ST發(fā)布能以同一傳感構(gòu)造檢測3軸角速度的MEMS陀螺儀

意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics）發(fā)布了能以一個傳感結(jié)構(gòu)檢測出3軸角速度的MEMS陀螺儀（角速度傳感器）“L3G4200D”。 以往的陀螺儀即使能夠用相同的傳感結(jié)構(gòu)檢測出旋轉(zhuǎn)（Roll）軸和傾斜（Pitch）軸兩軸的角速度，也很難采用同一傳感結(jié)構(gòu)實現(xiàn)對偏移（Yaw）軸的檢 測。因此，現(xiàn)有3軸陀螺儀都需要雙軸用和單軸用兩個傳感結(jié)構(gòu)。

關(guān)于使用一個傳感構(gòu)造帶來的好處，該公司首先強調(diào)，可使封裝實現(xiàn)小型化。L3G4200D雖集成了3軸MEMS陀螺儀和ASIC，但卻能夠使用 4mm×4mm×1mm的LGA封裝。

強調(diào)小型化的原因在于，該產(chǎn)品瞄準的是手機及游戲機方面用途。其競爭產(chǎn)品有美國InvenSense推出的、同樣將3軸MEMS陀螺儀和ASIC集成 在一個封裝內(nèi)的“MPU-3000”。該產(chǎn)品的封裝尺寸為4mm×4mm×0.9mm。

第二個好處是能夠提高輸出數(shù)字信號的精度。以前，各傳感結(jié)構(gòu)輸出的數(shù)字信號會相互干擾，此次的產(chǎn)品可減少這種干擾。

意法半導(dǎo)體并未透露此次能以一個傳感結(jié)構(gòu)檢測出3軸角速度的原理。只表示設(shè)計和制造L3G4200D時，采用了與現(xiàn)有MEMS傳感器相同的工藝技術(shù)， “與原來相比，傳感結(jié)構(gòu)及檢測方法等并沒有很大改變”。

可選擇的檢測角速度范圍為±250～±2000度/秒。輸出的數(shù)字信號為16bit，穩(wěn)定性較高，不易受到時間推移和溫度變化的影響。該公司預(yù)定 2010年第二季度開始量產(chǎn)L3G4200D。批量訂購時的單價約為2.9美元。（記者：加藤 伸一）