋超說。
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