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[導讀]參與歐洲IMPROVE研究計劃的35個成員成功提升了歐洲半導體業(yè)的全球競爭力。在2009年時,由數(shù)家全球知名的歐洲半導體公司加入了由英飛凌(Infineon)負責技術管理的專案計劃,他們的目標是開發(fā)提升歐洲半導體制造效率的新

參與歐洲IMPROVE研究計劃的35個成員成功提升了歐洲半導體業(yè)的全球競爭力。在2009年時,由數(shù)家全球知名的歐洲半導體公司加入了由英飛凌(Infineon)負責技術管理的專案計劃,他們的目標是開發(fā)提升歐洲半導體制造效率的新方法,同時降低成本并縮短制程時間。

IMPROVE計劃是由德國教育研究部(BMBF)資助,技術成員包括軟體企業(yè)、在歐洲擁有生產據點的半導體公司、來自奧地利、法國、德國、愛爾蘭、義大利和葡萄牙等國的研究單位和學術機構等。IMPROVE是「ImplementingManufacturingsciencesolutionstoincreaseequipmentproductivityandfabperformance(實施制造科技的解決方案以增進設備產能與晶圓廠效能)」一詞的縮寫。

英飛凌表示,IMPROVE計劃成員已透過這項研究工作,將晶片生產失敗率降低12%,此外也成功縮短了半導體產品的生產時間,復雜的晶片設計目前約需要12至16周,但不久后將可能縮短半導體產品的生產時間3%以上。IMPROVE成員開發(fā)出全新且智慧化的分析方法和軟體工具,結合創(chuàng)新的資料評估技巧,進而能夠達到此一成果;為了進一步掌控制程變動,研究夥伴從整個生產線進行探討。其中一個主要挑戰(zhàn),就是如何將新的方法和軟體元件整合到半導體制造商現(xiàn)有的產品資訊和控制系統(tǒng)中,從生產的前導應用中確認研究的成果。

今日制造一個復雜晶片需要平均550個個別制造步驟,通常的制造批次大約為50到100片晶圓,每批完成后,制造廠必須為下次的量產產品和生產制程重新設定生產工具,因此必須精密監(jiān)控生產線及其狀況,同時預測維護要素,才能保持競爭力。此外,IMPROVE在節(jié)省時間這方面也有關鍵的貢獻。

英飛凌IMPROVE專案負責人CristinaDeLuca表示:「IMPROVE研究計劃有其迫切性,尤其是面對晶片功能不斷增加,生產方法持續(xù)復雜化,制程步驟變多,且生產時間越來越長的情況下。藉由本次半導體業(yè)與學術界、工廠和制程控制,以及感測器和軟體開發(fā)產業(yè)的聯(lián)合研究工作,開發(fā)出許多最現(xiàn)代化的技術,幫助半導體生產往前邁進了一大步?!?BR>
IMPROVE計劃的圓滿成功已獲得認可:該研究計劃已獲選進入「IndustrialTechnologies2012」大獎前十名候選名單(http://industrialtechnologies2012.eu),入選原因之一在于,該計劃所創(chuàng)造的新產品和方法是以提升歐洲競爭力為目標,具有與財務方面的相關性。

IMPROVE計劃總預算約3770萬歐元,其中半數(shù)來自業(yè)界和研究單位的贊助,另一半則由歐洲奈米科技方案諮詢委員會(ENIACJointUndertaking)贊助,作為其「SP4能源暨環(huán)境奈米科技」計劃的一部分,以及來自參與國家的國家基金所贊助。

BMBF則從德國聯(lián)邦政府的高科技策略和資助計劃(Informations-undKommunikationstechnologie2020,IKT2020)中提撥330萬歐元資助該研究計劃。英飛凌負責德國計劃成員在2011年11月之前的協(xié)調工作,之后則由佛羅恩霍夫整合式系統(tǒng)和裝置研究院(FraunhoferInstituteforIntegratedSystemsandDeviceTechnology)接手。

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