臺灣MEMS制造商TMT(Touch Micro-system Technology)已經(jīng)獲得總部設在加州的制造商Miradia公司100 %的股份,以利用后者的專利技術(shù)將其業(yè)務從基本的MEMS代工轉(zhuǎn)變?yōu)?em>MEMS調(diào)制解調(diào)器。這一轉(zhuǎn)變很可能是臺積電(TSMC)和聯(lián)華電子(UMC)準備大舉跨入MEMS生產(chǎn)行列的信號。
據(jù)悉,臺積電和聯(lián)華電子已在2008年下半年完成了MEMS相關(guān)設備的部署,預計即將在今年下半年開始批量生產(chǎn)。