功耗為10mW的MEMS反光鏡，瞄準(zhǔn)激光投影儀用途

三美電機(jī)試制了激光投影儀用MEMS反光鏡。利用壓電元件（PZT）驅(qū)動(dòng)反光鏡，搜索激光并投影影像。解說(shuō)員表示，“驅(qū)動(dòng)功耗僅為10mW，電壓也只有 數(shù)V”。在會(huì)場(chǎng)上，以試制反光鏡掃描綠色激光，顯示出了512×512像素、60幀/秒的影像。試制反光鏡和激光集成在尺寸為 46mm×18mm×13mm的模塊中。另外，MEMS反光鏡的實(shí)用化事宜尚未確定。

該公司的PZT薄膜是以旋壓覆蓋（Spin Coat）法制成的。解說(shuō)員稱，“與濺射法成膜時(shí)相比，易于抑制特性不均”。

試制的MEMS反光鏡的外形尺寸約為8.7mm×6.4mm×0.5mm。反光鏡部分的直徑為1mm。照射波長(zhǎng)為450nm的光時(shí)，反射率超過(guò) 85％。可以在水平方向上以30KHz頻率、垂直方向上以60Hz頻率驅(qū)動(dòng)反光鏡。

此試制品為三美電機(jī)與日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所氫材料尖端科學(xué)研究中心氫脆化評(píng)價(jià)研究團(tuán)隊(duì)飯島高志小組共同研發(fā)的成果。（記者：根津 禎）